压力传感器及压力复合传感器的制作方法

本发明涉及感测，更为具体的说涉及一种压力传感器及压力复合传感器。

背景技术：

1、在压力传感器中，现有同类产品普遍使用的压力感测模块多数基于金属一体结构进行产品制作。在该结构中，感应压力的压力感应体与金属外壳的间距非常小，小于1mm。因此，产品的一些电气性能差，如绝缘电阻低、绝缘强度弱等，这种缺点限制了产品的应用范围。

2、因此，需要对现有技术进行改进。

技术实现思路

1、本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提供一种压力传感器及压力复合传感器。

2、本发明的目的采用以下技术方案实现：

3、根据本发明的一方面，提供一种压力传感器，包括：基座和压力感应部件，所述基座具有第一表面，所述基座在所述第一表面设有环形槽；所述压力感应部件由金属材料构成，所述压力感应部件构造为盖帽结构，所述压力感应部件具有顶部和与所述顶部固定连接的环形开口部，所述环形开口部的部分嵌入所述环形槽内并与所述基座固定连接；

4、所述基座的所述第一表面与所述压力感应部件之间形成感应腔，所述基座具有贯穿其厚度的第一通孔，所述第一通孔与所述感应腔连通，在所述基座的厚度方向上，所述压力感应部件的所述顶部的远离所述感应腔的一侧设置有应变检测装置，以用于将所述压力感应部件上侦测到的压力形变转化为电信号；

5、其中，在所述环形槽内填充有绝缘材料，以使所述压力感应部件密封固定所述基座上。

6、进一步地，所述绝缘材料包括陶瓷、玻璃或者环氧树脂。

7、进一步地，所述基座为金属材质。

8、在一些实施方式中，所述应变检测装置包括硅应变计，所述硅应变计与所述压力感应部件的顶部固定连接。

9、根据本发明的又一方面，提供一种压力传感器，包括：基座和压力感应部件，所述基座为非金属材质，所述基座具有第一表面，所述压力感应部件由金属材料构成，所述压力感应部件构造为盖帽结构，所述压力感应部件具有顶部和与所述顶部固定连接的环形开口部，所述环形开口部的部分嵌入所述基座中并与所述基座固定连接；

10、所述基座的所述第一表面与所述压力感应部件之间形成感应腔，所述基座具有贯穿其厚度的第一通孔，所述第一通孔与所述感应腔连通，在所述基座的厚度方向上，所述压力感应部件的所述顶部的远离所述感应腔的一侧设置有应变检测装置，以用于将所述压力感应部件上侦测到的压力形变转化为电信号；

