一种真空计在线校准装置的制作方法

本技术涉及真空计的计量，特别是涉及一种真空计在线校准装置。

背景技术：

1、真空热处理是真空技术与热处理技术相结合的新型热处理技术，工作时被加工产品在炉内所处的环境是低于一个大气压的气氛环境，包括低真空、中等真空、高真空和超高真空，真空热处理实际也属于气氛控制热处理。真空热处理是指热处理工艺的全部和部分在真空状态下进行的，真空热处理可以实现几乎所有的常规热处理所能涉及的热处理工艺，热处理质量大大提高。与常规热处理相比，真空热处理的同时，可实现无氧化、无脱碳、无渗碳，可去掉工件表面的磷屑，并有脱脂除气等作用，从而达到表面光亮净化的效果。因此真空热处理设备常设有真空计，真空计的主要作用是监测热处理炉内的真空压强，确保炉内进行热处理的产品处于真空状态，从而防止产品氧化变色。

2、随着真空技术在飞机叶片，发动机、起落架等关键零部件的进一步成熟，美国金属学会热处理学会、美国金属处理研究院、美国能源部工业技术厅对热处理工艺质量控制的要求进一步严格，于2020年更新了真空热处理专用工艺质量控制文件《sae ams2769d-2020》，该文件中对监控用真空计提出特殊的计量的需求，根据文件要求，热处理炉常驻的真空规管，真空计，连接线缆需作为被检整体与一套能溯源至本国基准且已知修正因子的标准真空计在现场进行比对计量，间隔不超过三个月。

3、真空计在线校准装置主要应用于电阻真空计、热传导真空计等各种真空计及其配套使用的真空表的组合校准。传统真空计在线测试常见于生产企业内部对生产现场常驻真空计的测量效果比对确认，这种比对方式通常采用真空三通连接标准真空计与被检真空计，经设备连续抽气稳定后读取各真空计显示值进行比较。但由于真空三通过小的腔体且无法保证被检真空计与标准真空计均为垂直安装，这样操作测量容易造成误差大，导致测量结果不可靠，无法满足真空计的校准要求。

技术实现思路

1、本实用新型提供一种真空计在线校准装置，可保证检测时真空计能有足够大的真空环境，且所有真空计均能保证垂直安装，最大程度地还原被检真空计在线的安装状态，减少测量误差，保证测量结果的可靠性。

2、本实用新型的技术方案如下：

3、一种真空计在线校准装置，包括真空校准室，所述真空校准室的底部垂直连通有导管，所述导管的另一端与真空炉连接，所述真空校准室的两端关于所述导管对称，所述真空校准室的顶部垂直连通有用于安装被检真空计的第一接头、及用于安装标准真空计的第二接头。

4、本实用新型采用真空校准室代替传统的真空三通，有效扩大了检测时的真空容积，保证检测时两个真空计能有足够大的真空环境进行检测，且在真空校准室的同一侧垂直连接有两个接头，以使标准真空计及被检真空计进行垂直安装，最大程度地还原了被检真空计在线的安装状态，可有效减少测量误差，保证测量结果的可靠性。同时，用于对真空标准室进行抽真空的导管设置在真空标准室的底部中间，可保证真空测量区域内气体分布空间上的充分均匀，可进一步减少测量误差。

5、在一个较为优选的实施方式中，所述第一接头、第二接头关于所述导管对称。

6、将两个真空计通过两个对称的接头安装在真空标准室的两端，可保证在进行测量时所检测的真空度均匀，减少测量误差。

7、在一个较为优选的实施方式中，所述第一接头采用φ15.5mm插座，被检真空计通过真空密封圈插入所述第一接头内。

8、在一个较为优选的实施方式中，所述第二接头采用kf25快卸法兰接头，标准真空计使用kf25专用卡箍与所述第二接头连接。

9、在一个较为优选的实施方式中，真空炉的顶部设有炉体规管座，所述导管的一端与所述炉体规管座通过φ15.5mm接口或kf法兰接口连接。

10、在一个较为优选的实施方式中，所述真空校准室的容积为被检真空计及其连接管路总容积的1～3倍。

11、为了保证真空校准室能有足够大的真空环境，将真空校准室的容积设定为被检真空计及其连接管路总容积的1～3倍。需要说明的是，真空校准室的容积可根据实际检测设备及其工业进行设置，此处不作唯一限定。

