一种电极间距可连续调节的电容压力传感器的制作方法

本申请涉及真空计量，具体而言，涉及一种电极间距可连续调节的电容压力传感器。

背景技术：

1、电容薄膜真空计是一种利用弹性膜片在压差作用下产生位移，引起电极和膜片之间距离的变化，导致电容量发生改变，通过测量电容的变化，实现真空度测量的仪器。它具有测量准确度高、线性好、输出的重复性和长期稳定性好、能够测量气体和蒸汽的全压力，测量结果与气体成分和种类无关等诸多优点，在真空计量、微电子工业、表面处理、等离子体测量、航空航天、高能物理、可控热核聚变等领域得到广泛应用。

2、电容压力传感器是电容薄膜真空计的物理单元，其感压膜片与固定电极间距以及固定电极形状是影响电容压力传感器性能的主要因素，电容薄膜压力传感器在制造和调试过程中固定电极的形状及厚度会直接影响感压膜片与固定电极间距的变化，从而导致输出电容值发生变化而影响传感器的测量精度。

3、传统电容压力传感器中固定电极是通过真空镀膜方式直接将铝镀在陶瓷板上形成铝膜作为固定电极的，即镀膜完成后固定电极的形状和厚度完全确定无法更改。这种设计的不足之处在于电容压力传感器在性能调试过程中一旦发现固定电极与感压膜片间距不满足设计要求时则无法对固定电极进行更换，如要进行更换则必须重新进行镀膜，造成研制时间和成本的巨大投入。

技术实现思路

1、本申请提供了一种电极间距可连续调节的电容压力传感器，可有效减小传统电容压力传感器固定电极一旦完成镀膜则无法更改的现状，有效地消除传统电极组件局限性的同时，极大地提高了固定电极设计及更换的多样性。

2、为了实现上述目的，本申请提供了一种电极间距可连续调节的电容压力传感器，包括机架、底板、感压膜片、固定电极、陶瓷板以及引出电极，其中：机架包括左机架和右机架，左机架、右机架以及底板共同组成腔室；感压膜片设置在左机架和右机架之间，将腔室分成第一腔室和第二腔室；第一腔室内设置有进气口，第二腔室内设置有固定电极、陶瓷板以及引出电极；固定电极与陶瓷板之间设置有调节螺杆，调节螺杆与固定电极为一体结构，引出电极与调节螺杆连接，陶瓷板通过卡箍固定在底板上。

3、进一步的，陶瓷板的中心位置设置有螺纹通孔，用于与调节螺杆配合连接。

4、进一步的，通过调节螺杆能够旋转固定电极，实现电极间距的连续调节。

5、进一步的，固定电极的材料为金属材料，厚度为4mm-10mm，直径为20mm-100mm。

6、进一步的，陶瓷板的材料为95瓷。

7、本发明提供的一种电极间距可连续调节的电容压力传感器，具有以下有益效果：

8、本申请采用独立结构的固定电极组件，安装及拆卸都极其简便，消除了传统固定电极镀膜后无法对电极间距更改的现状，实现了感压膜片与固定电极间距的连续调节，固定电极和陶瓷板之间采用螺纹连接，减少了真空镀膜的环节，提高了生产效率，降低了加工成本，同时降低了原有镀膜生产方式废品率。

技术特征：

1.一种电极间距可连续调节的电容压力传感器，其特征在于，包括机架、底板、感压膜片、固定电极、陶瓷板以及引出电极，其中：

2.根据权利要求1所述的电极间距可连续调节的电容压力传感器，其特征在于，所述陶瓷板的中心位置设置有螺纹通孔，用于与所述调节螺杆配合连接。

3.根据权利要求2所述的电极间距可连续调节的电容压力传感器，其特征在于，通过所述调节螺杆能够旋转所述固定电极，实现电极间距的连续调节。

4.根据权利要求3所述的电极间距可连续调节的电容压力传感器，其特征在于，所述固定电极的材料为金属材料，厚度为4mm-10mm，直径为20mm-100mm。

5.根据权利要求1所述的电极间距可连续调节的电容压力传感器，其特征在于，所述陶瓷板的材料为95瓷。

技术总结
本申请涉及真空计量技术领域，具体而言，涉及一种电极间距可连续调节的电容压力传感器，包括机架、底板、感压膜片、固定电极、陶瓷板以及引出电极，其中：左机架、右机架以及底板共同组成腔室；感压膜片设置在左机架和右机架之间，将腔室分成第一腔室和第二腔室；第一腔室内设置有进气口，第二腔室内设置有固定电极、陶瓷板以及引出电极；固定电极与陶瓷板之间设置有调节螺杆，陶瓷板通过卡箍固定在底板上，引出电极与调节螺杆连接。本申请消除了传统固定电极镀膜后无法对电极间距更改的现状，实现了感压膜片与固定电极间距的连续调节，固定电极和陶瓷板之间采用螺纹连接，减少了真空镀膜的环节，提高了生产效率，降低了加工成本。

技术研发人员：裴晓强,丁栋,吴成耀,冉欣
受保护的技术使用者：兰州空间技术物理研究所
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15