一种TEM样品成像的载网支持膜的制作方法

本技术涉及透射电镜检测分析领域，特别涉及一种tem样品成像的载网支持膜。

背景技术：

1、目前常用的碳支持膜为圆形，没有统一定义好的正方向，每次tem样品被放在碳支持膜上的方向是随机的，需要借助tem自带的软件v-look系统对抓取到的tem样品图片旋转剪裁，系统存在将目标区域剪裁掉的风险，增加了tem样品成像的难度，降低了tem样品成像的效率。

技术实现思路

1、有鉴于此，本实用新型的目的在于提供一种tem样品成像的载网支持膜，解决了现有技术中tem样品被放在碳支持膜上的方向是随机的，在借助tem自带的软件v-look系统对抓取到的tem样品图片旋转剪裁时，系统存在将目标区域剪裁掉的风险的问题。

2、为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种tem样品成像的载网支持膜，包括：

3、载网和用于容纳所述tem样品的凹槽碳膜；

4、所述凹槽碳膜为具有多个矩形凹槽的碳支持膜，所述多个矩形凹槽的轴线相互平行或重合；

5、所述凹槽碳膜覆盖于所述载网表面。

6、可选的，所述载网预设位置处开有载网豁口。

7、可选的，所述载网在所述载网中心沿所述矩形凹槽的轴线的垂直方向的边缘处，开有所述载网豁口。

8、可选的，所述凹槽碳膜开有碳膜豁口，所述凹槽碳膜在与所述载网贴合时，所述碳膜豁口的轴线与所述载网豁口的轴线垂直或重合。

9、可选的，包括：

10、沿所述矩形凹槽轴线方向，相邻所述矩形凹槽之间的间距相等；

11、沿垂直于所述矩形凹槽轴线方向，相邻所述矩形凹槽之间的间距相等。

12、可选的，所述载网为铜质载网。

13、可选的，所述载网，包括：

14、网状部件和环状的支撑部件；

15、所述网状部件设置在所述支撑部件内侧，与所述支撑部件连接。

16、可选的，包括：

17、碳膜固定部件，所述碳膜固定部件与所述载网连接。

18、可选的，包括：

19、所述碳膜固定部件一端与所述载网一端卡接连接；

20、所述碳膜固定部件另一端与所述载网另一端铰接连接。

21、可见，本实用新型通过将设置有多个轴线相互平行或重合的矩形凹槽的碳膜，作为凹槽碳膜，并将凹槽碳膜覆盖于载网表面，能够避免tem样品被放在碳支持膜上无法按预设方向放置的问题，省略了对抓取到的tem样品图片进行旋转裁剪的步骤，进而避免了对抓取到的tem样品图片进行旋转裁剪过程中将目标区域剪裁掉的风险，提高了tem样品成像的效率。

技术特征：

1.一种tem样品成像的载网支持膜，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的tem样品成像的载网支持膜，其特征在于，所述载网预设位置处开有载网豁口。

3.根据权利要求2所述的tem样品成像的载网支持膜，其特征在于，所述载网在所述载网中心沿所述矩形凹槽的轴线的垂直方向的边缘处，开有所述载网豁口。

4.根据权利要求2所述的tem样品成像的载网支持膜，其特征在于，所述凹槽碳膜开有碳膜豁口，所述凹槽碳膜在与所述载网贴合时，所述碳膜豁口的轴线与所述载网豁口的轴线垂直或重合。

5.根据权利要求1所述的tem样品成像的载网支持膜，其特征在于，包括：

6.根据权利要求1所述的tem样品成像的载网支持膜，其特征在于，所述载网为铜质载网。

7.根据权利要求1所述的tem样品成像的载网支持膜，其特征在于，所述载网，包括：

8.根据权利要求1所述的tem样品成像的载网支持膜，其特征在于，包括：

9.根据权利要求8所述的tem样品成像的载网支持膜，其特征在于，包括：

技术总结
本技术公开了一种TEM样品成像的载网支持膜，应用于透射电镜检测分析领域，包括：载网和用于容纳TEM样品的凹槽碳膜；凹槽碳膜为具有多个矩形凹槽的碳支持膜，多个矩形凹槽的轴线相互平行或重合；凹槽碳膜覆盖于载网表面。本技术通过将设置有多个轴线相互平行或重合的矩形凹槽的碳膜，作为凹槽碳膜，并将凹槽碳膜覆盖于载网表面，能够避免TEM样品被放在碳支持膜上无法按预设方向放置的问题，省略了对抓取到的TEM样品图片进行旋转裁剪的步骤，进而避免了对抓取到的TEM样品图片进行旋转裁剪过程中将目标区域剪裁掉的风险，提高了TEM样品成像的效率。

技术研发人员：杨胜娜,叶红波,朱子轩,苟元华,徐鑫
受保护的技术使用者：上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司
技术研发日：20221220
技术公布日：2024/1/12