匀胶质量的检测方法、系统及设备与流程

本公开属于质量检测领域，特别涉及一种匀胶质量的检测方法、系统及设备。

背景技术：

1、光刻是半导体芯片在制作过程中的一个重要工序，在该工序中，需要将光刻胶均匀的涂布在制品的表面。

2、在相关技术中，光刻胶通过匀胶机来实现涂布，匀胶机通过胶泵将光刻胶抽至胶管中，在制品水平向匀速旋转的过程中，将光刻胶喷涂在制品表面，达到光刻胶的涂布目的。

3、然而，因胶泵气量不稳定、光刻胶粘稠度过高、胶量缺失、胶管距离制品表面距离过高、过低等问题，均会导致制品匀胶质量不符合要求。若不及时发现匀胶质量不佳的制品，导致匀胶质量不佳的制品送入后续工序，将会导致返工成本提高。

技术实现思路

1、本公开实施例提供了一种匀胶质量的检测方法、系统及设备，能够及时的检测出匀胶质量不佳的制品，有效的降低返工成本。所述技术方案如下：

2、一方面，本公开实施例提供了一种匀胶质量的检测方法，包括：

3、获取灰阶图，所述灰阶图内具有待检测的制品；

4、将所述灰阶图划分为多个区域，并确定每个区域的灰阶值；

5、确定制品区域的面积和异常区域的面积，所述制品区域为所述制品在所述灰阶图内所占的区域，所述异常区域为在所述制品区域内，灰阶值与所述制品区域的平均灰阶值之间的差值超出预设阈值的区域；

6、计算所述异常区域的面积与所述制品区域的面积之间的比值，若所述比值大于预设比值，则判定所述制品为瑕疵品，若所述比值不大于所述预设比值，则判定所述制品为良品。

7、在本公开的又一种实现方式中，在获取灰阶图之前，包括：

8、提供第一光源，通过所述第一光源对所述制品的表面打光；

9、调节所述第一光源的亮度，以调节所述制品表面的平均灰阶值，使得所述制品表面的平均灰阶值为100～200。

10、在本公开的又一种实现方式中，将所述灰阶图划分为多个区域，包括：

11、根据所述灰阶图的分辨率，以像素点为最小区域，将所述灰阶图划分为多个区域。

12、在本公开的又一种实现方式中，确定制品区域的面积，包括：

13、提供第二光源，通过所述第二光源对所述制品的背面打光；

14、调节所述第二光源的亮度，以调节所述制品轮廓的灰阶值和背景的灰阶值，使得所述制品轮廓的灰阶值与所述背景的灰阶值之差大于100，所述背景为所述灰阶图中，除去所述制品之外的区域；

15、将所述制品轮廓内的区域所占的面积，确定为所述制品区域的面积。

16、另一方面，本公开实施例提供了一种匀胶质量的检测系统，包括：拍摄模块，用于获取灰阶图，所述灰阶图内具有待检测的制品；

17、区域划分模块，用于将所述灰阶图划分为多个区域，并确定每个区域的灰阶值；

18、面积确定模块，用于确定制品区域的面积和异常区域的面积，所述制品区域为所述制品在所述灰阶图内所占的区域，所述异常区域为在所述制品区域内，灰阶值与所述制品区域的平均灰阶值之间的差值超出预设阈值的区域；

19、计算模块，用于计算所述异常区域的面积与所述制品区域的面积之间的比值，若所述比值大于预设比值，则判定所述制品为瑕疵品，若所述比值不大于所述预设比值，则判定所述制品为良品。

20、在本公开的又一种实现方式中，所述检测系统还包括：

21、第一打光模块，用于提供第一光源，通过所述第一光源对所述制品的表面打光；

22、第一亮度调节模块，用于调节所述第一光源的亮度，以调节所述制品表面的平均灰阶值，使得所述制品表面的平均灰阶值为100～200。

23、在本公开的又一种实现方式中，所述区域划分模块，还用于根据所述灰阶图的分辨率，以像素点为最小区域，将所述灰阶图划分为多个区域。

24、在本公开的又一种实现方式中，所述面积确定模块包括：

25、第二打光模块，用于提供第二光源，通过所述第二光源对所述制品的背面打光；

26、第二亮度调节模块，用于调节所述第二光源的亮度，以调节所述制品轮廓的灰阶值和背景的灰阶值，使得所述制品轮廓的灰阶值与所述背景的灰阶值之差大于100，所述背景为所述灰阶图中，除去所述制品之外的区域；

