一种试验测试台的制作方法

本技术涉及晶圆测试，尤其涉及一种试验测试台。

背景技术：

1、晶圆是指硅半导体芯片的基本材料，可以将晶圆理解成芯片的集中体。在进行晶圆测试的过程中，需要利用细长的探针与芯片上的接点接触，测试芯片的电气特性，不合格的芯片会被标上记号，在后续的晶圆切割过程，就带有不合格标记的芯片淘汰，尽可能降低制造成本。

2、经检索，公告号cn213519871u公开了一种晶圆测试台，包括底座以及设置于底座上的控制器，所述底座的上表面设有安装架，所述安装架的底面安装有探针卡，所述探针卡的底部安装有探针，所述探针的下方设置有放置盘，所述放置盘上对称设有两个压装总成，每个所述压装总成均滑动连接与放置盘的上表面，所述两个压装总成之间设有可升降载台，所述放置盘的面前设有刻度标线，所述刻度标线的零点刻度设置于放置盘的面前中线位置。本实用新型的目的在于提供一种晶圆测试台，以解决晶圆小型测试装置无法提供足够的吸附能力导致在测试过程中出现位移偏差的情况以及影响测试效果的问题。

3、但该装置还存在以下问题：

4、1、测试台在对进行晶圆进行测试过程中，没有在装置上设置稳定结构，设备运行振动会导致检测结果不准确；

5、2、在对装置运输过程中，容易对探针进行碰撞，导致探针损坏，并且在晶圆放置的载台上没有对晶圆进行保护的结构，易使在检测时晶圆损坏。

6、针对上述问题，本实用新型文件提出了一种试验测试台，用于解决上述所提到的问题。

技术实现思路

1、本实用新型提供了一种试验测试台，解决了现有技术中存在的测试台在对进行晶圆进行测试过程中，没有在装置上设置稳定结构，设备运行振动会导致检测结果不准确，以及在对装置运输过程中，容易对探针进行碰撞，导致探针损坏，并且在晶圆放置的载台上没有对晶圆进行保护的结构，易使在检测时晶圆损坏的缺点。

2、本实用新型提供了如下技术方案：

3、一种试验测试台，包括：

4、台体和底板，所述台体的顶部设有顶板，所述顶板的底部固定连接有固定柱，所述固定柱的底部固定连接有探针，所述底板设置在台体的底部，所述底板的顶部固定连接有，放置板，所述放置板的顶部设置有承载盘和移动板；

5、保护机构，保护机构设置在探针上用于对探针进行保护；

6、减震机构，减震机构设置在底板的底部用于对装置进行减震；

7、限位组件，限位组件设置在承载盘上用于对晶圆进行限位。

8、在一种可能的设计中，所述保护机构包括保护筒、螺栓和固定孔，所述固定孔设置在探针的一侧，所述保护筒的一侧开设有与探针上的固定孔相适配的圆孔，所述固定孔与螺栓相适配，所述保护筒滑动套设在探针上，所述螺栓的一端贯穿圆孔并延伸至固定孔内，所述螺栓分别与圆孔和固定孔螺纹连接，所述保护筒的尺寸大于探针的尺寸，所述保护筒内设有与探针相适配的孔槽，孔槽的内壁均固定连接有软性填充物。

9、在一种可能的设计中，所述减震机构包括四个弹簧和防滑垫，所述底板的底部四角均开设有减震孔，减震孔的顶部内壁与弹簧的一端固定连接，所述弹簧的另一端与防滑垫的顶部固定连接，所述弹簧的长度大于减震孔的长度，所述防滑垫位于底板的下方，所述弹簧的内部设有减震阻尼器，减震阻尼器的顶部与减震孔的顶部内壁固定连接，减震阻尼器的底部与防滑垫的顶部固定连接。

10、在一种可能的设计中，所述限位组件包括四个限位环，所述放置板的顶部固定连接有锥形圆台，锥形圆台的顶部固定连接有电动伸缩柱，电动伸缩柱的伸缩端承载盘的底部固定连接，四个所述限位环的底部分别与承载盘的顶部四周固定连接，四个所述限位环在承载盘上均匀排列，所述限位环之间均设有用于限位和方便拿取的缺口。

11、在一种可能的设计中，所述限位环的内壁固定连接有用于防止晶圆边缘受损的橡胶垫。

12、在一种可能的设计中，所述放置板的顶部固定连接有挡板，档板的一侧固定连接有伸缩杆，伸缩杆的伸缩端固定连接有移动板，所述移动板的顶部固定连接有圆柱，圆柱的外侧固定套设有限位板，所述限位板的底部固定连接有用于防止晶圆受到挤压的软垫。

