用于半导体器件的测试电路及测试设备的制作方法

本申请属于测试，尤其涉及一种用于半导体器件的测试电路及测试设备。

背景技术：

1、开短路测试(open-short test)也称为连续性试验(continuity test)或接触测试(contact test)，用以确认在器件测试时所有的信号引脚都与测试系统相应的通道在电性能上完成了连接，并且没有信号引脚与其他信号引脚、电源或地发生短路。

2、漏电流测试(leakage test)用于对芯片的输入输出引脚进行漏电流测试，以便尽早发现芯片输入输出引脚的结构问题，为接下来的功能测试做准备。

3、目前在半导体行业，对于半导体器件的相关测试，一般采用定制的专用集成电路，或者采用通用电源管理单元芯片进行，相关的芯片技术都掌握在欧美等芯片厂家手里，国内大量获取相关测试设备不仅困难，而且成本相对较高。另外集成式的测试芯片底层功能相对固定，扩展不灵活，无法在大功率、大电流场景使用。

技术实现思路

1、本申请的目的在于提供一种用于半导体器件的测试电路及测试设备，旨在解决成本相对较高，且相关设备功能相对固定，扩展不灵活，无法在大功率、大电流场景使用的问题。

2、本申请实施例提供了一种用于半导体器件的测试电路，包括：

3、恒流源电路，配置为输出恒定电流；

4、恒压源电路，配置为输出恒定电压；

5、选择电路，与所述恒流源电路和所述恒压源电路连接，配置为选择输出所述恒定电流或所述恒定电压至待测芯片；

6、检测电路，连接在恒压源电路和所述选择电路之间，配置为当所述恒定电压加载至所述待测芯片时，对所述待测芯片的漏电流进行检测，以输出漏电流检测信号；

7、主控电路，与所述检测电路连接，且与所述恒流源电路和所述选择电路共接于第一节点，配置为根据所述第一节点的电压得到开短路测试结果，且根据所述漏电流检测信号得到漏电流测试结果。

8、在其中一个实施例中，还包括：

9、跟随电路，连接在所述恒压源电路和所述检测电路之间，且与所述选择电路和采样电路共接于第二节点，配置为使所述第二节点的电压跟随所述恒定电压，以在所述第二节点输出稳定的恒定电压。

10、在其中一个实施例中，还包括：

11、限流电路，连接在所述跟随电路和所述检测电路之间，配置为对所述恒定电压进行限流。

12、在其中一个实施例中，还包括：

13、钳位电路，与所述选择电路连接，配置为当所述选择电路选择输出所述恒定电流至所述待测芯片时，对所述第一节点的电压进行钳位。

14、在其中一个实施例中，所述恒流源电路包括：

15、第一数模转换电路，配置为接入第一数字信号，并将所述第一数字信号转换为第一模拟信号；

16、转换电路，与所述第一数模转换电路、所述第一节点、所述主控电路以及所述选择电路连接，配置为将所述第一模拟信号转换为所述恒定电流。

17、在其中一个实施例中，所述检测电路包括：

18、采样电路，连接在恒压源电路和所述选择电路之间，配置为对当所述恒定电压加载至所述待测芯片时，对所述待测芯片的漏电流进行采样，并将所述采样电路两端的电压作为采样信号；

19、基准电路，配置为输出参考电压；

20、差分放大电路，与所述主控电路、所述采样电路和所述基准电路连接，配置为基于所述参考电压对所述采样信号进行差分放大，以输出漏电流检测信号。

21、在其中一个实施例中，所述采样电路包括调节放大电路和电阻组件；

22、调节放大电路，配置为接入调节信号，并对所述调节信号进行放大，并输出调节放大信号，以调节所述电阻组件的阻值。

23、在其中一个实施例中，所述恒压源电路包括第二数模转换电路。

24、在其中一个实施例中，所述主控电路包括：

25、第一模数转换电路，与所述检测电路连接，配置为对所述漏电流检测信号进行模数转换，以输出漏电流数字信号；

26、第二模数转换电路，与所述第一节点连接，配置为对所述第一节点的电压进行模数转换，以输出开短路数字信号；

27、控制模块，与所述第一模数转换电路和所述第二模数转换电路连接，配置为根据所述开短路数字信号得到所述开短路测试结果，且根据所述漏电流数字信号得到所述漏电流测试结果。

28、本申请实施例还提供一种测试设备，所述测试设备包括上述的用于半导体器件的测试电路。

29、本申请实施例与现有技术相比存在的有益效果是：恒流源电路输出恒定电流；恒压源电路输出恒定电压；选择电路选择输出恒定电流或恒定电压至待测芯片；当恒定电压加载至待测芯片时，检测电路对待测芯片的漏电流进行检测，以输出漏电流检测信号；主控电路与恒流源电路和选择电路共接于第一节点，根据第一节点的电压得到开短路测试结果，且根据漏电流检测信号得到漏电流测试结果，从而提供了一种用于半导体器件的测试电路，无需使用专用芯片，降低了成本；且各部分电路均为自主搭建，可以灵活扩展，使用范围更广，可以在大功率、大电流场景使用。

技术特征：

1.一种用于半导体器件的测试电路，其特征在于，所述用于半导体器件的测试电路包括：

2.如权利要求1所述的用于半导体器件的测试电路，其特征在于，还包括：

3.如权利要求2所述的用于半导体器件的测试电路，其特征在于，还包括：

4.如权利要求1所述的用于半导体器件的测试电路，其特征在于，还包括：

5.如权利要求1所述的用于半导体器件的测试电路，其特征在于，所述恒流源电路包括：

6.如权利要求1所述的用于半导体器件的测试电路，其特征在于，所述检测电路包括：

7.如权利要求6所述的用于半导体器件的测试电路，其特征在于，所述采样电路包括调节放大电路和电阻组件；

8.如权利要求1所述的用于半导体器件的测试电路，其特征在于，所述恒压源电路包括第二数模转换电路。

9.如权利要求1所述的用于半导体器件的测试电路，其特征在于，所述主控电路包括：

10.一种测试设备，其特征在于，所述测试设备包括如权利要求1至9任意一项所述的用于半导体器件的测试电路。

技术总结
一种用于半导体器件的测试电路及测试设备，属于测试技术领域，恒流源电路输出恒定电流；恒压源电路输出恒定电压；选择电路选择输出恒定电流或恒定电压至待测芯片；当恒定电压加载至待测芯片时，检测电路对待测芯片的漏电流进行检测，以输出漏电流检测信号；主控电路与恒流源电路和选择电路共接于第一节点，根据第一节点的电压得到开短路测试结果，且根据漏电流检测信号得到漏电流测试结果，从而提供了一种用于半导体器件的测试电路，无需使用专用芯片，降低了成本；且各部分电路均为自主搭建，可以灵活扩展，使用范围更广，可以在大功率、大电流场景使用。

技术研发人员：吴海涛,吴志盛
受保护的技术使用者：深圳市辰卓科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15