一种真空压力监测的气体回流缓冲机构的制作方法

本申请涉及真空压力监测的，尤其是涉及一种真空压力监测的气体回流缓冲机构。

背景技术：

1、目前真空压力监测技术在众多领域中具有重要的应用价值，尤其是在科学研究、工业生产和高精度仪器制造等领域，随着科技的不断发展和应用需求的增加，对真空环境下压力的精确监测和控制变得日益重要；

2、通过检索，中国专利公告号cn201340322y公开了一种真空度监测装置及罐体，包括对罐体本体的真空层的真空度进行检测，并将检测结果转换为真空度检测信号的真空度检测传感器；以及与所述真空度检测传感器连接的真空度监测单元，将所述真空度检测信号转换为数字真空度检测信号并通过有线传输方式或无线传输方式传输至监控中心，以判别所述罐体本体的真空性能和温度保持；

3、针对上述中的相关技术，发明人发现存在以下缺陷：

4、该真空度监测装置通过传感器对压力单一的监测效果限制，在特定应用场景下确实具备较好的表现，却难以同时满足不同压力范围和需求的多样性，这种单一监测效果容易导致压力控制的不准确以及应用适应性的降低。

技术实现思路

1、为了解决难以同时满足不同压力范围和需求的多样性，这种单一监测效果容易导致压力控制的不准确以及应用适应性的降低的问题，本申请提供的一种真空压力监测的气体回流缓冲机构，采用如下的技术方案：

2、一种真空压力监测的气体回流缓冲机构，包括真空压力监测机构和回液返充机构，所述真空压力监测机构包括罐体，所述罐体的一侧设置有液体充入机构；

3、所述液体充入机构包括三个液体充入罐、分充管、总充管、充入电磁阀、充入泵、充出管、充出电磁阀和液位传感器；

4、三个所述液体充入罐的外壁下部均固定连通有分充管，三个所述分充管的另一端固定连通于总充管的外侧壁，所述总充管的一端法兰连接于充入泵的充入端，所述充入泵的充出端固定法兰连接于充出管的一端，所述充出管的另一端延伸并贯穿于罐体的外壁下部，三个所述分充管的外壁均安装有充入电磁阀，所述充出管靠近罐体的外侧壁安装有充出电磁阀，所述液位传感器安装于罐体的外壁下部；

5、所述回液返充机构包括返充出管、返充入管、返充总管、返充分管、分管电磁阀、返充出电磁阀和返充入电磁阀；

6、所述返充出管的一端固定连通于罐体的底中部，所述返充出管的另一端固定连通于总充管靠近充入泵的外侧壁，所述充出管靠近充出电磁阀的外壁固定连通于返充入管的一端，所述返充入管的另一端固定连通于返充总管的外壁，所述返充入管的外壁靠近充出管的外壁安装有返充入电磁阀，返充总管的外壁下部固定连通有三个返充分管，三个所述返充分管的另一端分别固定连通于三个液体充入罐的顶部，三个所述返充分管的外侧壁均安装有分管电磁阀。

7、可选的，所述真空压力监测机构还包括真空泵、抽气管、排气管、上部压力传感器和侧部压力传感器；所述真空泵的输出端固定连通于抽气管的一端，所述抽气管的另一端固定连通于罐体的顶部边侧，所述排气管的外壁固定连通于真空泵的输入端，所述上部压力传感器安装于罐体的顶部，所述侧部压力传感器安装于罐体的外侧壁中部，所述真空压力监测机构的一侧设置有补充机构，所述补充机构包括支撑架、横撑架、三个补充液体罐、三个手阀和引流管；

8、所述支撑架的一侧安装有三个横撑架，三个所述补充液体罐螺丝连接于三个横撑架的一侧。

9、可选的，三个所述补充液体罐的底部均固定连通于引流管的一端，三个所述引流管的另一端固定连通于液体充入罐的外侧壁上部，三个所述手阀分别安装于三个引流管靠近补充液体罐的外壁，所述支撑架的另一侧螺栓连接有三个支撑台，三个支撑台的顶部分别螺丝连接于三个液体充入罐的底部。

10、可选的，所述支撑架的一侧安装有控制箱，所述控制箱的电信号端与真空泵、充入泵、充入电磁阀、充出电磁阀、分管电磁阀、返充出电磁阀、返充出电磁阀、液位传感器、上部压力传感器和侧部压力传感器的电信号端电性连接。

