一种用于低温泵的铠装温度计及低温泵的制作方法

本技术属于温度测量，具体涉及一种用于低温泵的铠装温度计及低温泵。

背景技术：

1、温度计在低温泵上是不可或缺的零件，其用于检测一级冷头、二级冷头的温度，记录低温泵降温时间和温度关系，以直观地反映低温泵性能效果。在半导体制造、超导等领域，温度计的使用环境通常具有腐蚀性气体产生，对温度计引线造成腐蚀，进而影响温度计整个结构的稳定性。因此，设计一种耐腐蚀的铠装温度计是亟待解决的问题之一。此外，在对真空度具有要求的使用环境中，材料的放气量过大会破坏系统的真空度，选择兼具良好腐蚀性能和合适放气量，且经济、美观的材料作为温度计的铠装材料，也是本领域重点关注的问题之一。

技术实现思路

1、鉴于以上所述现有技术的不足，本实用新型的目的在于：提供一种用于低温泵的铠装温度计，该铠装温度计具有良好的防腐性能和导热性能，适用于具有腐蚀性气体产生的工况环境；提供一种包括上述铠装温度计的低温泵，同时检测低温泵一级冷头、二级冷头的温度。

2、为实现上述全部或部分实用新型目的，本实用新型提供以下技术方案：

3、本实用新型提供一种用于低温泵的铠装温度计，包括温度计本体和固定件，所述固定件安装在待测温机构上、用于固定所述温度计本体；所述温度计本体包括温度计传感器和温度计引线，所述温度计引线的一端与所述温度计传感器相连，另一端与外部的温度显示器连接；所述温度计引线外部依次套设有绝缘套管和防腐套管；所述固定件包括导热区，所述温度计传感器固定安装于所述导热区中，所述导热区与待测温机构连接。该技术方案的有益效果在于，所述温度计引线外部套设绝缘套管，防止温度计引线与导电物质导通；所述绝缘套管外部套设防腐套管，防止具有腐蚀性的气体腐蚀温度计引线；待测温机构的温度通过导热区传递给温度计传感器，以进行温度检测。

4、所述固定件为内部开设腔体的柱状结构，所述腔体内填充导热材料以形成所述导热区，所述导热材料为电绝缘材料；所述腔体至少一侧开口以暴露所述导热区，用于固定所述温度计传感器和连接待测温机构。所述导热材料优选具有良好粘接强度的材料，以通过其粘接性直接固定所述温度计传感器。

5、所述腔体贯穿所述固定件的两端，包括相互连接的第一腔段和第二腔段，所述第一腔段内填充所述导热材料以形成所述导热区；所述防腐套管的一端固定于所述腔体内，所述温度计引线、绝缘套管、防腐套管沿所述第二腔段向所述固定件外部延伸。

6、所述导热材料的导热率大于0.5w/mk。所述导热材料例如可以为树脂，树脂具有良好的导热率，能够将待测温机构的温度传递给温度计本体的温度计传感器，实现精确测温，同时树脂具有良好的粘接强度，能够直接将所述温度计传感器固定于导热区中。在较为优选的方案中，树脂进一步选择为环氧树脂。

7、所述防腐套管材质的放气量小于8.5×10-11pa‧m3‧s-1‧cm-2，传热系数小于30w/（m‧℃）。该技术方案的有益效果在于，放气量在该范围内时，防腐套管产生的气体不会影响低温泵的真空环境；传热系数在该范围内时，可避免防腐套管导致较大的热量散失，进而影响检测温度。

8、所述防腐套管材质例如可以为不锈钢软管。该技术方案的有益效果在于，不锈钢软管具有良好的柔软性、耐腐蚀性、耐磨损性，且外观光亮美观。

9、所述绝缘套管例如可以为铁氟龙（聚四氟乙烯）套管，铁氟龙具有良好的耐高温、耐腐蚀、优良的电气特征。所述绝缘套管也可以为热缩套管，例如包括但不限于pvc热缩套管、pet热缩套管等，热缩套管具有高温收缩、柔软阻燃、良好的防腐蚀性能等特征。

10、本实用新型还提供一种低温泵，包括转接件和两个铠装温度计，所述铠装温度计为上述技术方案中所述的用于低温泵的铠装温度计；所述转接件上开设两个贯穿的安装孔，两个所述铠装温度计的防腐套管分别固定于两个所述安装孔内，所述铠装温度计的温度计引线穿过所述安装孔与温度显示器连接；所述铠装温度计的固定件靠近所述导热区的一端连接第一堵头，两个所述第一堵头分别连接待测温机构，所述待测温机构为低温泵的一级冷头、二级冷头。该技术方案的有益效果在于，通过设置两个铠装温度计，同时检测低温泵一级冷头和二级冷头上的温度，温度计引线连接温度显示器，以显示一级冷头、二级冷头上的温度。

11、所述转接件为法兰，所述法兰中部固定安装有第二堵头，两个所述安装孔开设于所述第二堵头上；所述转接件用于连接低温泵上的接口和真空电接头，所述温度计引线焊接于所述真空电接头上，所述真空电接头连接所述温度显示器。

