一种汞灯光源检测组件及UV固胶机的制作方法

本发明涉及半导体，尤其涉及一种光汞灯光源检测组件及uv固胶机。

背景技术：

1、uv固胶机是一种采用uv光源对光刻胶进行快速固化的设备，其被广泛应用于半导体领域中，以使晶圆在光刻、显影后进行固胶。uv光源是uv固胶机中的核心部件之一，uv光源的均匀性是保证uv固胶质量的重要参数，因此，为了保证晶圆固胶质量，需要定期对uv固胶机的光源均匀性进行检测。

2、现有技术中，通常在uv固胶机内设置多个光源检测装置对固胶机内部的光源均匀性进行检测，但是该种检测方式需要的光源检测装置的数量较多，导致uv固胶机的成本较高，结构较为复杂；同时，由于光源检测装置固设在uv固胶机内，为避免光源检测装置对晶圆的光刻、搬运或者转移造成干涉，通常光源检测装置距离晶圆载台较远，导致光源检测装置的检测结构无法较好地体现靠近晶圆安装处的光照均匀性，造成检测精度难以保证。

3、因此，亟需一种汞灯光源检测组件及uv固胶机，以解决上述技术问题。

技术实现思路

1、本发明的目的在于提供一种汞灯光源检测组件及uv固胶机，以提高对uv固胶机内的光源均匀性检测的便利性，降低检测成本，提高检测精度。

2、为实现上述目的，本发明采用下述技术方案：

3、一种汞灯光源检测组件，包括：

4、检测杆，包括垂直连接的主体杆部和固定板部，所述主体杆部沿第一方向延伸且横截面为矩形，所述固定板部具有在第二方向相对设置的第一侧面和第二侧面，所述第二侧面与所述主体杆部的一侧面平齐；

5、检测安装壳，可拆卸安装于所述第一侧面并与所述固定板部合围形成有检测安装腔，所述检测安装壳背离所述第二侧面的一侧形成光接收面，所述光接收面贯通设置有与所述检测安装腔连通的光检测孔，所述光接收面与所述第二侧面平行且间隔设置，所述光接收面与所述第二侧面之间的间距小于8mm；

6、光检测模块，安装于所述检测安装腔内，所述光检测模块包括沿第二方向依次层叠设置的检测基板、光检测芯片及滤光片，所述滤光片覆盖所述光检测孔，所述检测基板压设于所述固定板部上，所述光检测芯片与所述检测基板电连接；

7、握把，连接于主体杆部远离所述固定板部的一端，所述握把内部设置有检测控制器，所述检测控制器与所述检测基板通讯连接。

8、作为一种汞灯光源检测组件的可选技术方案，所述检测安装壳包括垂直连接的检测安装部和杆连接部，所述检测安装部为与所述第二方向垂直的板状结构，所述检测安装部与所述固定板部合围形成所述检测安装腔，所述检测安装部上开设有所述光检测孔，所述杆连接部的横截面形状与所述主体杆部的横截面形状相同，所述杆连接部与所述主体杆部的端面贴合，所述杆连接部与所述主体杆部可拆卸连接，所述检测安装部与所述固定板部可拆卸连接。

9、作为一种汞灯光源检测组件的可选技术方案，所述检测安装腔包括沿第二方向连通的板安装腔和芯片安装腔，所述光检测孔贯通所述芯片安装腔的腔底，所述板安装腔的横截面积、所述芯片安装腔的横截面积及所述光检测孔的横截面积逐渐减小，所述检测基板安装于所述板安装腔中，所述光检测芯片安装于所述芯片安装腔中，所述滤光片嵌设于所述光检测孔。

