激光测试装置及激光测试方法与流程

本申请涉及激光测试，特别是涉及激光测试装置及激光测试方法。

背景技术：

1、在对激光器的发散角、俯仰角、线宽等参数进行测试时，通常将激光器发射的激光投射到光屏上，通过相机拍摄光屏上光斑的图像，通过对图像进行分析计算得到激光器的各项参数。现有的激光测试装置，光屏和激光器之间的距离通常较远，导致激光器投射到光屏上的光斑的尺寸较大，从而增大光屏的尺寸，导致激光测试装置的占用空间增大，也需要更大视场角的相机来采集光斑的图像，若要减小光屏和激光器之间的距离，会导致对俯仰角、线宽等参数的测量误差增大，影响测试结果的准确性。现有的激光测试装置难以兼顾小型化设计和测试结果的准确性。

技术实现思路

1、基于此，有必要针对现有的激光测试装置难以兼顾小型化设计和测试结果的准确性的问题，提供一种激光测试装置及激光测试方法。

2、一种激光测试装置，包括：

3、基座，用于放置激光器；

4、第一光屏，倾斜或平行于所述激光器的轴线设置；

5、偏折元件，设于所述激光器的出光侧，并用于将所述激光器发射的部分激光偏折后射到所述第一光屏上形成第一光斑，被所述激光器偏折的激光的发散角小于所述激光器的发散角；以及，

6、第一相机，用于拍摄所述第一光斑的图像。

7、上述激光测试装置，当用于测试俯仰角、线宽等光程越长测试结果越准确的参数时，通过偏折元件将部分激光偏折到倾斜或平行于激光器的轴线的第一光屏上，有利于延长激光器和第一光屏之间的光程，提升对参数的测试结果的准确性。并且，偏折元件仅将部分激光偏折出来用于参数的测量，能够减小投射到第一光屏上的第一光斑的尺寸，有利于减小第一光屏的尺寸以及第一相机的视场角，减小激光测试装置的占用空间，从而兼顾激光测试装置的小型化设计和测试结果的准确性。

8、在其中一个实施例中，所述激光测试装置还包括第二光屏和第二相机,第二光屏设于所述激光器的出光侧,所述偏折元件设于所述激光器和所述第二光屏之间,所述第二光屏用于接收所述激光器发射的未被所述偏折元件偏折的激光，以形成第二光斑，所述第二相机用于拍摄所述第二光斑的图像。第二光斑的图像能够用于测试激光器的发散角等对光程需求较小，且需要获取激光器投射的光斑的整个外轮廓的参数，而第一光斑的图像用于获取对光程需求较大的参数，由此，能够减小第二光屏和激光器之间的距离，在获取激光器投射光斑的整个外轮廓的同时也有利于减小第二光斑的尺寸，从而有利于减小第二光屏的尺寸以及第二相机的视场角，同时有利于实现激光测试装置的小型化设计。

9、在其中一个实施例中，所述激光器经所述偏折元件到所述第一光屏的光程大于所述激光器到所述第二光屏的光程。如此，在第二光屏获取激光投射光斑整个外轮廓的情况下，有利于减小第二光屏的尺寸，并提升对第一光斑的测试结果的准确性。

10、在其中一个实施例中，所述激光测试装置还包括控制元件，所述控制元件用于根据所述第一光斑的图像获取所述激光器的第一参数，并用于根据所述第二光斑的图像获取所述激光器的第二参数。通过第一相机和第二相机分别获取激光器对光程需求较高和较低的两种参数，有利于兼顾小型化设计和测试结果的准确性。

11、在其中一个实施例中，所述第一参数包括所述激光器的俯仰角或线宽，所述第二参数包括所述激光器的发散角、平滚角、能量分布或功率分布。激光测试装置在兼顾小型化和测试结果的准确性的基础上能够同时获取激光器的多种参数，提升测试效率。

12、在其中一个实施例中，所述第一相机在垂直所述激光器的轴线的方向上的位置与所述偏折元件的位置相对应；和/或，

13、所述第二相机设于所述基座上，并位于所述激光器背向所述第二光屏的一侧，所述第二相机与所述激光器同轴设置。第一相机对应第一光斑的中心设置，第二相机对应第二光斑的中心设置，在获取对应光斑的图像的同时有利于降低激光测试装置对第一相机和第二相机的视场角需求。

