一种基于LTCC的四臂抗温漂压力传感器的制作方法

本申请涉及数据采集修正领域，具体而言，特别涉及一种基于ltcc的四臂抗温漂压力传感器。

背景技术：

1、电阻式应变式传感器是由电阻应变片组成的测量电路和弹性敏感元件组合起来的传感器。当弹性敏感元件受到外界压力作用时，将产生应变，粘贴在表面的电阻应变片也会产生应变，电阻值会发生变化。弹性体的形变转化为电阻应变片阻值的变化。在理论状态下，上述传感器在测量过程中应变片只对待测物体产生应变变化，在实际测量过程中，温度过高会产生温漂，也会对测量结果产生较大的影响。

技术实现思路

1、基于现有技术的不足，针对现有压力传感器测量温漂过高的问题，本申请实提供了一种基于ltcc的四臂抗温漂压力传感器，其特征在于，包括：传感基板和凹槽基板，其中，所述传感基板包括：第一传感基板和第二传感基板，在第一传感基板和第二传感基板之间设置有凹槽基板；应变片，包括设置在第一传感基板上侧的第一应变片及第二应变片，以及设置在第二传感基板下侧的第三应变片及第四应变片；凹槽，在所述凹槽基板上设置适应于应变片形变大小的凹槽。

2、可选地，所述第一应变片与所述第四应变片上下对齐，所述第二应变片与所述第三应变片上下对齐。

3、可选地，所述第一应变片和所述第二应变片左右对称，所述第三应变片和所述第四应变片左右对称。

4、可选地，所述第一应变片、第二应变片、第三应变片和第四应变片产生的电阻形成惠斯通电桥，所述惠斯通电桥通过电桥平衡条件降低温漂。

5、可选地，所述惠斯通电桥为四臂全桥电桥，所述惠斯通电桥的所述第一应变片、第二应变片、第三应变片以及第四应变片同时受力。

6、可选地，所述第一应变片与所述第三应变片产生的所述电阻为第一应变电阻对，所述第二应变片与所述第四应变片产生的所述电阻为第二应变电阻对，在所述压力传感器感受压力时，所述第一应变电阻对的电阻增加，所述第二对应变电阻对的电阻减少。

7、可选地，所述第一应变片、第二应变片、第三应变片、第四应变片在无应变力的情况下所产生阻值相等。

8、可选地，所述第一传感基板与所述凹槽基板之间以及所述凹槽基板与所述第二传感基板之间通过环氧树脂粘贴连接。

9、本申请的有益效果是：通过ltcc技术将第一应变片和第二应变片贴在第一传感基板上，第三应变片和第四应变片贴在第二传感基板上，中间凹槽基板设置有适应于应变片最大形变大小的凹槽，第一应变片和第二应变片位于第一传感基板的上侧，第三应变片和第四应变片位于第二传感基板的下侧，四个应变片在外界物体通过时产生的形变会产生电阻形成四臂惠斯通电桥，惠斯通电桥通过电桥平衡影响，可以有效消除温度对测量结果的影响，提高数据测量的精度。

技术特征：

1.一种基于ltcc的抗温漂四臂压力传感器，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的基于ltcc的抗温漂四臂压力传感器，其特征在于，所述第一应变片与所述第四应变片上下对齐，所述第二应变片与所述第三应变片上下对齐。

3.根据权利要求1所述的基于ltcc的抗温漂四臂压力传感器，其特征在于，所述第一应变片和所述第二应变片左右对称，所述第三应变片和所述第四应变片左右对称。

4.根据权利要求1所述的基于ltcc的抗温漂四臂压力传感器，其特征在于，所述第一应变片、第二应变片、第三应变片和第四应变片产生的电阻形成惠斯通电桥，所述惠斯通电桥通过电桥平衡条件降低温漂。

5.根据权利要求3所述的基于ltcc的抗温漂四臂压力传感器，其特征在于，所述惠斯通电桥为四臂全桥电桥，所述惠斯通电桥的所述第一应变片、第二应变片、第三应变片以及第四应变片同时受力。

6.根据权利要求1所述的一种基于ltcc的四臂压力传感器，其特征在于，所述第一应变片与所述第三应变片产生的所述电阻为第一应变电阻对，所述第二应变片与所述第四应变片产生的所述电阻为第二应变电阻对，在所述压力传感器感受压力时，所述第一应变电阻对的电阻增加，所述第二对应变电阻对的电阻减少。

7.根据权利要求1所述的一种基于ltcc的四臂压力传感器，其特征在于，所述第一应变片、第二应变片、第三应变片、第四应变片在无应变力的情况下所产生阻值相等。

8.根据权利要求1所述的一种基于ltcc的四臂压力传感器，其特征在于，所述第一传感基板与所述凹槽基板之间以及所述凹槽基板与所述第二传感基板之间通过环氧树脂粘贴连接。

技术总结
本申请公开了一种基于LTCC的四臂抗温漂压力传感器，解决了现有压力传感器由于温漂过大时导致数据采集不精确的问题，主要包括第一传感基板、第二传感基板和凹槽基板，第一传感基板上侧包括第一应变片、第二应变片，第二传感基板下侧包括第三应变片、第四应变片，凹槽基板上设置有适应于应变片最大形变的凹槽，当被测物体对放置在压力传感器上时，第一应变片和第二应变片往凹槽方向产生形变，第三应变片和第四应变片往凹槽相反方向产生形变，应变片受到形变时产生阻值，通过四个应变片产生的电阻形成惠斯通电桥，所述惠斯通电桥通过电桥平衡的条件可以降低温度对数据测量的影响，提高压力传感器的测量精度，很好地保证了在复杂环境中测量结果的精确性。

技术研发人员：孟凡海,杨杰,王树超,张伟
受保护的技术使用者：西安秦玄汉信息科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/13