一种晶圆缺陷检测机的制作方法

本发明涉及晶圆检测领域，具体涉及一种晶圆缺陷检测机。

背景技术：

1、晶圆缺陷检测机，又称aoi检测机，主要用于晶圆纳米级微结构的aoi视觉检测，检测内容包括微结构漏蚀、错蚀、缺陷、虚影检测，像素剥落、色彩不良、外观损伤、表面污损、颗粒污染检测，微结构的缺陷分析，有助于产品良率提升。现有技术中的晶圆缺陷检测机主要集中于扫描算法的改进、对扫描结果的分析的改进，鲜有从结构角度去研发提升检测效果，偶有的检测机器和/或装置，由于缺少为承载平台提供线性、旋转运动的平台，使得检测过程中的线扫、面扫特别是飞行扫描的方式无法高效进行，同时也缺少对检测模块运动精度的控制及对位、对焦精度的反馈、补偿，从而使得检测效果降低。如中国发明专利申请cn116519595a所公开的一种用于晶圆宏观缺陷检测的显微装置，包括照明单元、无限远成像单元和相机单元；所述照明单元包括光源，从光源至检测目标产品的光路方向依次设有第一透镜、可调光阑、第二透镜和滤光片轮；所述无限远成像单元包括成像筒镜和无限远显微物镜，从检测目标产品至相机单元的光路上依次设有所述无限远显微物镜和成像筒镜；再如中国发明专利cn111855662b所公开的，一种晶圆缺陷检测装置及方法，所述检测装置至少包含：光源；晶圆，所述晶圆包括多个第一晶粒和多个第二晶粒；分光镜，所述分光镜将所述光源发射的光线分成第一光束和第二光束；偏光镜，用于将第一光束和第二光束分别反射到第一晶粒和第二晶粒上；以及传动装置，所述传动装置使所述第一偏光镜和所述第二偏光镜分别与所述第一晶粒和所述第二晶粒同时产生沿所述第一方向的相对移动。前述两专利都缺少相应的线性、旋转运动模块、检测模块的运动控制及对焦补偿，从而使得晶圆检测的效果降低。

2、有鉴于此，本发明提供一种晶圆缺陷检测机，通过设置包括x轴、y轴和r轴单元的运动模块以为晶圆的检测提供线性和旋转运动，从而有助于线扫、面扫及飞行扫描方式的高效进行，通过设置z轴单元、焦点测高单元等部件以为晶圆的检测提供运动控制和对焦补偿，从而提升检测模块的运动精度、对位和对焦精度。

技术实现思路

1、本发明意在提供一种晶圆缺陷检测机，以解决现有技术中存在的不足，本发明要解决的技术问题通过以下技术方案来实现。

2、一种晶圆缺陷检测机，包括机架模块，其改进之处在于：还包括运动模块和检测模块；所述运动模块设于所述机架模块上，用于提供线性和旋转运动及承载待检测的晶圆；所述检测模块设于所述机架模块上并位于所述运动模块的上方，用于对待检测的晶圆进行检测。

3、优选的，所述运动模块包括设于所述机架模块上的y轴单元、滑动设于所述y轴单元上的x轴单元、滑动设于所述x轴单元上的r轴单元，所述r轴单元的上端设有用于吸附待检测晶圆的负压平台。

4、优选的，所述检测模块包括设于所述机架模块上的z轴单元、滑动设于所述z轴单元上的线扫相机单元和面阵相机单元，所述线扫相机单元和面阵相机单元在所述z轴单元的带动下以对焦待检测晶圆。

5、优选的，所述检测模块还包括角度补正单元，所述角度补正单元包括设于z轴滑动板上的补正安装板、通过补正调节模组滑动设于所述补正安装板上的角度补正相机。

6、优选的，所述检测模块还包括焦点测高单元，所述焦点测高单元包括设于所述机架模块上的测高安装架、通过测高调节模组滑动设于所述测高安装架上的焦点测高仪。

7、与现有技术相比，本发明通过设置包括x轴、y轴和r轴单元的运动模块以为晶圆的检测提供线性和旋转运动，从而有助于线扫、面扫及飞行扫描方式的高效进行，通过设置z轴单元、焦点测高单元等部件以为晶圆的检测提供运动控制和对焦补偿，从而提升检测模块的运动精度、对位和对焦精度。

