一种抽气管路薄膜厚度取样检测装置的制作方法

本发明涉及半导体设备，更具体的说，涉及一种抽气管路薄膜厚度取样检测装置。

背景技术：

1、薄膜沉积是一种用于在基材表面上形成薄膜的工艺，广泛应用于半导体制造、光学涂层、电子器件和其他领域。这种工艺可以通过不同的方法实现，其中最常见的包括物理气相沉积(physical vapor deposition，pvd)和化学气相沉积(chemical vapordeposition，cvd)。

2、薄膜沉积设备是用于实现薄膜沉积工艺的设备。在沉积过程中，为了确保腔体中的气体环境能够达到最佳状态，需要使用抽气管路来从腔体中抽取气体。

3、现有的抽气管路维护标准是根据腔内衬套的膜厚来推测出管路积累的膜厚。然而这种方法存在以下一些问题：衬套的膜厚通常是在开腔时测量获得的，开腔或者直接拆卸管路需要将整个管路和腔体降温，增加了维护的难度和成本。在降温和拆装过程中，容易造成污染，这进一步提高了管路的维护频率。

4、因此，目前亟需一种不改变机台环境也能检测抽气管路的方法。

技术实现思路

1、本发明的目的是提供一种抽气管路薄膜厚度取样检测装置，解决现有技术对抽气管路的检测容易破坏机台环境的问题。

2、为了实现上述目的，本发明提供了一种抽气管路薄膜厚度取样检测装置，包括取样器以及若干阀门：

3、所述取样器，与抽气管路可通断地连接，将样棒插入抽气管路内进行取样，将样棒从抽气管路内拔出进行检测；

4、所述若干阀门，设置在取样器与抽气管路之间，通过不同阀门的打开与关闭以维持抽气管路的密封状态。

5、在一实施例中，所述若干阀门包括第一阀门：

6、所述第一阀门，设置在取样器和抽气管路之间，用于隔离取样器和抽气管路；

7、所述第一阀门打开时，将样棒插入抽气管路内或者从抽气管路内拔出。

8、在一实施例中，所述若干阀门包括第二阀门：

9、所述第二阀门，设置在取样器与抽气管路之间，用于对取样器进行抽真空；

10、所述第二阀门打开时，抽气管路对取样器进行抽真空。

11、在一实施例中，所述抽气管路薄膜厚度取样检测装置，还包括节流器：

12、所述节流器，设置在第二阀门与抽气管路之间，用于减缓气流变化。

13、在一实施例中，所述若干阀门包括第三阀门：

14、所述第三阀门，一端与取样器连接，另一端与大气连通；

15、所述第三阀门打开时，将取样器与大气连通。

16、在一实施例中，所述抽气管路薄膜厚度取样检测装置，还包括过滤器：

17、所述过滤器，设置在第三阀门与大气连通的一端，用于对气流进行过滤。

18、在一实施例中，所述第一阀门为闸阀，第二阀门为隔膜阀，第三阀门为隔膜阀。

19、在一实施例中，通过取样器将样棒从抽气管路中拉出，样棒整体移动至第一阀门的外侧后关闭第一阀门，关闭第二阀门并开启第三阀门，通过第三阀门将取样器内压力恢复到大气压力，取出样棒进行检测。

20、在一实施例中，将样棒装回取样器，关闭第三阀门并开启第二阀门，通过第二阀门将取样器内压力抽到真空后，打开第一阀门，通过取样器将样棒送回至抽气管路内。

21、在一实施例中，所述取样器为配备自锁功能的直线运动机构。

22、在一实施例中，所述取样器设置波纹管，所述样棒套设于波纹管中以实现密封。

23、在一实施例中，所述取样器的一端或两端设有传感器，用于检测样棒直线运动是否到位。

24、本发明提出的一种抽气管路薄膜厚度取样检测装置，通过取样器将样棒深入抽气管路并与管路长膜，增加一系列阀门以维持取样器在拆装样棒过程中原有抽气管路的密封，实现在机台环境不变状态下进行膜厚检测，避免了对整个管路进行拆卸，大大提高了检测的效率和方便性。

技术特征：

1.一种抽气管路薄膜厚度取样检测装置，其特征在于，包括取样器以及若干阀门：

2.根据权利要求1所述的抽气管路薄膜厚度取样检测装置，其特征在于，所述若干阀门包括第一阀门：

3.根据权利要求2所述的抽气管路薄膜厚度取样检测装置，其特征在于，所述若干阀门包括第二阀门：

4.根据权利要求3所述的抽气管路薄膜厚度取样检测装置，其特征在于，还包括节流器：

5.根据权利要求3所述的抽气管路薄膜厚度取样检测装置，其特征在于，所述若干阀门包括第三阀门：

6.根据权利要求5所述的抽气管路薄膜厚度取样检测装置，其特征在于，还包括过滤器：

7.根据权利要求5所述的抽气管路薄膜厚度取样检测装置，其特征在于，所述第一阀门为闸阀，第二阀门为隔膜阀，第三阀门为隔膜阀。

8.根据权利要求5所述的抽气管路薄膜厚度取样检测装置，其特征在于，通过取样器将样棒从抽气管路中拉出，样棒整体移动至第一阀门的外侧后关闭第一阀门，关闭第二阀门并开启第三阀门，通过第三阀门将取样器内压力恢复到大气压力，取出样棒进行检测。

9.根据权利要求5所述的抽气管路薄膜厚度取样检测装置，其特征在于，将样棒装回取样器，关闭第三阀门并开启第二阀门，通过第二阀门将取样器内压力抽到真空后，打开第一阀门，通过取样器将样棒送回至抽气管路内。

10.根据权利要求1所述的抽气管路薄膜厚度取样检测装置，其特征在于，所述取样器为配备自锁功能的直线运动机构。

11.根据权利要求10所述的抽气管路薄膜厚度取样检测装置，其特征在于，所述取样器设置波纹管，所述样棒套设于波纹管中以实现密封。

12.根据权利要求1所述的抽气管路薄膜厚度取样检测装置，其特征在于，所述取样器的一端或两端设有传感器，用于检测样棒直线运动是否到位。

技术总结
本发明涉及半导体设备技术领域，更具体的说，涉及一种抽气管路薄膜厚度取样检测装置。本发明提供了一种抽气管路薄膜厚度取样检测装置，包括取样器以及若干阀门：所述取样器，与抽气管路可通断地连接，将样棒插入抽气管路内进行取样，将样棒从抽气管路内拔出进行检测；所述若干阀门，设置在取样器与抽气管路之间，通过不同阀门的打开与关闭以维持抽气管路的密封状态。本发明通过取样器将样棒深入抽气管路并与管路长膜，增加一系列阀门以维持取样器在拆装样棒过程中原有抽气管路的密封，实现在机台环境不变状态下进行膜厚检测，避免了对整个管路进行拆卸，大大提高了检测的效率和方便性。

技术研发人员：张翔宇,杨华龙,赵坤,高鹏飞,朱晓亮,张启辉,吴凤丽
受保护的技术使用者：拓荆科技(上海)有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15