用于检查的探针构件及其制造方法与流程

本发明涉及一种用于检查的探针构件及其制造方法，更具体地，涉及一种通过减少边界表面的数量而具有改善的耐久性的用于检查的探针构件及其制造方法。

背景技术：

1、在半导体装置完成之后，进行电检查以确认正常操作或可靠性。对于电检查，使用包括焊盘和测试插座的测试装置。

2、测试插座将半导体装置的端子连接到测试装置的焊盘，并且半导体装置的端子和测试装置可以通过测试插座交换电信号。

3、为此，弹簧针作为接触单元位于测试插座内部。包括探针构件和弹性构件的弹簧针可以促进半导体装置和测试装置之间的接触，并且缓冲在接触期间可能发生的机械冲击，因此，弹簧针在许多测试插座中使用。

4、探针构件具有取决于结构和制造方法在工艺之间形成的边界表面，并且该边界表面在使用期间被切割时可能降低耐久性。因此，随着边界表面的数量的增加，耐久性可能进一步劣化。

技术实现思路

1、技术问题

2、本发明试图提供一种能够通过减少边界表面的数量来改善耐久性的用于检查的探针构件。本发明的另一目的为提供一种制造用于检查的探针构件的方法。

3、技术方案

4、在示例性实施例中，一种制造用于检查的探针构件的方法包括：第一操作，在基板的上表面上以第一图案形成第一层模具，以与形成在基板的上表面上的凹槽间隔开；第二操作，通过用第一金属电镀第一层模具的内表面和凹槽的表面来形成接触部分；第三操作，在接触部分和第一层模具上以第二图案形成第二层模具，并且在第二层模具上以第三图案形成第三层模具；第四操作，用第二金属电镀接触部分、第一层模具、第二层模具和第三层模具的内部空间，以沿着接触部分的表面填充边界表面来形成主体部分；以及第五操作，移除第一层模具、第二层模具、第三层模具和基板以获得探针构件。

5、在第三操作中，第一层模具、第二层模具和第三层模具的中心可以与接触部分的中心对齐，并且第二层模具的第二图案内径可以被形成为小于第一层模具的第一图案内径和第三层模具的第三图案内径，并且在第四操作中，凹进部分可以形成在主体部分的侧部。

6、在第二操作中，接触部分可以被形成为具有沿着第一层模具的内表面设定的厚度和凹槽的形状。

7、在第四操作中，主体部分可以通过沿着接触部分的内表面形成边界表面并且填充内部空间来形成。

8、在第一操作中，第一层模具可以被形成在基板的上表面上，并且进一步延伸以与凹槽间隔开。

9、在第二操作中，接触部分可以被形成为填充第一层模具的下表面和内表面与凹槽，以具有比凹槽的上端窄的宽度并且具有凸出为比基板的上表面高的凸起，并且在接触部分外部的第一层模具可以被移除，以允许凸起从基板的上表面凸出。

10、在第三操作中，第一层模具可以再次形成在基板的上表面上以与凸起间隔开，第二层模具可以以第二图案形成在凸起和第一层模具上，并且第三层模具可以以第三图案形成在第二层模具上。

11、在第四操作中，接触部分、凸起、第一层模具、第二层模具和第三层模具的内部空间可以被电镀有第二金属，以形成将内部空间沿着接触部分的表面和凸起填充边界表面的主体部分。

12、在第二操作中，接触部分可以被形成，该接触部分填充第一层模具的内表面和凹槽以具有膨胀部，该膨胀部具有大于凹槽的上端的宽度并且凸出为比基板的上表面高。

13、在第三操作中，第二层模具可以以第二图案形成在第一层模具上并且在膨胀部上延伸，第三层模具可以以第三图案形成在第二层模具上，并且在第四操作中，膨胀部、第二层模具和第三层模具的内部空间可以被电镀有第二金属并且沿着膨胀部的表面填充边界表面以形成主体部分。

14、在第二操作中，第一边界表面可以沿着接触部分的内表面形成，并且电镀可以用第二金属执行直至接触部分的高度以形成第一主体部分，并且在第四操作中，第二边界表面可以沿着第一主体部分的上表面形成，并且电镀可以用第三金属执行直至第二层模具和第三层模具的高度以形成第二主体部分。

