杂质获取系统、水质检查系统以及液体制造供给系统的制作方法

本发明涉及杂质获取系统、水质检查系统以及液体制造供给系统。

背景技术：

1、一般而言，作为从超纯水制造设备向使用点(例如，半导体清洗装置内的使用位置)供给的超纯水的水质的检查方法之一，可举出使用基于利用了离子交换体的浓缩法的分析的方法。作为基于这种浓缩法的分析方法，可考虑如下方法：在给定的期间，使超纯水向离子交换体通水，取下并回收该离子交换体，使杂质从回收的离子交换体洗脱并测量其浓度，由此检查超纯水的水质(例如，参照专利文献1)。

2、现有技术文献

3、专利文献

4、专利文献1：日本特开2001-153854号公报

技术实现思路

1、发明要解决的课题

2、在上述那样的技术中，为了进行超纯水的水质检查，必须取下离子交换体，比较麻烦。其结果，存在无法进行高效的检查的问题。

3、本发明的目的在于提供一种能够进行液体的水质的高效的检查的杂质获取系统、水质检查系统以及液体制造供给系统。

4、用于解决课题的技术方案

5、本发明的杂质获取系统是一种获取检查对象液中的杂质的杂质获取系统，具有：

6、吸附体，其吸附所述检查对象液中的杂质；以及

7、第一控制装置，其对所述检查对象液向所述吸附体的通液与洗脱液向所述吸附体的通液进行切换，所述洗脱液使吸附于所述吸附体的杂质洗脱。

8、此外，本发明的杂质获取系统是一种获取检查对象液中的杂质的杂质获取系统，具有：

9、多个吸附体，彼此并列配置，吸附所述检查对象液中的杂质；以及

10、控制装置，其对所述检查对象液向所述多个吸附体的通液进行切换。

11、此外，本发明的水质检查系统具备：

12、杂质获取系统；以及

13、信息处理装置，

14、所述杂质获取系统具有：

15、吸附体，其吸附检查对象液中的杂质；以及

16、第一控制装置，其对所述检查对象液向所述吸附体的通液与洗脱液向所述吸附体的通液进行切换，所述洗脱液使吸附于所述吸附体的杂质洗脱，

17、所述信息处理装置对通液至所述吸附体的洗脱液中的杂质浓度进行分析，并基于该杂质浓度来计算所述检查对象液中的杂质浓度。

18、此外，本发明的液体制造供给系统具备：

19、水质检查系统，其具备杂质获取系统和信息处理装置；

20、阀部；以及

21、第二控制装置，

22、所述杂质获取系统具有：

23、吸附体，其吸附检查对象液中的杂质；以及

24、第一控制装置，其对所述检查对象液向所述吸附体的通液与洗脱液向所述吸附体的通液进行切换，所述洗脱液使吸附于所述吸附体的杂质洗脱，

25、所述信息处理装置对通液至所述吸附体的洗脱液中的杂质浓度进行分析，并基于该杂质浓度来计算所述检查对象液中的杂质浓度，

26、所述阀部对所述检查对象液从液体制造供给设备到使用所述检查对象液的使用点的供给进行控制，所述液体制造供给设备进行所述检查对象液的制造和供给中的至少一者，

27、所述第二控制装置基于由所述信息处理装置计算出的所述杂质浓度来控制所述阀部。

28、发明效果

29、在本发明中，能够进行液体的水质的高效的检查。

技术特征：

1.一种杂质获取系统，获取检查对象液中的杂质，所述杂质获取系统具有：

2.根据权利要求1所述的杂质获取系统，其中，

3.根据权利要求2所述的杂质获取系统，其中，

4.根据权利要求3所述的杂质获取系统，其中，

5.根据权利要求4所述的杂质获取系统，其中，

6.根据权利要求7所述的杂质获取系统，其中，

7.根据权利要求1至6中任一项所述的杂质获取系统，其中，

8.一种水质检查系统，具备：

9.一种液体制造供给系统，具备：

10.一种杂质获取系统，获取检查对象液中的杂质，所述杂质获取系统具有：

技术总结
本发明具有：离子交换体单元(200)，其吸附检查对象液中的杂质；以及控制装置(700)，其对检查对象液向离子交换体单元(200)的通液与使吸附于离子交换体单元(200)的杂质洗脱的洗脱液向离子交换体单元(200)的通液进行切换。

技术研发人员：茑野恭平,津田晃彦,菅原广
受保护的技术使用者：奥加诺株式会社
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15