10、作为一种汞灯光源检测组件的可选技术方案，所述板安装腔的为矩形腔体，所述矩形腔体的四角均开设有弧形孔。

11、作为一种汞灯光源检测组件的可选技术方案，所述主体杆部具有中空的杆通孔，所述杆通孔沿所述第一方向贯通所述主体杆部；

12、所述检测安装壳与所述固定板部围设形成有走线孔，所述走线孔与所述杆通孔连通，所述检测基板上连接有连接导线，所述连接导线依次穿过所述走线孔及所述杆通孔后与所述检测控制器连接。

13、作为一种汞灯光源检测组件的可选技术方案，所述杆通孔包括主孔部和过渡孔部，所述主孔部为圆柱形孔，所述主孔部的孔径小于所述过渡孔部沿所述第二方向的宽度，所述过渡孔部的孔底与所述固定板部在所述第二方向的间距大于所述主孔部的孔底与所述固定板部在所述第二方向上的间距。

14、作为一种汞灯光源检测组件的可选技术方案，所述检测控制器上设置有校准模块，所述校准模块用于校准所述光检测芯片的零点和斜率，所述校准模块具有供操作的校准旋钮，所述校准旋钮能够外露于所述握把。

15、作为一种汞灯光源检测组件的可选技术方案，所述握把上设置有校准操作孔，所述校准旋钮穿设于所述校准操作孔，所述握把上安装有封板，所述封板能够选择性打开或者关闭所述校准操作孔。

16、作为一种汞灯光源检测组件的可选技术方案，所述主体杆部包括拼接设置的多个杆段，其中一所述杆段连接有所述固定板部，另一所述杆段连接有连接板部，所述连接板部与所述握把连接，相邻两个所述杆段磁吸连接。

17、一种uv固胶机，所述uv固胶机具有固胶光腔，所述固胶光腔内设置有汞灯，所述uv固胶机具有能够选择性打开或关闭的检测口，uv固胶机还包括上述的汞灯光源检测组件，所述检测杆通过所述检测口伸入所述固胶光腔中。

18、本发明的有益效果在于：

19、本发明提供的汞灯光源检测组件，通过设置检测杆和握把，操作人员可以手持握把后将检测杆伸出至固化光腔以对汞灯光源进行检测，且通过调节检测杆伸入至固化光腔中的深度以及角度即可实现对固胶光腔的多点检测，即使得仅需一个汞灯光源检测组件即可实现对多个检测位置的检测，保证光源均匀性的检测精度的同时，降低检测成本，且提高检测可靠性；由于采用光检测芯片接受光线以实现光照强度的检测，而光检测芯片的整体尺寸较小，厚度较薄，使得整个汞灯光源检测组件的检测端在第二方向上的厚度能够较薄，由此当检测杆插入至固胶光腔中时，光接收面能够尽可能地靠近晶圆安装面设置，由此使得光检测芯片接受的光线的光照强度能够与晶圆安装面的光照强度相一致，即使得检测结构能够较好地体现晶圆在该处设置时能够接收到的光照情况，提高检测精度；再者，由于汞灯光源的光强较大，通过设置在光检测孔处覆设滤光片，能够对达到光检测芯片处的光线强度进行衰减，从而避免达到光检测芯片处的光照强度过高而损坏光检测芯片，保证光检测芯片的使用寿命和使用安全性，且避免光检测模块过热而损坏，提高汞灯光源检测组件的使用可靠性，延长汞灯光源检测组件的使用寿命。

20、本发明提供的uv固胶机，通过采用上述的汞灯光源检测组件对uv固胶机中的汞灯光源进行检测，能够提高uv固胶机的长期使用可靠性，提高uv固胶机的检测便利性，降低uv固胶机的检测成本。

技术特征：

1.一种汞灯光源检测组件，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的汞灯光源检测组件，其特征在于，所述检测安装壳（3）包括垂直连接的检测安装部（31）和杆连接部（32），所述检测安装部（31）为与所述第二方向垂直的板状结构，所述检测安装部（31）与所述固定板部（12）合围形成所述检测安装腔（312），所述检测安装部（31）上开设有所述光检测孔（311），所述杆连接部（32）的横截面形状与所述主体杆部（11）的横截面形状相同，所述杆连接部（32）与所述主体杆部（11）的端面贴合，所述杆连接部（32）与所述主体杆部（11）可拆卸连接，所述检测安装部（31）与所述固定板部（12）可拆卸连接。