11、可选的，所述返充总管的外壁固定连通有排污管，所述排污管的另一端延伸至支撑架的后侧，所述排污管靠近返充总管的外壁安装有排污阀。

12、综上所述，本申请包括以下有益技术效果：

13、本申请通过引入三种不同性质的液体充入罐，结合充入电磁阀的控制，能够选择性地打开液体充入通道，实现液体的快速更换，该设计允许在不同的应用需求下，精准选择不同液体，从而调整压力的稳定性和响应速度，通过不同稠度和性质的液体作为缓冲介质，来实现对压力气体的回流缓冲，配合液体回流和充填的过程，实现在真空状态下的稳定压力控制，高密度液体降低压力变化速率，低黏度液体实现快速响应，液态氮通过液化和气化维持压力平衡，确保能够精确稳定地控制压力后，再通过真空压力监测机构进行监测，使监测系统能够应对各种真空环境下的不同压力控制需求。

技术特征：

1.一种真空压力监测的气体回流缓冲机构，包括真空压力监测机构(20)和回液返充机构(40)，其特征在于：所述真空压力监测机构(20)包括罐体(21)，所述罐体(21)的一侧设置有液体充入机构(30)；

2.根据权利要求1所述的一种真空压力监测的气体回流缓冲机构，其特征在于：所述真空压力监测机构(20)还包括真空泵(22)、抽气管(23)、排气管(24)、上部压力传感器(25)和侧部压力传感器(26)；

3.根据权利要求2所述的一种真空压力监测的气体回流缓冲机构，其特征在于：所述上部压力传感器(25)安装于罐体(21)的顶部，所述侧部压力传感器(26)安装于罐体(21)的外侧壁中部。

4.根据权利要求3所述的一种真空压力监测的气体回流缓冲机构，其特征在于：所述真空压力监测机构(20)的一侧设置有补充机构(10)，所述补充机构(10)包括支撑架(11)、横撑架(12)、三个补充液体罐(13)、三个手阀(14)和引流管(15)；

5.根据权利要求4所述的一种真空压力监测的气体回流缓冲机构，其特征在于：三个所述补充液体罐(13)的底部均固定连通于引流管(15)的一端，三个所述引流管(15)的另一端固定连通于液体充入罐(31)的外侧壁上部。

6.根据权利要求5所述的一种真空压力监测的气体回流缓冲机构，其特征在于：三个所述手阀(14)分别安装于三个引流管(15)靠近补充液体罐(13)的外壁。

7.根据权利要求6所述的一种真空压力监测的气体回流缓冲机构，其特征在于：所述支撑架(11)的另一侧螺栓连接有三个支撑台，三个支撑台的顶部分别螺丝连接于三个液体充入罐(31)的底部。

8.根据权利要求7所述的一种真空压力监测的气体回流缓冲机构，其特征在于：所述支撑架(11)的一侧安装有控制箱(18)，所述控制箱(18)的电信号端与真空泵(22)、充入泵(35)、充入电磁阀(34)、充出电磁阀(37)、分管电磁阀(45)、返充出电磁阀(46)、返充出电磁阀(46)、液位传感器(38)、上部压力传感器(25)和侧部压力传感器(26)的电信号端电性连接。

9.根据权利要求8所述的一种真空压力监测的气体回流缓冲机构，其特征在于：所述返充总管(43)的外壁固定连通有排污管(16)，所述排污管(16)的另一端延伸至支撑架(11)的后侧。

10.根据权利要求9所述的一种真空压力监测的气体回流缓冲机构，其特征在于：所述排污管(16)靠近返充总管(43)的外壁安装有排污阀(17)。

技术总结
本申请涉及真空压力监测的技术领域，尤其是涉及一种真空压力监测的气体回流缓冲机构，其包括真空压力监测机构和回液返充机构，所述真空压力监测机构包括罐体，所述罐体的一侧设置有液体充入机构。本申请通过引入三种不同性质的液体充入罐，结合充入电磁阀的控制，能够选择性地打开液体充入通道，实现液体的快速更换，该设计允许在不同的应用需求下，精准选择不同液体，从而调整压力的稳定性和响应速度，通过不同稠度和性质的液体作为缓冲介质，来实现对压力气体的回流缓冲，实现在真空状态下的稳定压力控制，确保能够精确稳定地控制压力后，再通过真空压力监测机构进行监测，使监测系统能够应对各种真空环境下的不同压力控制需求。

技术研发人员：许梦祥,王冕,曹永,石海钢
受保护的技术使用者：瑞莱谱（杭州）医疗科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15