压差传感器的制作方法

本申请涉及压力传感器，具体涉及一种压差传感器。

背景技术：

1、压差传感器是用于测量两处压强之差的传感器。cn113029430a公开了一种主要用于egr(exhaust gas re-ci rculation，废气再循环)系统的压差传感器，其通过两个金属隔膜和硅油向压力芯片的相侧的感压面引入压力，压力芯片设置于其中的一个压力引入口的上壁凹腔内，另一个压力引入口通过一横向的连接通道延伸至压力芯片。由于传感器小型化的需要，该连接通道通常不足2毫米，而另一方面由于压力连接和隔膜尺寸的限制，其横向尺寸超过30毫米，长径比高达15以上。这种大长径比的孔的机械加工是十分困难的，生产成本很高。

技术实现思路

1、针对现有技术的不足，本申请提供了一种压差传感器，以避免加工上述大长径比的孔，进而降低制造难度和生产成本。

2、为实现上述目的，本申请提供如下技术方案：一种压差传感器，其包括：

3、一第一壳体，其上开设有用于引入压力介质且左右间隔的两个压力引入口；

4、朝下密封地连接至第一壳体并与之围成一安装腔的一第二壳体；

5、朝下密封地连接至第一壳体且设置于安装腔内的一座体，其下侧与第一壳体围成两个分别朝下对应两个压力引入口的两个隔膜组件安装腔，其上侧与第二壳体围成一电子模块组件安装腔，其上开设有连通第二壳体上、下表面并与两个压力引入口一一对应设置的两个通孔，其中的一个通孔的下端扩大形成第一凹腔；

6、一一对应地设置于两个隔膜组件安装腔内的两个隔膜组件，包括一金属隔膜，其与第二壳体之间围成腔室，腔室上侧与通孔对应连通，金属隔膜密封地隔断于腔室下侧与压力引入口之间；

7、设置于电子模块安装腔内的电子模块组件，其通过固定于第二壳体上的数个接插件端子连接至外部设备；

8、两端分别密封地连通于两个通孔上端的连接管，腔室、通孔、第一凹腔及连接管的内腔连通形成导压液填充空间；

9、固定于第一凹腔的一压力芯片，其封堵于相应通孔之下端并将导压液填充空间隔断为第一部分与第二部分，第一部分与第二部分各自与一导压液注入孔的下端连通，导压液注入孔的上端封堵有密封体；

10、及数个连接端子，其下端密封地穿过座体后延伸至第一凹腔内并与压力芯片形成电连接，其上端电连接至电子模块组件。

11、优选地，通孔的上端扩大形成凹部，连接管的两端对应焊接于凹部的底部并包围通孔的上端。

12、优选地，连接管包括位于两端的竖直部及连接两个竖直部的中间部，中间部具有给左右拉伸提供一定弹性的弹性部。

13、优选地，中间部在一水平面上延伸。

14、优选地，弹性部为蜿蜒状。

15、优选地，连接管的两端中的至少一端向外扩张形成扩张部，扩张部的外缘焊接至座体。

16、优选地，所述扩张部为平整的焊片。

17、优选地，所述扩张部为锥形的焊片，锥形的焊片的下端半径大于其邻近部分的半径。

18、优选地，导压液注入孔开设于锥形的焊片上。

19、优选地，隔膜组件还包括隔膜安装基体，隔膜安装基体的侧壁密封连接至座体底部形成的第二凹腔的侧壁，周缘密封地连接于由隔膜安装基体朝下凸伸形成的一圈凸环上的金属隔膜；金属隔膜与隔膜安装基体之间围成腔室，每个腔室各自经由隔膜安装基体上开设的孔连通至对应通孔的下端。

技术特征：

1.一种压差传感器，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的压差传感器，其特征在于，通孔(30a)的上端扩大形成凹部(33a、33b)，连接管(8)的两端(8a、8b)对应焊接于凹部(33a、33b)的底部并包围通孔(30a)的上端。

3.根据权利要求1所述的压差传感器，其特征在于，连接管(8)包括位于两端(8a、8b)的竖直部及连接两个竖直部的中间部，中间部具有给左右拉伸提供一定弹性的弹性部(81)。

4.根据权利要求3所述的压差传感器，其特征在于，中间部在一水平面上延伸。

5.根据权利要求4所述的压差传感器，其特征在于，弹性部(81)为蜿蜒状。

6.根据权利要求1所述的压差传感器，其特征在于，连接管(8)的两端(8a、8b)中的至少一端(8a/8b)向外扩张形成扩张部，扩张部的外缘焊接至座体(3)。

7.根据权利要求6所述的压差传感器，其特征在于，所述扩张部为平整的焊片(83)。

8.根据权利要求6所述的压差传感器，其特征在于，所述扩张部为锥形的焊片(82)，锥形的焊片(82)的下端半径大于其邻近部分的半径。

9.根据权利要求7所述的压差传感器，其特征在于，导压液(40b)注入孔(32)开设于锥形的焊片(82)上。

10.根据权利要求7所述的压差传感器，其特征在于，隔膜组件(4)还包括隔膜安装基体(43)，隔膜安装基体(43)的侧壁密封连接至座体(3)底部形成的第二凹腔(3c)的侧壁，周缘密封地连接于由隔膜安装基体(43)朝下凸伸形成的一圈凸环上的金属隔膜(41)；金属隔膜(41)与隔膜安装基体(43)之间围成腔室(4b)，每个腔室(4b)各自经由隔膜安装基体(43)上开设的孔(43a)连通至对应通孔(30a)的下端。

技术总结
一种制造成本较低的压差传感器，其包括：第一壳体，其上开设有用于引入压力介质且左右间隔的两个压力引入口；朝下密封地连接至第一壳体并与之围成一安装腔的第二壳体；朝下密封地连接至第一壳体且设置于安装腔内的座体，其下侧与第一壳体围成两个分别朝下对应两个压力引入口的两个隔膜组件安装腔，其上侧与第二壳体围成一电子模块组件安装腔，其上开设有连通第二壳体上、下表面并与两个压力引入口一一对应设置的两个通孔，其中的一个通孔的下端扩大形成第一凹腔；两个隔膜组件；设置于电子模块安装腔内的电子模块组件；两端分别密封地连通于两个通孔上端的连接管；固定于第一凹腔的压力芯片；及数个连接端子。

技术研发人员：王小平,曹万,杨军,王红明,刘苹,贺方杰,梁世豪,施涛
受保护的技术使用者：武汉飞恩微电子有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/4/22