12、在一个较为优选的实施方式中，所述真空校准室内的任意点之间的温差小于1℃。保证真空校准室内的温差稳定，可使室内的气体真空度稳定，避免因温差变化而导致室内的气体分布不均，影响计量的准确性。

13、在一个较为优选的实施方式中，标准真空计的溯源范围为1×10-4pa～1×104pa，校准扩展不确定度不超过10％。

14、在一个较为优选的实施方式中，所述真空校准室为圆柱体。依据行业检测标准，校准室多采用圆柱体，可有利于保证校准室内的气体分布空间充分均匀。

15、在一个较为优选的实施方式中，所述导管为合金导管，保持足够的硬度，避免变形，令真空炉快速对真空校准室进行抽充气，减少计量误差。

16、相比现有技术，本实用新型具备的有益效果如下：

17、本实用新型在现场检测过程中加入真空校准室，保证检测时真空计能有足够大的真空环境，且所有真空计均垂直安装，最大程度地还原被检真空计在线的安装状态，保证测量结果的可靠性。本实用新型的真空计在线校准装置可立足于美标《sae ams2769d-2020》规范，测量范围从1×10-4pa～1×104pa，适用于薄膜真空计、热偶真空计、皮拉尼真空计、电离真空计等。

技术特征：

1.一种真空计在线校准装置，其特征在于，包括真空校准室(1)，所述真空校准室(1)的底部垂直连通有导管(2)，所述导管(2)的另一端与真空炉连接，所述真空校准室(1)的两端关于所述导管(2)对称，所述真空校准室(1)的顶部垂直连通有用于安装被检真空计的第一接头(3)、及用于安装标准真空计的第二接头(4)。

2.根据权利要求1所述的一种真空计在线校准装置，其特征在于，所述第一接头(3)、第二接头(4)关于所述导管(2)对称。

3.根据权利要求1所述的一种真空计在线校准装置，其特征在于，所述第一接头(3)采用φ15.5mm插座，被检真空计通过真空密封圈插入所述第一接头(3)内。

4.根据权利要求1所述的一种真空计在线校准装置，其特征在于，所述第二接头(4)采用kf25快卸法兰接头，标准真空计使用kf25专用卡箍与所述第二接头(4)连接。

5.根据权利要求1所述的一种真空计在线校准装置，其特征在于，真空炉的顶部设有炉体规管座(5)，所述导管(2)的一端与所述炉体规管座(5)通过φ15.5mm接口或kf法兰接口连接。

6.根据权利要求1所述的一种真空计在线校准装置，其特征在于，所述真空校准室(1)的容积为被检真空计及其连接管路总容积的1～3倍。

7.根据权利要求1所述的一种真空计在线校准装置，其特征在于，所述真空校准室(1)内的任意点之间的温差小于1℃。

8.根据权利要求1所述的一种真空计在线校准装置，其特征在于，标准真空计的溯源范围为1×10-4pa～1×104pa，校准扩展不确定度不超过10％。

9.根据权利要求1所述的一种真空计在线校准装置，其特征在于，所述真空校准室(1)为圆柱体。

10.根据权利要求1所述的一种真空计在线校准装置，其特征在于，所述导管(2)为合金导管。

技术总结
本技术公开一种真空计在线校准装置，包括真空校准室，所述真空校准室的底部垂直连通有导管，所述导管的另一端与真空炉连接，所述真空校准室的两端关于所述导管对称，所述真空校准室的顶部垂直连通有用于安装被检真空计的第一接头、及用于安装标准真空计的第二接头。本技术可保证检测时真空计能有足够大的真空环境，且所有真空计均能保证垂直安装，最大程度地还原被检真空计在线的安装状态，减少测量误差，保证测量结果的可靠性。

技术研发人员：朱超,李杰,胡清华,张晶源
受保护的技术使用者：广电计量检测（成都）有限公司
技术研发日：20221214
技术公布日：2024/1/12