13、应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性的，并不能限制本实用新型。

14、本实用新型中，在限位环上设置橡胶垫，使得晶圆边缘在于限位环发生碰撞时不会被限位环的内壁撞受损，减少晶圆移动而造成的伤害，在限位板的底部设置了软垫，使得限位板对晶圆进行限位时，对晶圆进保护，防止在限位过程中，限位板对晶圆造成损害；

15、本实用新型中，在台体上设置保护和减震，以及限位组件，使得在台体移动或探针运输的过程中，探针不会受到损害，减少探针受损的几率，减小检测成本，并且保证检测的正常进行，也使得晶圆检测时，晶圆不会移动，减少检测对晶圆的损害，同时在台体工作时，晶圆不会因台体的振动而受到影响，防止在检测过程中对检测结果造成影响。

技术特征：

1.一种试验测试台，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种试验测试台，其特征在于，所述保护机构包括保护筒(6)、螺栓(7)和固定孔(11)，所述固定孔(11)设置在探针(10)的一侧，所述保护筒(6)的一侧开设有与探针(10)上的固定孔(11)相适配的圆孔，所述固定孔(11)与螺栓(7)相适配，所述保护筒(6)滑动套设在探针(10)上，所述螺栓(7)的一端贯穿圆孔并延伸至固定孔(11)内，所述螺栓(7)分别与圆孔和固定孔(11)螺纹连接，所述保护筒(6)的尺寸大于探针(10)的尺寸，所述保护筒(6)内设有与探针(10)相适配的孔槽，孔槽的内壁均固定连接有软性填充物。

3.根据权利要求1所述的一种试验测试台，其特征在于，所述减震机构包括四个弹簧(3)和防滑垫(4)，所述底板(2)的底部四角均开设有减震孔，减震孔的顶部内壁与弹簧(3)的一端固定连接，所述弹簧(3)的另一端与防滑垫(4)的顶部固定连接，所述弹簧(3)的长度大于减震孔的长度，所述防滑垫(4)位于底板(2)的下方，所述弹簧(3)的内部设有减震阻尼器，减震阻尼器的顶部与减震孔的顶部内壁固定连接，减震阻尼器的底部与防滑垫(4)的顶部固定连接。

4.根据权利要求1-3中任意一项所述的一种试验测试台，其特征在于，所述限位组件包括四个限位环(14)，所述放置板(5)的顶部固定连接有锥形圆台，锥形圆台的顶部固定连接有电动伸缩柱，电动伸缩柱的伸缩端承载盘(16)的底部固定连接，四个所述限位环(14)的底部分别与承载盘(16)的顶部四周固定连接，四个所述限位环(14)在承载盘(16)上均匀排列，所述限位环(14)之间均设有用于限位和方便拿取的缺口。

5.根据权利要求4所述的一种试验测试台，其特征在于，所述限位环(14)的内壁固定连接有用于防止晶圆边缘受损的橡胶垫(15)。

6.根据权利要求1所述的一种试验测试台，其特征在于，所述放置板(5)的顶部固定连接有挡板，档板的一侧固定连接有伸缩杆，伸缩杆的伸缩端固定连接有移动板(17)，所述移动板(17)的顶部固定连接有圆柱，圆柱的外侧固定套设有限位板(13)，所述限位板(13)的底部固定连接有用于防止晶圆受到挤压的软垫(12)。

技术总结
本技术属于晶圆测试技术领域，尤其是一种试验测试台，针对现有的没有在装置上设置稳定结构，设备运行振动会导致检测结果不准确，以及运输中探针容易损坏，并且在晶圆放置的载台上没有对晶圆进行保护的结构，易使在检测时晶圆损坏的问题，现提出如下方案，其包括台体和底板，所述台体的顶部设有顶板，所述顶板的底部固定连接有固定柱，所述固定柱的底部固定连接有探针，所述底板设置在台体的底部，所述底板的顶部固定连接有，放置板，所述放置板的顶部设置有承载盘和移动板，在台体上设置保护和减震，以及限位组件，使得在台体移动或探针运输的过程中，探针不会受到损害，晶圆不会移动，防止在检测过程中对检测结果造成影响。

技术研发人员：程心宇
受保护的技术使用者：无锡畅景科技有限公司
技术研发日：20221219
技术公布日：2024/1/13