12、与现有技术相比，本实用新型至少具有以下有益效果：

13、（1）本实用新型提供的铠装温度计的温度计引线外部套设绝缘套管，防止温度计引线与导电物质导通；所述绝缘套管外部套设防腐套管，防止具有腐蚀性的气体腐蚀温度计引线；待测温机构的温度通过导热区传递给温度计传感器，以进行温度检测。

14、（2）本实用新型进一步公开导热材料为树脂，树脂具有良好的导热率，能够将待测温机构的温度传递给温度计传感器，实现精确测温，同时树脂具有良好的粘接强度，能够直接将所述温度计传感器固定于导热区中。

15、（3）本实用新型进一步公开防腐套管为不锈钢软管，不锈钢软管具有较小的放气量，避免对真空环境造成影响，同时具有良好的柔软性、耐腐蚀性、耐磨损性，且外观光亮美观。

16、（4）本实用新型进一步公开绝缘套管为铁氟龙套管或热缩套管，具有良好的耐腐蚀、耐高温性能的同时，也具有良好的经济性，利于控制成本。

17、（5）本实用新型进一步公开一种低温泵，包括上述技术方案中的铠装温度计，能够监测低温泵一级冷头、二级冷头的温度。

技术特征：

1.一种用于低温泵的铠装温度计，其特征在于，包括温度计本体（1）和固定件（4），所述固定件（4）安装在待测温机构上、用于固定所述温度计本体（1）；所述温度计本体（1）包括温度计传感器（101）和温度计引线（102），所述温度计引线（102）的一端与所述温度计传感器（101）相连，另一端与外部的温度显示器连接；所述温度计引线（102）外部依次套设有绝缘套管（2）和防腐套管（3）；所述固定件（4）包括导热区（7），所述温度计传感器（101）固定安装于所述导热区（7）中，所述导热区（7）与待测温机构连接。

2.根据权利要求1所述的用于低温泵的铠装温度计，其特征在于：所述固定件（4）为内部开设腔体的柱状结构，所述腔体内填充导热材料以形成所述导热区（7），所述导热材料为电绝缘材料；所述腔体至少一侧开口以暴露所述导热区（7），用于固定所述温度计传感器（101）和连接待测温机构。

3.根据权利要求2所述的用于低温泵的铠装温度计，其特征在于：所述腔体贯穿所述固定件（4）的两端，包括相互连接的第一腔段（401）和第二腔段（402），所述第一腔段（401）内填充所述导热材料以形成所述导热区（7）；所述防腐套管（3）的一端固定于所述腔体内，所述温度计引线（102）、绝缘套管（2）、防腐套管（3）沿所述第二腔段（402）向所述固定件（4）外部延伸。

4.根据权利要求2或3所述的用于低温泵的铠装温度计，其特征在于：所述导热材料的导热率大于0.5w/mk。

5.根据权利要求4所述的用于低温泵的铠装温度计，其特征在于：所述导热材料为树脂。

6.根据权利要求1所述的用于低温泵的铠装温度计，其特征在于：所述防腐套管（3）材质的放气量小于8.5×10-11 pa‧m3‧s-1‧cm-2，传热系数小于30w/（m‧℃）。

7.根据权利要求6所述的用于低温泵的铠装温度计，其特征在于：所述防腐套管（3）材质为不锈钢。

8.根据权利要求1所述的用于低温泵的铠装温度计，其特征在于：所述绝缘套管（2）为铁氟龙套管或热缩套管。

9.一种低温泵，其特征在于，包括转接件（5）和两个铠装温度计，所述铠装温度计为权利要求1-8任一项所述的用于低温泵的铠装温度计；所述转接件（5）上开设两个贯穿的安装孔（502），两个所述铠装温度计的防腐套管（3）分别固定于两个所述安装孔（502）内，所述铠装温度计的温度计引线（102）穿过所述安装孔（502）与温度显示器连接；所述铠装温度计的固定件（4）靠近所述导热区（7）的一端连接第一堵头（6），两个所述第一堵头（6）分别连接待测温机构，所述待测温机构为低温泵的一级冷头、二级冷头。

10.根据权利要求9所述的低温泵，其特征在于，所述转接件为法兰，所述法兰中部固定安装有第二堵头（501），两个所述安装孔（502）开设于所述第二堵头（501）上；所述转接件（5）用于连接低温泵上的接口和真空电接头，所述温度计引线（102）焊接于所述真空电接头上，所述真空电接头连接所述温度显示器。

技术总结
本技术公开一种用于低温泵的铠装温度计，包括温度计本体和固定件，所述固定件安装在待测温机构上、用于固定所述温度计本体；所述温度计本体包括温度计传感器和温度计引线，所述温度计引线的一端与所述温度计传感器相连，另一端与外部的温度显示器连接；所述温度计引线外部依次套设有绝缘套管和防腐套管；所述固定件包括导热区，所述温度计传感器固定安装于所述导热区中，所述导热区用于与待测温机构连接。该铠装温度计适用于具有腐蚀性气体产生的工况环境。本技术还公开一种包括上述铠装温度计的低温泵，能够同时检测低温泵一级冷头、二级冷头的温度。

技术研发人员：郭硕,郭兴龙,姚战立,李东成
受保护的技术使用者：苏州八匹马超导科技有限公司
技术研发日：20230202
技术公布日：2024/1/13