流路芯片以及介电电泳装置的制作方法

本发明涉及流路芯片以及介电电泳装置。

背景技术：

1、以往，已知利用介电泳力来分离并捕集回收对象的流路芯片。这种流路芯片具备注入含有回收对象的液体的流路(微流路)和用于电捕捉液体内的回收对象的电极(微电极)。这样的流路芯片例如在专利文献1中公开。

2、现有技术文献

3、专利文献

4、专利文献1：日本特开2017-134020号公报

技术实现思路

1、发明所要解决的课题

2、在流路芯片的制造工序上，对面内的电极进行保护的绝缘保护膜的膜厚及相对介电常数、电极金属的电阻率可能产生偏差。另外，在制造过程中产生了表面有机污染的情况下，该有机残渣也可能对介电泳力造成影响。它们有可能引起无法捕捉回收对象物的程度的介电泳力的降低、或产生对回收对象物造成损伤的程度的过剩的力。

3、为了事先评价电极的性能，还考虑在向流路注入了液体的状态下检查电极的性能。然而，由于向流路注入液体，有可能产生新的表面污染，或者引起由颗粒混入引起的流路堵塞等。

4、本发明的目的在于提供一种不使用介电电泳用流路就能够评价电极对于流路的性能的技术。

5、用于解决课题的手段

6、为了解决上述课题，第一方式是一种流路芯片，其包含：基板；主流路，其配置在所述基板的一个主面上，并能够注入液体；液体贮存部，其与所述主流路分离地配置在所述基板的所述主面上，并能够注入液体；一对主电极，其配置在所述基板的所述主面与所述主流路之间；以及一对检查用电极，其配置在所述基板的所述主面与所述液体贮存部之间。

7、第二方式为在第一方式的流路芯片中，所述液体贮存部包含液体能够流通的检查用流路，所述一对检查用电极被配置在所述基板的所述主面与所述检查用流路之间。

8、第三方式为在第一方式或第二方式的流路芯片中，所述一对主电极中的与所述主流路重叠的第一重叠部的面积等于所述一对检查用电极中的与所述液体贮存部重叠的第二重叠部的面积。

9、第四方式为在第一方式至第三方式中的任意一个方式的流路芯片中，具备两组以上的所述一对检查用电极。

10、第五方式为在第四方式的流路芯片中，具备三组的所述一对检查用电极。

11、第六方式为在第一方式至第五方式中的任意一个方式的流路芯片中，所述一对主电极与所述一对检查用电极相邻配置。

12、第七方式为在第一方式至第六方式中的任意一个方式的流路芯片中，所述一对主电极以及所述一对检查用电极的表面被绝缘保护膜覆盖，所述主流路以及所述液体贮存部配置在所述绝缘保护膜上。

13、第八方式为在第一方式至第七方式中的任意一个方式的流路芯片中，所述一对主电极以及所述一对检查用电极具有梳齿状。

14、第九方式为一种介电电泳装置，其具备：第一方式至第八方式中的任意一个方式的流路芯片；以及电源部，其对所述一对主电极和所述一对检查用电极施加电压。

15、发明效果

16、根据第一方式的流路芯片，与主流路对应的一对主电极和与液体贮存部对应的一对检查用电极配置在相同的基板上。因此，通过在向液体贮存部注入了液体的状态下检查一对检查用电极的性能，能够不使用主流路和一对主电极而适当地评价一对主电极的性能。

17、根据第二方式的流路芯片，通过使一对检查用电极与液体贮存部的检查用流路重叠，能够使配置有一对检查用电极的环境条件接近配置有一对主电极的环境条件。由此，能够基于一对检查用电极的检查结果，适当地评价一对主电极的性能。

18、根据第三方式的流路芯片，一对检查用电极的第二重叠部的面积与一对主电极的第一重叠部的面积相同，因此能够使一对检查用电极的性能与一对主电极的性能等同。由此，能够基于一对检查用电极的性能的检查结果，适当地评价一对主电极的性能。

19、根据第四方式的流路芯片，即使在同一流路芯片内产生了制造工序上的面内偏差，通过对多组的检查用电极的测定结果进行平均，能够适当地评价一对主电极的性能。

20、根据第五方式的流路芯片，通过将一对检查用电极设为3组，能够确保掌握平均误差所需的最小限度的样本数，并且能够抑制流路芯片的大型化。

21、根据第六方式的流路芯片，由于一对主电极与一对检查用电极相邻配置，因此能够使配置有一对检查用电极的环境条件接近配置有一对主电极的环境条件。因此，能够基于一对检查用电极的检查结果来适当地评价一对主电极的性能。

22、根据第七方式的流路芯片，能够通过绝缘保护膜来保护一对主电极以及一对检查用电极。

23、根据第八方式的流路芯片，一对主电极和检查用电极为缩短且并列的梳齿状，由此能够实现低电阻化且向液体中施加均匀的介电泳力。

技术特征：

1.一种流路芯片，其特征在于，包含：

2.根据权利要求1所述的流路芯片，其特征在于，

3.根据权利要求1或2所述的流路芯片，其特征在于，

4.根据权利要求1至3中的任意一项所述的流路芯片，其特征在于，

5.根据权利要求4所述的流路芯片，其特征在于，

6.根据权利要求1至5中的任意一项所述的流路芯片，其特征在于，

7.根据权利要求1至6中的任意一项所述的流路芯片，其特征在于，

8.根据权利要求1至7中的任意一项所述的流路芯片，其特征在于，

9.一种介电电泳装置，其特征在于，具备：

技术总结
本发明提供一种不使用介电电泳用流路就能够评价电极对于流路的性能的技术。流路芯片包含基板(21)、主流路(31)、液体贮存部(40)、一对主电极(33a、33b)以及一对检查用电极(43a、43b)。主流路(31)配置在基板(21)的上表面(211)，能够注入液体。液体贮存部(40)配置在基板(21)的上表面(211)，与主流路(31)分离地配置。液体贮存部(40)能够注入液体。一对主电极(33a、33b)配置在基板(21)的上表面(211)与主流路(31)之间。一对检查用电极(43a、43b)配置在基板(21)的上表面(211)与液体贮存部(40)之间。

技术研发人员：浦川哲,真田雅和,大代京一
受保护的技术使用者：株式会社斯库林集团
技术研发日：
技术公布日：2024/2/25