技术特征：

1.一种晶圆缺陷检测机，包括机架模块(1)，其特征在于：还包括运动模块和检测模块；所述运动模块设于所述机架模块(1)上，用于提供线性和旋转运动及承载待检测的晶圆；所述检测模块设于所述机架模块(1)上并位于所述运动模块的上方，用于对待检测的晶圆进行检测。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆缺陷检测机，其特征在于：所述运动模块包括设于所述机架模块(1)上的y轴单元(2)、滑动设于所述y轴单元(2)上的x轴单元(3)、滑动设于所述x轴单元(3)上的r轴单元(4)，所述r轴单元(4)的上端设有用于吸附待检测晶圆的负压平台(43)。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆缺陷检测机，其特征在于：所述y轴单元(2)包括设于所述机架模块(1)上的y轴安装板(21)、设于所述y轴安装板(21)上的y轴滑轨(22)和y轴驱动器(24)，所述y轴滑轨(22)上滑动设有y轴滑块，所述y轴滑块上设有y轴滑动板(23)，所述y轴驱动器(24)的y轴驱动器动子(25)推动所述y轴滑动板(23)沿所述y轴滑轨(22)滑动，所述x轴单元(3)设于所述y轴滑动板(23)上。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆缺陷检测机，其特征在于：所述y轴单元(2)还包括设于所述y轴安装板(21)上的y轴光栅尺(26)、与所述y轴光栅尺(26)相配合的y轴读数器(27)，所述y轴读数器(27)随所述y轴滑动板(23)同步运动。

5.根据权利要求3所述的一种晶圆缺陷检测机，其特征在于：所述y轴单元(2)还包括设于所述y轴安装板(21)上的y轴限位器(28)、与所述y轴限位器(28)相配合的y轴限位片(29)，所述y轴限位片(29)随所述y轴滑动板(23)同步运动。

6.根据权利要求2所述的一种晶圆缺陷检测机，其特征在于：所述x轴单元(3)包括滑动设于所述y轴单元(2)上的x轴安装板(31)、设于所述x轴安装板(31)上的x轴滑轨(32)和x轴驱动器(34)，所述x轴滑轨(32)上滑动设有x轴滑块，所述x轴滑块上设有x轴滑动板(33)，所述x轴驱动器(34)的x轴驱动器动子(35)推动所述x轴滑动板(33)沿所述x轴滑轨(32)滑动，所述r轴单元(4)设于所述x轴滑动板(33)上。

7.根据权利要求6所述的一种晶圆缺陷检测机，其特征在于：所述x轴单元(3)还包括设于所述x轴安装板(31)上的x轴光栅尺(36)、与所述x轴光栅尺(36)相配合的x轴读数器(37)，所述x轴读数器(37)随所述x轴滑动板(33)同步运动。

8.根据权利要求6所述的一种晶圆缺陷检测机，其特征在于：所述x轴单元(3)还包括设于所述x轴安装板(31)上的x轴限位器(38)、与所述x轴限位器(38)相配合的x轴限位片(39)，所述x轴限位片(39)随所述x轴滑动板(33)同步运动。

9.根据权利要求2所述的一种晶圆缺陷检测机，其特征在于：所述r轴单元(4)包括滑动设于所述x轴单元(3)上的r轴安装板(41)、设于所述r轴安装板(41)上的r轴驱动器(42)，所述负压平台(43)设于所述r轴驱动器(42)的输出端上并被所述r轴驱动器(42)带动转动。

10.根据权利要求9所述的一种晶圆缺陷检测机，其特征在于：所述负压平台(43)的周边上均布有多个用于固定待检测晶圆的负压吸盘(44)；

技术总结
本发明涉及一种晶圆缺陷检测机，包括机架模块，还包括运动模块和检测模块；所述运动模块设于所述机架模块上，用于提供线性和旋转运动及承载待检测的晶圆；所述检测模块设于所述机架模块上并位于所述运动模块的上方，用于对待检测的晶圆进行检测。本发明通过设置包括X轴、Y轴和R轴单元的运动模块以为晶圆的检测提供线性和旋转运动，从而有助于线扫、面扫及飞行扫描方式的高效进行，通过设置Z轴单元、焦点测高单元等部件以为晶圆的检测提供运动控制和对焦补偿，从而提升检测模块的运动精度、对位和对焦精度。

技术研发人员：周建红
受保护的技术使用者：深圳市圭华智能科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15