一种同轴微波测量探针的制作方法

本发明涉及探针，具体涉及一种同轴微波测量探针。

背景技术：

1、使用微波测量探针的在片测试系统中，最常用的就是同轴式探针，利用同轴式探针可以方便地连接测试仪器，探针针尖与被测芯片焊盘相接触进行测试。该操作一般是通过探针台来实现，在扎针操作时，精确控制探针向下的位移距离，使针尖接触芯片焊盘后向前滑行，传统的探针一般在滑行40微米至60微米的距离后可以稳定接触，但是传统的探针在滑行距离小于40微米时下压力过小，下压力与滑行距离关系如图5所示，测试结果不稳定，为保证测试的稳定性，需要滑行的长度都会超过40微米，但是滑行长度过长就会导致探针测试后在焊盘上留下较长的触痕，影响芯片外观，芯片的外观检验时，不合格率将大大增加。

2、目前各个探针厂商生产或是某些科研单位研发的探针均为传统式的探针，其结构如图1所示，由于利用探针进行测试的被测件与探针针尖都很小，这种结构由于没有预加变形，很容易造成测试精度不稳定。并且由于要实现可靠接触，滑行的长度要长于40微米，这会使初始接触位置受到更深的损伤，留下更深的触痕。

3、因此，现需要一种在探针测试时具有较短的滑行距离和较小触痕的条件下，依旧能保持测试精度的同轴微波测量探针。

技术实现思路

1、本发明的主要目的在于提供一种同轴微波测量探针，以解决现有技术中探针测试时的滑行距离较长、触痕较大、测试结果不稳定的问题。

2、为实现上述目的，本发明提供了一种同轴微波测量探针，包括：探针支架、同轴电缆以及压片，探针支架的端部具有凹槽结构，同轴电缆位于探针支架内部并从探针支架的端部穿出，压片固定在探针支架的端部，并位于凹槽结构的开口处，压片和凹槽结构之间形成活动空间，同轴电缆的穿出端在活动空间内活动。

3、进一步地，同轴电缆在探针支架内部形成一定弯折角度，并且弯折方向向上。

4、进一步地，压片为片状矩形结构，并通过螺钉固定在探针支架的端部，将同轴电缆限位在由压片和凹槽结构之间的活动空间内。

5、本发明具有如下有益效果：

6、本发明提供的技术方案增加了压片结构，在探针针尖接触焊盘后滑行距离在20～30微米左右即可实现稳定接触。这将使探针对芯片的损伤减小，并且本发明提供带有压片结构的同轴微波测试探针在滑行20～30微米左右时，与传统探针滑行40微米以上时的稳定性不相上下。

技术特征：

1.一种同轴微波测量探针，其特征在于，包括：探针支架、同轴电缆以及压片，所述探针支架的端部具有凹槽结构，所述同轴电缆位于所述探针支架内部并从所述探针支架的端部穿出，所述压片固定在所述探针支架的端部，并位于所述凹槽结构的开口处，所述压片和所述凹槽结构之间形成活动空间，所述同轴电缆的穿出端在所述活动空间内活动。

2.根据权利要求1所述的一种同轴微波测量探针，其特征在于，所述同轴电缆在所述探针支架内部形成一定弯折角度，并且弯折方向向上。

3.根据权利要求1所述的一种同轴微波测量探针，其特征在于，所述压片为片状矩形结构，并通过螺钉固定在所述探针支架的端部，将所述同轴电缆限位在由所述压片和所述凹槽结构之间的活动空间内。

技术总结
本发明提供了一种同轴微波测量探针，包括：探针支架、同轴电缆以及压片，探针支架的端部具有凹槽结构，同轴电缆位于探针支架内部并从探针支架的端部穿出，压片固定在探针支架的端部，并位于凹槽结构的开口处，压片和凹槽结构之间形成活动空间，同轴电缆的穿出端在活动空间内活动。本发明的技术方案克服现有技术中探针测试时的滑行距离较长、触痕较大、测试结果不稳定的问题。

技术研发人员：张志刚,曹玉金,张文兴,朱伟峰,石先宝,吴强,张枢
受保护的技术使用者：中电科思仪科技股份有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/13