27、面积确定子模块，用于将所述制品轮廓内的区域所占的面积，确定为所述制品区域的面积。

28、又一方面，本公开实施例提供了一种计算机设备，所述计算机设备包括处理器和被配置为存储所述处理器可执行指令的存储器；所述处理器被配置为执行前文所述的匀胶质量的检测方法。

29、又一方面，本公开实施例提供了一种计算机存储介质，其上存储有计算机指令，其特征在于，所述计算机指令被处理器执行时实现前文所述的匀胶质量的检测方法。

30、本公开实施例提供的技术方案带来的有益效果是：

31、通过本公开实施例提供的检测方法，能够对制品上涂布的光刻胶的匀胶质量进行及时准确的检测。首先获取灰阶图，灰阶图内具有待检测的制品。接着将灰阶图划分为多个区域，并确定每个区域的灰阶值。如此一来，能够便于在灰阶图中确定出制品区域和位于制品区域内的异常区域。然后确定制品区域的面积和异常区域的面积，制品区域为制品在灰阶图内所占的区域，异常区域为在制品区域内，灰阶值与制品区域的平均灰阶值之间的差值超出预设阈值的区域。最后计算异常区域的面积与制品区域的面积之间的比值，若比值大于预设比值，则判定制品为瑕疵品，若比值不大于预设比值，则判定制品为良品。

32、也就是说，通过计算出异常区域的面积与制品区域的面积之间的比值，若比值过高，则表示异常区域过多，那么该制品的匀胶质量不合格，为瑕疵品。反之，若比值较低，则表示异常区域很少，或者没有，那么该制品的匀胶质量合格，为良品。因此，本公开实施例提供的检测方法，能够及时准确的检测出制品的匀胶质量，避免了瑕疵品进入后续的工序中，有效的降低了返工成本。

技术特征：

1.一种匀胶质量的检测方法，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的检测方法，其特征在于，在获取灰阶图之前，包括：

3.根据权利要求1所述的检测方法，其特征在于，将所述灰阶图划分为多个区域，包括：

4.根据权利要求1所述的检测方法，其特征在于，确定制品区域的面积，包括：

5.一种匀胶质量的检测系统，其特征在于，包括：

6.根据权利要求5所述的检测系统，其特征在于，还包括：

7.根据权利要求5所述的检测系统，其特征在于，所述区域划分模块，还用于根据所述灰阶图的分辨率，以像素点为最小区域，将所述灰阶图划分为多个区域。

8.根据权利要求5所述的检测系统，其特征在于，所述面积确定模块包括：

9.一种计算机设备，其特征在于，所述计算机设备包括处理器和被配置为存储所述处理器可执行指令的存储器；所述处理器被配置为执行权利要求1至4任一项所述的匀胶质量的检测方法。

10.一种计算机存储介质，其上存储有计算机指令，其特征在于，所述计算机指令被处理器执行时实现权利要求1至4任一项所述的匀胶质量的检测方法。

技术总结
本公开提供了一种匀胶质量的检测方法、系统及设备，属于质量检测领域。该检测方法包括：获取灰阶图，灰阶图内具有待检测的制品；将灰阶图划分为多个区域，并确定每个区域的灰阶值；确定制品区域的面积和异常区域的面积，制品区域为制品在灰阶图内所占的区域，异常区域为在制品区域内，灰阶值与制品区域的平均灰阶值之间的差值超出预设阈值的区域；计算异常区域的面积与制品区域的面积之间的比值，若比值大于预设比值，则判定制品为瑕疵品，若比值不大于预设比值，则判定制品为良品。本公开能够及时的检测出匀胶质量不佳的制品，有效的降低返工成本。

技术研发人员：房伟杰,李威,吴兆甑,汤淼,汪洋,冬旻弘,李俊生
受保护的技术使用者：华灿光电（浙江）有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/12