一种高温动态测试电路及其测试方法与流程

本发明涉及半导体，特别是涉及一种高温动态测试电路及其测试方法。

背景技术：

1、半导体器件的特性参数在不同温度下也会表现出不同的特征，一般包括常温特性，低温特性和高温特性，其中，高温特性一般指温度高于常温25度的参数特征。为了保证半导体器件的质量和品质，降低半导体器件在终端使用环境下的失效率，半导体器件的生产厂家会在器件量产出厂前安排特性参数测试。

2、当前实现igbt(insulated gate bipolar transistor，绝缘栅双极型晶体管)模组和sic(碳化硅)模组高温动态测试主要有两种方式：

3、一种是利用恒温加热台对被测模组加热，在温度达到设定值且稳定后由机械抓手放置到动态测试区域，执行对应的动态测试；该过程中模组的底板需要与加热台长期接触，可能存在高温氧化，端子发黑等外观不良

4、另一种是将模组放置在密闭的恒温箱中使模组升温，放置一段时间之后待模组温度达到预定值，由机械抓手将模组取出并放置到动态测试区域执行后续的动态测试，因需要在密闭的恒温箱中升温，导致操作不便，不利于大规模自动化量化生产环境。

5、上述两种加热方式还有一个共同的缺点是恒温加热速度慢，效率低，整套测试系统需要配备独立的加热区域，设备结构复杂，成本高。

6、应该注意，上面对技术背景的介绍只是为了方便对本申请的技术方案进行清楚、完整的说明，并方便本领域技术人员的理解而阐述的。不能仅仅因为这些方案在本申请的背景技术部分进行了阐述而认为上述技术方案为本领域技术人员所公知。

技术实现思路

1、鉴于以上所述现有技术的缺点，本发明的目的在于提供一种高温动态测试电路及其测试方法，用于解决现有技术中高温测试成本高、复杂的问题。

2、为实现上述目的及其他相关目的，本发明提供一种高温动态测试电路包括电源单元、测试支路和开关单元；

3、所述电源单元与所述测试支路并联，用于提供母线电压；

4、所述测试支路包括续流单元和被测单元，所述续流单元串联所述被测单元，且所述续流单元和所述被测单元均包括相同的igbt或/和sic；

5、所述开关单元与所述续流单元并联；

6、所述高温测试电路在所述开关单元中的开关闭合时所述母线电压直接施加于所述被测单元以进行升温，后续再通过控制所述开关单元中开关的开闭状态以实现对所述被测单元的动态测试。

7、优选地，还包括驱动电阻，所述驱动电阻电连接所述被测单元。

8、优选地，所述开关单元包括开关支路和阻抗支路；所述开关支路包括开关；所述阻抗支路包括电感。

9、优选地，所述母线电压直接施加于所述被测单元以进行升温的同时执行所述被测单元的短路测试。

10、为实现上述目的及其他相关目的，本发明还提供一种高温动态测试方法，适用于上述的高温动态测试电路，至少包括如下步骤：

11、s1，母线电压直接施加于所述被测单元，以对所述被测单元进行加热升温至目标温度；

12、s2被测单元升温至目标温度后，同时断开所述被测单元和所述开关单元的开关并延时；

13、s3，延时结束后根据控制指令对所述被测单元进行测试。

14、优选地，步骤s2中，延时时间为100us-200us。

15、优选地，根据控制指令对所述被测单元进行测试包括：

16、控制被测单元导通且断开开关单元中的开关，以使流经被测单元的电流升高；

17、当被测单元的电流达到目标值时，关断所述被测单元，以对所述被测单元进行测试。

18、优选地，当被测单元的电流达到目标值时，关断所述被测单元，以对所述被测单元的开关特性进行测试。

19、优选地，所述母线电压直接施加于所述被测单元以进行升温的同时执行所述被测单元的短路测试。

20、如上所述，本发明的一种高温动态测试电路及其测试方法，具有以下有益效果：

21、本发明的一种高温动态测试电路包括电源单元、测试支路和开关单元；所述电源单元与所述测试支路并联，用于提供母线电压；所述测试支路包括续流单元和被测单元，所述续流单元串联所述被测单元，且所述续流单元和所述被测单元均包括相同的igbt或/和sic；所述开关单元与所述续流单元并联；所述高温测试电路在所述开关单元中的开关闭合时所述母线电压直接施加于所述被测单元以进行升温，后续再通过控制所述开关单元中开关的开闭状态以实现对所述被测单元的动态测试。本发明的高温动态测试电路实质是测试和升温为一体的电路，能够省去传统的高温加热装置，使整个测试系统结构简单、流程简化、成本降低。本发明将短路测试和动态开关测试相结合，实现igbt和/sic器件的快速升温并完成动态测试；其中，将短路测试与动态开关测试相结合，使整个测试时间相比之前会大大降低，再次实现降低测试成本的目的。

技术特征：

1.一种高温动态测试电路，其特征在于，包括电源单元、测试支路和开关单元；

2.根据权利要求1所述的高温动态测试电路，其特征在于，还包括驱动电阻，所述驱动电阻电连接所述被测单元。

3.一种高温动态测试方法，其特征在于，适用于权利要求1-2任一项所述的高温动态测试电路，至少包括如下步骤：

4.根据权利要求3所述的高温动态测试方法，其特征在于，步骤s2中，延时时间为100us-200us。

5.根据权利要求3所述的高温动态测试方法，其特征在于，根据控制指令对所述被测单元进行测试包括：

6.根据权利要求5所述的高温动态测试方法，其特征在于，当被测单元的电流达到目标值时，关断所述被测单元，以对所述被测单元的开关特性进行测试。

7.根据权利要求3所述的高温动态测试方法，其特征在于，所述母线电压直接施加于所述被测单元以进行升温的同时执行所述被测单元的短路测试。

技术总结
本发明提供一种高温动态测试电路及其测试方法，电路包括电源单元、测试支路和开关单元；所述电源单元与所述测试支路并联，用于提供母线电压；所述测试支路包括续流单元和被测单元，所述续流单元串联所述被测单元，且所述续流单元和所述被测单元均包括相同的IGBT或/和SIC；所述开关单元与所述续流单元并联；所述高温测试电路在所述开关单元中的开关闭合时所述母线电压直接施加于所述被测单元以进行升温，后续再通过控制所述开关单元中开关的开闭状态以实现对所述被测单元的动态测试。本发明高温动态测试过程简单、成本低。

技术研发人员：顾盛光,黄建波
受保护的技术使用者：上海林众电子科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/16