14、在其中一个实施例中，形成所述第一光斑的激光在所述激光器发射的激光中的占比大于或等于5%，且小于或等于10%。由此，形成第一光斑的激光成分不会过少，有利于提升对第一参数的测试结果的准确性，同时形成第一光斑的激光成分也不会过多，不会影响第二光斑的形成，使得未被偏折的激光也能够满足第二参数的测试需求。

15、在其中一个实施例中，所述偏折元件设于所述激光器发射的光束截面的中部位置。偏折元件的设置不会影响第二光斑外轮廓的完整性，有利于提升对第二参数的测试结果的准确性。

16、在其中一个实施例中，所述偏折元件具有反射面，所述反射面倾斜于所述激光器的轴线以及所述第一光屏的轴线。通过反射偏折光路，在增大光程的同时也有利于抑制杂散光的产生，提升测试结果的准确性。

17、一种激光测试方法，包括：

18、提供激光器；

19、将所述激光器发射的部分激光偏折射到第一光屏上形成第一光斑；

20、拍摄所述第一光斑的图像以获取所述激光器的第一参数；

21、将所述激光器发射的未被偏折的激光射到第二光屏上形成第二光斑，其中，所述激光器到所述第一光屏上的光程大于所述激光器到所述第二光屏上的光程；

22、拍摄所述第二光斑的图像以获取所述激光器的第二参数。采用上述激光测试方法对激光器的参数进行测试，能够兼顾激光测试装置的小型化设计和测试结果的准确性。

技术特征：

1.一种激光测试装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的激光测试装置，其特征在于，所述激光测试装置还包括第二光屏和第二相机,第二光屏设于所述激光器的出光侧,所述偏折元件设于所述激光器和所述第二光屏之间,所述第二光屏用于接收所述激光器发射的未被所述偏折元件偏折的激光，以形成第二光斑，所述第二相机用于拍摄所述第二光斑的图像。

3.根据权利要求2所述的激光测试装置，其特征在于，所述激光器经所述偏折元件到所述第一光屏的光程大于所述激光器到所述第二光屏的光程。

4.根据权利要求2所述的激光测试装置，其特征在于，所述激光测试装置还包括控制元件，所述控制元件用于根据所述第一光斑的图像获取所述激光器的第一参数，并用于根据所述第二光斑的图像获取所述激光器的第二参数。

5.根据权利要求4所述的激光测试装置，其特征在于，所述第一参数包括所述激光器的俯仰角或线宽，所述第二参数包括所述激光器的发散角、平滚角、能量分布或功率分布。

6.根据权利要求2所述的激光测试装置，其特征在于，所述第一相机在垂直所述激光器的轴线的方向上的位置与所述偏折元件的位置相对应；和/或，

7.根据权利要求1-6任一项所述的激光测试装置，其特征在于，形成所述第一光斑的激光在所述激光器发射的激光中的占比大于或等于5%，且小于或等于10%。

8.根据权利要求1-6任一项所述的激光测试装置，其特征在于，所述偏折元件设于所述激光器发射的光束截面的中部位置。

9.根据权利要求1-6任一项所述的激光测试装置，其特征在于，所述偏折元件具有反射面，所述反射面倾斜于所述激光器的轴线以及所述第一光屏的轴线。

10.一种激光测试方法，其特征在于，包括：

技术总结
本申请涉及一种激光测试装置及激光测试方法。一种激光测试装置包括基座、第一光屏、偏折元件以及第一相机。基座用于放置激光器；第一光屏倾斜或平行于所述激光器的轴线设置；偏折元件设于所述激光器的出光侧，并用于将所述激光器发射的部分激光偏折后射到所述第一光屏上形成第一光斑，被所述激光器偏折的激光的发散角小于所述激光器的发散角；第一相机用于拍摄所述第一光斑的图像。上述激光测试装置，能够兼顾小型化设计和测试结果的准确性。

技术研发人员：肖岩,李伟,刘宏博,欧华燕
受保护的技术使用者：深圳市柠檬光子科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/2/1