放射线检测器和放射线成像系统的制作方法

本发明涉及放射线检测器和放射线成像系统。

背景技术：

1、日本专利申请特开no.2019-87640公开了一种通过定义能量射线检测器(放射线检测器)的检测区域的厚度来提高检测能量射线的精度的方法。

2、需要放射线检测器来增强检测灵敏度。

技术实现思路

1、本发明的一个目的是提供具有增强的检测灵敏度的放射线检测器。

2、本公开的一方面是一种放射线检测器，包括：像素阵列，在所述像素阵列中像素以矩阵形状排列，每个像素具有被配置为将放射线转换为电荷的放射线检测元件和被配置为放大来自放射线检测元件的信号并输出经放大的信号的放大晶体管；以及针对每个像素列提供的信号布线，其中，设有在平面视图中被形成为包围所述放射线检测元件的像素隔离结构，并且所述放大晶体管在平面视图中被布置在由所述像素隔离结构限定的区域内部。

3、根据本发明，可以提供具有增强的检测灵敏度的放射线检测器。

4、从以下参考附图对示例性实施例的描述中，本发明的进一步特征将变得清楚。

技术特征：

1.一种放射线检测器，包括：

2.根据权利要求1所述的放射线检测器，其中所述放大晶体管被布置在由所述放射线检测元件的有源区域包围的区域中。

3.根据权利要求1所述的放射线检测器，

4.根据权利要求1所述的放射线检测器，其中所述像素还具有被配置为连接用于从所述放射线检测元件提取电荷的提取单元和所述放大晶体管的栅极的布线。

5.根据权利要求1所述的放射线检测器，其中所述信号布线包括针对所述像素阵列的像素列布置的至少两条信号布线线路。

6.根据权利要求5所述的放射线检测器，

7.根据权利要求5所述的放射线检测器，

8.根据权利要求7所述的放射线检测器，

9.根据权利要求8所述的放射线检测器，其中所述信号布线和所述连接布线彼此交叉的部分的重叠面积在所有交点处具有基本相同的值。

10.根据权利要求5所述的放射线检测器，

11.根据权利要求10所述的放射线检测器，

12.根据权利要求11所述的放射线检测器，其中所述第二电源布线被布置在所述第一电源布线和所述第三电源布线之间。

13.根据权利要求11所述的放射线检测器，其中所述第三电源布线被布置在所述第一电源布线和所述第二电源布线之间。

14.根据权利要求11所述的放射线检测器，其中所述第一电源布线、所述第二电源布线和所述第三电源布线被布置在布置有所述放大晶体管的区域的上部。

15.根据权利要求1所述的放射线检测器，

16.根据权利要求1所述的放射线检测器，其中所述放射线检测器为表面照射类型。

17.一种放射线成像系统，包括：

18.一种放射线成像系统，包括：

技术总结
本发明涉及放射线检测器和放射线成像系统。一种放射线检测器包括：像素阵列，其中像素以矩阵形状排列，每个像素具有被配置为将放射线转换为电荷的放射线检测元件和被配置为放大来自放射线检测元件的信号并输出经放大的信号的放大晶体管；以及针对每个像素列提供的信号布线，其中，设有被形成为在平面视图中包围放射线检测元件的像素隔离结构，并且放大晶体管在平面视图中被布置在由像素隔离结构限定的区域内部。

技术研发人员：大泽和嵩,渡边高典,山口智奈
受保护的技术使用者：佳能株式会社
技术研发日：
技术公布日：2024/1/16