一种cvd工艺生产石英坨料沉积摊开量的观测方法与流程

本发明涉及观测，尤其是涉及一种cvd工艺生产石英坨料沉积摊开量的观测方法。

背景技术：

1、在运用cvd沉积工艺生产石英毛坨料的过程中，毛坨料随着沉积生长会缓慢地摊开。为实现通过温度调节准确控制其摊开量，需要对毛坨料的摊开量进行观测，以作为调节温度的节点依据。现有的观测装置为直筒状，观测装置的观测筒口处温度高，不便于使用者观测坨料的摊开情况。

技术实现思路

1、本发明为解决融石英玻璃在沉积时不便于观测的问题，提供了一种cvd工艺生产石英坨料沉积摊开量的观测方法，通过多次反射，观测坨料的摊开情况，降低观测过程中温度对观测的影响。

2、本发明采用的技术方案是：

3、一种cvd工艺生产石英坨料沉积摊开量的观测方法，包括：

4、采用反射观测的方式对石英坨料沉积面进行观测，并基于观测结果调节沉积炉的生产工艺。

5、可选地，采用反射观测的方式对石英坨料沉积面进行观测，具体包括以下步骤：

6、s01、通过设置在观测筒内的反射镜将坨料的摊开情况进行实时反射；

7、s02、通过肉眼观测或基于机器视觉进行观测；

8、s03、根据观测结果判断坨料的摊开情况是否达到要求，如果是，则调整参数停止坨料的摊开；如果否，则继续控制坨料的摊开，直至其满足生产要求。

9、可选地，所述步骤s01中的观测筒内至少具有三个反射点，且相邻两反射点的反射镜面相对设置。

10、可选地，在步骤s01中的观测筒具有热交换功能。

11、可选地，在步骤s01中的观测筒内设置有玻璃镜片，所述玻璃镜片的两侧均设置用于清理粉尘的气吹装置。

12、可选地，在步骤s01中的观测筒的观测端设置有降低强光的避光装置。

13、可选地，步骤s02中的肉眼观测的步骤包括：

14、s021、根据反射镜中的图像信息进行肉眼结合经验判断坨料的摊开情况。

15、可选地，步骤s02中的机器视觉进行观测的步骤包括：

16、s022、通过图像采集装置采集反射镜内的图像信息；

17、s023、将图像信息传输给数据处理中心，并通过数据处理中心进行图像信息比对。

18、可选地，在对石英坨料沉积面进行观测前，在支撑柱的顶部同轴安装同心环标准尺；通过图像采集装置采集同心环标准尺的图像信息，并生成比对图像；比对图像采集完成后，取出同心环标准尺。

19、与现有技术相比，本发明的有益效果是：

20、1、采用反射镜和图像采集装置的配合可解决因可视空间小不便于观测的问题。

21、2、将观测信号直接接入中控电脑系统，操作人员可远程对毛坨料沉积摊开量进行实时定量监测。

22、3、通过中控电脑进行对比降低观测误差。

技术特征：

1.一种cvd工艺生产石英坨料沉积摊开量的观测方法，其特征在于，采用反射观测的方式对石英坨料沉积面进行观测，并基于观测结果调节沉积炉的生产工艺。

2.根据权利要求1所述的cvd工艺生产石英坨料沉积摊开量的观测方法，其特征在于，采用反射观测的方式对石英坨料沉积面进行观测，具体包括以下步骤：

3.根据权利要求2所述的cvd工艺生产石英坨料沉积摊开量的观测方法，其特征在于，所述步骤s01中的观测筒内至少具有三个反射点，且相邻两反射点的反射镜面相对设置。

4.根据权利要求2所述的cvd工艺生产石英坨料沉积摊开量的观测方法，其特征在于，在步骤s01中的观测筒具有热交换功能。

5.根据权利要求2所述的cvd工艺生产石英坨料沉积摊开量的观测方法，其特征在于，在步骤s01中的观测筒内设置有玻璃镜片，所述玻璃镜片的两侧均设置用于清理粉尘的气吹装置。

6.根据权利要求2所述的cvd工艺生产石英坨料沉积摊开量的观测方法，其特征在于，在步骤s01中的观测筒的观测端设置有降低强光的避光装置。

7.根据权利要求2所述的cvd工艺生产石英坨料沉积摊开量的观测方法，其特征在于，步骤s02中的肉眼观测的步骤包括：

8.根据权利要求2所述的cvd工艺生产石英坨料沉积摊开量的观测方法，其特征在于，步骤s02中的机器视觉进行观测的步骤包括：

9.根据权利要求1所述的cvd工艺生产石英坨料沉积摊开量的观测方法，其特征在于，在对石英坨料沉积面进行观测前，在支撑柱的顶部同轴安装同心环标准尺；通过图像采集装置采集同心环标准尺的图像信息，并生成比对图像；比对图像采集完成后，取出同心环标准尺。

技术总结
本发明提供了一种cvd工艺生产石英坨料沉积摊开量的观测方法，涉及观测技术领域。该cvd工艺生产石英坨料沉积摊开量的观测方法，采用反射观测的方式对石英坨料沉积面进行观测，并基于观测结果调节沉积炉的生产工艺。在融石英玻璃的坨料的生产过程中，沉积炉内的观测点温度高达800摄氏度以上，现有的观测一般是采用直筒形状的观测装置进行观测，存在观测筒的筒口处温度过高不利于使用者观测的问题。因此，本发明采用反射观测的方式对坨料的摊开情况进行观测，在观测过程中进行多次反射，降低温度对观察者的影响。

技术研发人员：何海建,付江,谢小龙,幸刚
受保护的技术使用者：江油神光石英科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/16