光学检测系统的制作方法

本发明涉及光学检测，尤其涉及一种光学检测系统。

背景技术：

1、虽然现有的光学检测系统具有快速、非接触和无损伤优点，但是在进行光学检测时，在现有的一些低倍率的检测系统中当待测样品包括高深宽比的孔，孔底的反射光线容易被遮拦，从而导致测量深孔时精度不高。高倍率的检测系统又存在装配难度大、调节麻烦的问题，难以灵活应用，因此现有光学检测系统也具有倍率调节区间小的缺陷。

2、因此，亟需提供一种新的光学检测系统，以解决现有光学检测系统的不足。

技术实现思路

1、由鉴于此，为了解决上述现有技术的不足，本发明实施提供了一种光学检测系统，具有测量精度高、倍率调节区间大的特点。

2、为实现上述目的，本发明一个实施提供一种光学检测系统包括：光源，具有光输出端，所述光源用于产生或引入测量用光；调整模块，具有光调整输入端和第一光调整输出端、第二光调整输出端，所述光调整输入端连接所述光输出端，所述调整模块用于调整光线；第一检测模块，具有检测光第一输入端和检测光第一输出端，所述检测光第一输入端连接所述第一光调整输出端，所述第一检测模块用于对光线进行扩束整形；第二检测模块具有检测光第二输入端和检测光第二输出端，所述检测光第二输入端连接所述第二光调整输出端，所述第二检测模块用于对光线进行扩束整形，并且第二检测模块的扩束整形能力强于所述第一检测模块的扩束整形能力；以及采集模块具有采集光输入端，所述采集光输入端连接所述检测光第一输出端和检测光第二输出端，所述采集模块用于采集光学信息。

3、本发明的一个实施例中，所述调整模块包括：第一调整子模块具有第一光调整输入子端，所述第一光调整输入子端连接所述光调整输入端，所述第一光调整输出端位于所述第一调整子模块；第二调整子模块具有第二光调整输入子端，所述第二光调整输入子端连接所述光调整输入端，所述第二光调整输出端位于所述第二调整子模块。

4、本发明的一个实施例中，所述光源包括分光单元；所述光输出端包括：第一光输出端和第二光输出端。所述分光单元上形成有所述第一光输出端和所述第二光输出端。

5、本发明的一个实施例中，所述调整模块包括孔径限制单元。所述孔径限制单元包括视场光阑和孔径光阑，所述视场光阑用于控制光线的收光角度的大小，所述孔径光阑用于限制光线的截面尺寸。

6、在本发明的一个实施例中，所述调整模块还包括调焦镜组。所述调焦镜组与所述孔径限制单元配合用于实现科勒照明或临界照明。

7、本发明的一个实施例中，所述第一检测模块包括迈克尔逊型物镜模块、米洛型物镜模块。所述第二检测模块为林尼克物镜模块。

8、本发明的一个实施例中，所述第一检测模块还包括物镜切换装置。所述迈克尔逊型物镜模块和所述米洛型物镜模块分别连接所述物镜切换装置。所述物镜切换装置用于将所述检测光第一输入端和检测光第一输出端设置在所述迈克尔逊型物镜模块上或所述米洛型物镜模块上。

9、本发明的一个实施例中，所述采集模块还包括：成像单元、测量单元。所述成像单元和所述测量单元分别连接所述采集光输入端。所述成像单元用于采集光学数据。所述测量单元用于检测光信号，并根据检测到的光信号获取所述光信号的光源结构和物质信息。

10、本发明的一个实施例中，所述采集模块还包括：第一调整子模块，具有第一光调整输入子端和第一光调整输出子端，所述第一光调整输入子端连接所述光调整输入端，所述第一光调整输出端位于所述第一调整子模块；第二调整子模块，具有第二光调整输入子端，所述第二光调整输入子端连接所述第一光调整输出子端，所述第二光调整输出端位于所述第二调整子模块。

11、本发明的一个实施例中，所述光学检测系统还包括置物平台，用于承载所述待测样品；所述置物平台设置在所述第一检测模块的一侧和第二检测模块的一侧，并用于接收来自于所述检测光第一输出端和检测光第二输出端的光线。

12、上述实施方案有如下优点或有益效果：

13、1、所述第一检测模块和第二检测模块可以切换使用，提升检测效率；当测件为高深宽比的孔时，第二检测模块可以对高深宽比的孔的三维形貌进行更高精度测量；而同时整个光学检测系统可以兼容低倍到高倍几乎所有的放大倍率的要求，即可兼容低分辨率到高分辨率；

14、2、通过设置所述第一调整子模块和第二调整子模块实现了分别调整进入所述第一检测模块和第二检测模块的光线，避免了第一检测模块和第二检测模块共用光调整元件，降低了光调整难度，因此能提升检测效率。

技术特征：

1.一种光学检测系统，其特征在于，包括：光源(10)，具有光输出端，所述光源(10)用于产生或引入测量用光；

2.根据权利要求1所述的光学检测系统，其特征在于，所述调整模块(13)包括：

3.根据权利要求2所述的光学检测系统，其特征在于，所述光源(10)包括分光单元(102)；所述光输出端包括：第一光输出端和第二光输出端；所述分光单元(102)上形成有所述第一光输出端和所述第二光输出端；

4.根据权利要求1所述的光学检测系统，其特征在于，所述调整模块(13)包括孔径限制单元；

5.根据权利要求4所述的光学检测系统，其特征在于，所述调整模块(13)还包括调焦镜组；所述调焦镜组与所述孔径限制单元配合用于实现科勒照明或临界照明。

6.根据权利要求1所述的光学检测系统，其特征在于，所述第一检测模块(12)包括迈克尔逊型物镜模块(121)、米洛型物镜模块(122)；

7.根据权利要求6所述的光学检测系统，其特征在于，所述第一检测模块(12)还包括物镜切换装置(123)；所述迈克尔逊型物镜模块(121)和所述米洛型物镜模块(122)分别连接所述物镜切换装置(123)，所述物镜切换装置(123)用于将所述检测光第一输入端和检测光第一输出端设置在所述迈克尔逊型物镜模块(121)上或所述米洛型物镜模块(122)上。

8.根据权利要求1所述的光学检测系统，其特征在于，所述采集模块(11)还包括：成像单元、测量单元；所述成像单元和所述测量单元分别连接所述采集光输入端；所述成像单元用于采集光学数据；所述测量单元用于检测光信号，并根据检测到的光信号获取所述光信号的光源结构和物质信息。

9.根据权利要求1所述的光学检测系统，其特征在于，所述调整模块(13)包括：

10.根据权利要求1-9所述的光学检测系统，其特征在于，还包括置物平台(15)，用于承载所述待测样品；所述置物平台(15)设置在所述第一检测模块(12)的一侧和第二检测模块(14)的一侧，并用于接收来自于所述检测光第一输出端和检测光第二输出端的光线。

技术总结
本发明实施例提供的一种光学检测系统，包括：光源、调整模块、第一检测模块、第二检测模块和采集模块。所述光源用于产生或引入测量用光。所述调整模块用于调整光线。所述第一检测模块和所述第二检测模块用于对光线进行扩束整形。并且第二检测模块的扩束整形能力强于所述第一检测模块的扩束整形能力。所述采集模块可以采集光学数据。本发明实施例具有测量精度高、倍率调节区间大的特点。

技术研发人员：陈鲁,李希希,马砚忠,陈驰,皮林立,张嵩
受保护的技术使用者：深圳中科飞测科技股份有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/25