15、在第三操作中，附加层模具可以以附加图案进一步形成在第一层模具上并且在膨胀部上延伸，第二层模具可以以第二图案形成在附加层模具上，第三层模具可以以第三图案形成在第二层模具上，并且在第四操作中，膨胀部、附加层模具、第二层模具和第三层模具的内部空间可以被电镀有第二金属，并且沿着膨胀部的表面填充边界表面以形成具有附加层的主体部分。

16、在第一操作中，第一层模具可以以第一图案形成在基板的上表面上并且与形成在基板的上表面上的多个凹槽间隔开。

17、在另一示例性实施例中，一种用于检查的探针构件包括：接触部分，由第一金属形成，在一侧具有尖锐点以接触待检查的物体；和主体部分，由第二金属形成，在接触部分的另一侧上，其中主体部分包括：凹进部分或凸出部分，形成在侧部，并且具有小于或大于接触部分的第一直径的第二直径，并且接触部分和主体部分可以通过不同的工艺形成以在其间形成边界表面。

18、接触部分可以在另一侧形成内部空间，该内部空间被连接到筒空间且具有尖锐金字塔形空间的高度，并且接触部分和主体部分可以在其间沿着金字塔形空间和筒空间二者的内表面形成边界表面。

19、接触部分可以被填充在凹槽中并且具有凸起，该凸起具有比凹槽的上端窄的宽度并且凸出得比凹槽的上端高，并且主体部分可以沿着接触部分和凸起二者的表面在其间形成边界表面。

20、接触部分可以被填充在凹槽中并且具有膨胀部，该膨胀部具有比凹槽的上端宽的宽度并且凸出得比凹槽的上端高，并且膨胀部和主体部分可以在其间沿着膨胀部的表面形成边界表面。

21、主体部分可以包括第一主体部分和第二主体部分，该第一主体部分可以形成沿着接触部分的内表面的第一边界表面并且形成为直至接触部分的高度，并且第二主体部分可以形成沿着第一主体部分的上表面的第二边界表面。

22、主体部分可以进一步包括在膨胀部侧的附加层，并且该附加层沿着膨胀部的表面在其间形成边界表面。

23、接触部分可以被形成为多个。

24、有益效果

25、根据示例性实施例的用于检查的探针构件可以通过形成一个或两个边界表面以减少边界表面的数量来改善耐久性。因此，由于边界表面的数量减少，因此在使用期间从边界表面分离的风险可以降低，并且制造方法中的单元操作的数量以及由此产生的成本和时间可以减少。

技术特征：

1.一种制造用于检查的探针构件的方法，所述方法包括：

2.根据权利要求1所述的方法，其中：

3.根据权利要求2所述的方法，其中：

4.根据权利要求3所述的方法，其中：

5.根据权利要求1所述的方法，其中：

6.根据权利要求5所述的方法，其中：

7.根据权利要求6所述的方法，其中：

8.根据权利要求7所述的方法，其中：

9.根据权利要求1所述的方法，其中：

10.根据权利要求9所述的方法，其中：

11.根据权利要求3所述的方法，其中：

12.根据权利要求9所述的方法，其中：

13.根据权利要求10所述的方法，其中：

14.一种用于检查的探针构件，所述探针构件包括：

15.根据权利要求14所述的探针构件，其中：

16.根据权利要求14所述的探针构件，其中：

17.根据权利要求14所述的探针构件，其中：

18.根据权利要求14所述的探针构件，其中：

19.根据权利要求14至17中任一项所述的探针构件，其中：

20.根据权利要求14至17中任一项所述的探针构件，其中：

技术总结
根据本发明的一个实施例的用于检查的探针构件包括：接触部分，所具有的一侧形成为尖锐的，并且由第一金属形成，以便与待检查的物体接触；和主体部分，形成在接触部分的另一侧上，由第二金属形成，其中主体部分包括侧表面，在侧表面上形成有凹进部分，该凹进部分具有小于接触部分的第一直径的第二直径，并且接触部分和主体部分在不同的工艺中形成，因此具有在其间形成的边界。

技术研发人员：白正均
受保护的技术使用者：白正均
技术研发日：
技术公布日：2024/2/21