11、其中，所述压力感应部件经由所述基座与外壳电隔离。

12、进一步地，所述基座为陶瓷基座。

13、进一步地，所述基座在所述第一表面设有环形槽，所述环形开口部的部分嵌入所述环形槽内；在所述环形槽内填充有固定材料，以使所述压力感应部件密封固定所述基座上。

14、进一步地，所述压力感应部件与所述基座之间采用玻璃烧结工艺或者焊接工艺固定连接。

15、进一步地，在所述环形槽的内径指向外径延伸方向上，所述环形槽距所述基座的轮廓边缘的径向距离大于或者等于1mm。

16、进一步地，所述外壳为金属外壳。

17、在一些实施方式中，所述应变检测装置包括硅应变计，所述硅应变计与所述压力感应部件的顶部固定连接。

18、进一步地，在所述环形开口部的内壁和/或外壁上设置有至少一个环形凸缘，所述环形凸缘呈连续的环形或断续的环形，且所述至少一个环形凸缘与所述环形开口部一体成型。

19、根据本发明的另一方面，提供一种压力复合传感器，包括前述任一所述的压力传感器以及多个电气连接件，

20、所述基座还包括贯穿其厚度的多个第二通孔，所述多个第二通孔环绕所述压力感应部件设置；

21、所述多个电气连接件一一对应穿设于所述多个第二通孔中。

22、在一些实施方式中，所述多个第二通孔均位于所述压力感应部件的同一侧。

23、在一些实施方式中，所述多个第二通孔分别位于所述压力感应部件的两侧。

24、进一步地，在所述基座的厚度方向上，每个所述第二通孔的远离所述第一表面的一侧沿径向向内延伸，并且每个所述电气连接件的形状与每个所述第二通孔的形状相适应。

25、进一步地，在每个所述第二通孔内填充有固定材料，以使每个所述电气连接件固定所述基座上。

26、进一步地，所述电气连接件包括信号探针。

27、本发明所提供的一种压力传感器及压力复合传感器，其中，所述压力传感器包括基座和压力感应部件，所述基座具有第一表面，所述基座在所述第一表面设有环形槽；所述压力感应部件由金属材料构成，所述压力感应部件构造为盖帽结构，所述压力感应部件具有顶部和与所述顶部固定连接的环形开口部，所述环形开口部的部分嵌入所述环形槽内并与所述基座固定连接，其中，在所述环形槽内填充有绝缘材料，以使所述压力感应部件密封固定所述基座上。相比于现有技术，本发明所提供的技术方案增加了压力感应部件的绝缘电阻，从而增强了其绝缘强度。

28、本发明所提供的一种压力传感器及压力复合传感器，其中，所述基座为非金属材质，所述压力传感器包括基座和压力感应部件，所述基座具有第一表面，所述压力感应部件由金属材料构成，所述压力感应部件构造为盖帽结构，所述压力感应部件具有顶部和与所述顶部固定连接的环形开口部，所述环形开口部的部分嵌入所述基座中并与所述基座固定连接；其中，所述压力感应部件经由所述基座与外壳电隔离。相比于现有技术，本发明所提供的技术方案增加了压力感应部件的绝缘电阻，从而增强了其绝缘强度。

29、进一步地，所述基座为陶瓷基座，陶瓷基座和金属接合比较容易且接合紧密，且绝缘和密封性较好。

技术特征：

1.一种压力传感器，其特征在于，包括：基座和压力感应部件，所述基座具有第一表面，所述基座在所述第一表面设有环形槽；所述压力感应部件由金属材料构成，所述压力感应部件构造为盖帽结构，所述压力感应部件具有顶部和与所述顶部固定连接的环形开口部，所述环形开口部的部分嵌入所述环形槽内并与所述基座固定连接；

2.如权利要求1所述的压力传感器，其特征在于，

3.如权利要求2所述的压力传感器，其特征在于，

4.如权利要求1所述的压力传感器，其特征在于，

5.一种压力传感器，其特征在于，包括：基座和压力感应部件，所述基座为非金属材质，所述基座具有第一表面，所述压力感应部件由金属材料构成，所述压力感应部件构造为盖帽结构，所述压力感应部件具有顶部和与所述顶部固定连接的环形开口部，所述环形开口部的部分嵌入所述基座中并与所述基座固定连接；

6.如权利要求5所述的压力传感器，其特征在于，

7.如权利要求5所述的压力传感器，其特征在于，

8.如权利要求7所述的压力传感器，其特征在于，

9.如权利要求7所述的压力传感器，其特征在于，

10.如权利要求5所述的压力传感器，其特征在于，

11.如权利要求5所述的压力传感器，其特征在于，

12.如权利要求5所述的压力传感器，其特征在于，

13.一种压力复合传感器，其特征在于，包括如权利要求1至12中任意一项所述的压力传感器以及多个电气连接件，

14.如权利要求13所述的压力复合传感器，其特征在于，

15.如权利要求13所述的压力复合传感器，其特征在于，

16.如权利要求14或15所述的压力复合传感器，其特征在于，

17.如权利要求13所述的压力复合传感器，其特征在于，

18.如权利要求13所述的压力复合传感器，其特征在于，

技术总结
本发明提供了一种压力传感器及压力复合传感器，其中，所述压力传感器包括基座和压力感应部件，所述基座具有第一表面，所述基座在所述第一表面设有环形槽；所述压力感应部件由金属材料构成，所述压力感应部件构造为盖帽结构，所述压力感应部件具有顶部和与所述顶部固定连接的环形开口部，所述环形开口部的部分嵌入所述环形槽内并与所述基座固定连接，其中，在所述环形槽内填充有绝缘材料，以使所述压力感应部件密封固定所述基座上。相比于现有技术，本发明所提供的技术方案增加了压力感应部件的绝缘电阻，从而增强了其绝缘强度。

技术研发人员：肖滨,王顺,张兵兵,李刚
受保护的技术使用者：昆山灵科传感技术有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/14