惯性测量装置的制作方法

本发明涉及惯性测量装置。

背景技术：

1、已知具有加速度传感器、角速度传感器等多个惯性传感器的惯性测量装置。例如，专利文献1中公开了具备由三轴的加速度传感器以及三轴的角速度传感器构成的六轴运动传感器的传感器单元。根据该文献，在三轴的角速度传感器中，z轴的角速度传感器安装于基板的第一面，x轴的角速度传感器安装于基板的x轴方向的侧面，y轴的角速度传感器安装于基板的y轴方向的侧面。此外，安装有多个惯性传感器的基板被收纳于金属制的壳体。

2、根据该文献，在铝制的内壳形成有凹部，包括安装于基板的第一面的z轴的角速度传感器在内的电子部件收纳于由基板及凹部形成的空间。此外，在该空间中填充有填充部件，由此，降低了来自外部的噪声振动的影响，并提高了检测精度的稳定性。

3、另外，虽然在基板的与第一面相反的第二面侧也安装有电子部件，但未在第二面侧设置填充部件，安装于基板侧面的x轴的角速度传感器以及y轴的角速度传感器的下侧从填充部件露出。

4、专利文献1：日本特开2017-20829号公报

5、然而，专利文献1的传感器单元存在改良的余地。详细而言，有可能由于填充部件仅位于基板的第一面侧而导致应力变得不均匀。例如，存在当水分从基板的第二面侧浸入而使填充部件吸湿时，填充部件膨胀的担忧。这时，填充部件的膨胀产生于基板的第二面侧而非内衬于刚性高的内壳的第一面侧，使基板挠曲为向第二面侧推出。存在该挠曲有可能对角速度传感器的检测精度带来影响的担忧。

6、也就是说，正寻求一种耐湿性优异且检测精度良好的惯性测量装置。

技术实现思路

1、本申请涉及的一方式的惯性测量装置具备：基板；第一惯性传感器，检测第一轴的物理量，且相对于所述基板垂直地配置；壳体，设置为覆盖所述第一惯性传感器，且具有刚性；以及填充部件，配置于所述第一惯性传感器与所述壳体之间。

技术特征：

1.一种惯性测量装置，其特征在于，具备：

2.根据权利要求1所述的惯性测量装置，其特征在于，

3.根据权利要求2所述的惯性测量装置，其特征在于，

4.根据权利要求1所述的惯性测量装置，其特征在于，

5.根据权利要求4所述的惯性测量装置，其特征在于，

6.根据权利要求5所述的惯性测量装置，其特征在于，所述惯性测量装置还具备：

7.根据权利要求1所述的惯性测量装置，其特征在于，

8.根据权利要求7所述的惯性测量装置，其特征在于，

9.根据权利要求8所述的惯性测量装置，其特征在于，所述惯性测量装置还具备：

10.根据权利要求1、2、4、7中任一项所述的惯性测量装置，其特征在于，

11.根据权利要求1、2、4、7中任一项所述的惯性测量装置，其特征在于，

12.根据权利要求3、5、8中任一项所述的惯性测量装置，其特征在于，

13.根据权利要求3、5、8中任一项所述的惯性测量装置，其特征在于，

14.根据权利要求6或9所述的惯性测量装置，其特征在于，

技术总结
本发明涉及惯性测量装置。惯性测量装置具备：基板；第一惯性传感器，检测第一轴的物理量，且相对于所述基板垂直地配置；壳体，设置为覆盖所述第一惯性传感器，且具有刚性；以及填充部件，配置于所述第一惯性传感器与所述壳体之间。

技术研发人员：茅野岳人,松浦由幸
受保护的技术使用者：精工爱普生株式会社
技术研发日：
技术公布日：2024/3/17