3.根据权利要求1所述的汞灯光源检测组件，其特征在于，所述检测安装腔（312）包括沿第二方向连通的板安装腔（3121）和芯片安装腔（3122），所述光检测孔（311）贯通所述芯片安装腔（3122）的腔底，所述板安装腔（3121）的横截面积、所述芯片安装腔（3122）的横截面积及所述光检测孔（311）的横截面积逐渐减小，所述检测基板（21）安装于所述板安装腔（3121）中，所述光检测芯片（22）安装于所述芯片安装腔（3122）中，所述滤光片（23）嵌设于所述光检测孔（311）。

4.根据权利要求3所述的汞灯光源检测组件，其特征在于，所述板安装腔（3121）为矩形腔体，所述矩形腔体的四角均开设有弧形孔（314）。

5.根据权利要求1所述的汞灯光源检测组件，其特征在于，所述主体杆部（11）具有中空的杆通孔（111），所述杆通孔（111）沿所述第一方向贯通所述主体杆部（11）；

6.根据权利要求5所述的汞灯光源检测组件，其特征在于，所述杆通孔（111）包括主孔部（1111）和过渡孔部（1112），所述主孔部（1111）为圆柱形孔，所述主孔部（1111）的孔径小于所述过渡孔部（1112）沿所述第二方向的宽度，所述过渡孔部（1112）的孔底与所述固定板部（12）在所述第二方向的间距大于所述主孔部（1111）的孔底与所述固定板部（12）在所述第二方向上的间距。

7.根据权利要求1-6任一项所述的汞灯光源检测组件，其特征在于，所述检测控制器上设置有校准模块，所述校准模块用于校准所述光检测芯片（22）的零点和斜率，所述校准模块具有供操作的校准旋钮，所述校准旋钮能够外露于所述握把（4）。

8.根据权利要求7所述的汞灯光源检测组件，其特征在于，所述握把（4）上设置有校准操作孔，所述校准旋钮穿设于所述校准操作孔，所述握把（4）上安装有封板（5），所述封板（5）能够选择性打开或者关闭所述校准操作孔。

9.根据权利要求1所述的汞灯光源检测组件，其特征在于，所述主体杆部（11）包括拼接设置的多个杆段，其中一所述杆段连接有所述固定板部（12），另一所述杆段连接有连接板部（13），所述连接板部（13）与所述握把（4）连接，相邻两个所述杆段磁吸连接。

10.一种uv固胶机，所述uv固胶机具有固胶光腔，所述固胶光腔内设置有汞灯，所述uv固胶机具有能够选择性打开或关闭的检测口，其特征在于，包括如权利要求1-9任一项所述的汞灯光源检测组件，所述检测杆（1）通过所述检测口伸入所述固胶光腔中。

技术总结
本发明属于半导体技术领域，具体公开了一种汞灯光源检测组件及UV固胶机。汞灯光源检测组件包括检测杆、检测安装壳、光检测模块和握把；检测杆包括主体杆部和固定板部，固定板部具有相对设置的第一侧面和第二侧面；检测安装壳安装于第一侧面并与固定板部合围形成有检测安装腔，检测安装壳背离第二侧面的一侧形成光接收面，光接收面与第二侧面之间的间距小于8mm；光检测模块包括依次设置的检测基板、光检测芯片及滤光片，滤光片覆盖光检测孔，检测基板压设于固定板部上；握把内部设置有检测控制器，检测控制器与检测基板通讯连接。本发明能够提高UV固胶机内的汞灯光源的检测便利性和检测可靠性。

技术研发人员：孙文彬,戴立洪
受保护的技术使用者：江苏邑文微电子科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/16