惯性计测装置、惯性计测装置的制造方法与流程

本发明涉及惯性计测装置及其制造方法。

背景技术：

1、已知有具备具有加速度传感器、角速度传感器等惯性传感器的惯性传感器模块的惯性计测装置。惯性计测装置组装于各种电子设备、机械，或者搭载于汽车等移动体，用于进行加速度、角速度等惯性量的监视。

2、例如，在专利文献1中，记载了一种传感器单元，其具有传感器器件，所述传感器器件具备通过密封树脂而被树脂密封的惯性传感器。

3、专利文献1：日本特开2017-49122号公报

4、若水分从外部侵入上述那样的密封树脂，则存在密封树脂的应力变动的情况。当密封树脂的应力发生变动时，惯性传感器会发生变形，从而有可能对传感器器件的计测造成影响。即，要求降低水分的影响、具有优异的检测精度的惯性计测装置及其制造方法。

技术实现思路

1、本申请的一个方式的惯性计测装置具备：基板，其具有接合区域；帽；传感器器件，其收纳于树脂制封装中，在所述基板与所述帽之间的内部空间中配置于所述基板上的安装区域；接合材料以及密封材料，它们在所述基板的所述接合区域将所述帽与所述基板接合，所述接合材料形成为包围所述安装区域并且具有将所述内部空间与外部连通的连通孔，所述密封材料堵塞所述连通孔。

2、本申请的一个方式的惯性计测装置的制造方法包括以下工序：对基板的安装区域以及包围所述安装区域的接合区域中的接合焊盘涂布焊料膏，该接合焊盘具有成为连通孔的凹部；在所述安装区域载置传感器器件；在所述接合区域载置帽；对所述基板进行回流焊；以及通过焊接将所述连通孔密封。

技术特征：

1.一种惯性计测装置，其具备：

2.根据权利要求1所述的惯性计测装置，其中，

3.根据权利要求2所述的惯性计测装置，其中，

4.根据权利要求3所述的惯性计测装置，其中，

5.根据权利要求3所述的惯性计测装置，其中，

6.根据权利要求2所述的惯性计测装置，其中，

7.根据权利要求2所述的惯性计测装置，其中，

8.根据权利要求2所述的惯性计测装置，其中，

9.根据权利要求8所述的惯性计测装置，其中，

10.一种惯性计测装置的制造方法，其包括以下工序：

技术总结
提供惯性计测装置、惯性计测装置的制造方法。惯性计测装置具备：基板，其具有接合区域；帽；传感器器件，其收纳于树脂制封装，在所述基板与所述帽之间的内部空间中配置于所述基板上的安装区域；接合材料以及密封材料，它们在所述基板的所述接合区域将所述帽与所述基板接合，所述接合材料形成为包围所述安装区域并且具有将所述内部空间与外部连通的连通孔，所述密封材料堵塞所述连通孔。

技术研发人员：渡边徹,小木曾弘幸
受保护的技术使用者：精工爱普生株式会社
技术研发日：
技术公布日：2024/2/1