一种真空镀膜设备部件检漏治具的制作方法

本技术涉及真空镀膜，尤其是一种真空镀膜设备部件检漏治具。

背景技术：

1、对于真空镀膜设备，主要指一类需要在真空环境下进行镀膜的设备，具体包括很多种类，包括蒸发镀膜、磁控溅射镀膜、原子层沉积镀膜等。

2、真空镀膜设备由真空抽气系统和镀膜室组成，真空抽气系统包括各种高、低真空泵、管道、阀门，而镀膜室除了主腔体以外，还有其他一些辅助镀膜的机构：等离子体（plasma）、真空计、加热器以及基片承载装置等等。

3、在真空镀膜阶段要选择合适的基片温度、镀料蒸发温度外，沉积气压是一个很重要的参数，沉积气压即镀膜室的真空度高低。

4、真空度是真空镀膜设备的基本要求，为了达到镀膜工艺需要的真空度就要求真空系统各个部件装配时都要有合适的气密性，装配作业过程中由于部件问题或者人为因素难免会出现漏气的情况而使真空设备达不到理想的真空度，这样就要求对真空镀膜设备进行真空检测漏点（检漏）。

5、目前，一般都是对整个真空镀膜设备组装完成后进行检漏作业，检漏有漏气的情况下，需要将漏气的部件拆除维修，维修后装在设备上再次检漏，这样就可能需要反复拆除、吊装、维修、安装直到找出漏点并解决。因此，目前的检漏作业会浪费大量的工时以及人力，拆卸过程中反复的吊装还存在一些安全隐患，重量较大部件的反复拆装有较大的可能对主腔室密封面造成损坏。

技术实现思路

1、本实用新型的目的是根据上述现有技术的不足，提供了一种真空镀膜设备部件检漏治具，可对主腔室的部件提前单独进行检漏作业，若发现部件漏气，可直接在检漏治具上面拆卸维修，而检漏治具本身腔体保持不动，无需拆除脱开，直至修复至不漏气，保证和真空设备主腔室连接一次性完成。

2、本实用新型目的实现由以下技术方案完成：

3、一种真空镀膜设备部件检漏治具，其特征在于：该检漏治具包括一主腔体，所述主腔体上设置有若干接口，若干所述接口包括用于连接真空计的接口、用于连接检漏仪的接口、用于连接真空泵的接口、用于连接检漏零部件的接口以及用于连接放气阀门的接口，各接口均与所述主腔体的内部连通。

4、所述主腔体的顶部具有顶部盖板，所述顶部盖板上开设有若干所述接口。

5、所述顶部盖板可与所述检漏零部件直接连接或通过过渡板进行连接。

6、所述主腔体设置有用于分别连接真空泵以及大功率真空泵的两个接口。

7、所述接口与所述真空泵或所述大功率真空泵之间均连接有真空泵控制阀门。

8、本实用新型的优点是：配置简单，安装方便，可有效地减少因未能早期检测到的漏点所导致的安装返工，最大程度地节省不必要的人力浪费以及减小安全隐患和物料损坏；结构简单合理，实现安全生产，提高作业效率，节约时间及成本。

技术特征：

1.一种真空镀膜设备部件检漏治具，其特征在于：该检漏治具包括一主腔体，所述主腔体上设置有若干接口，若干所述接口包括用于连接真空计的接口、用于连接检漏仪的接口、用于连接真空泵的接口、用于连接检漏零部件的接口以及用于连接放气阀门的接口，各接口均与所述主腔体的内部连通。

2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜设备部件检漏治具，其特征在于：所述主腔体的顶部具有顶部盖板，所述顶部盖板上开设有若干所述接口。

3.根据权利要求2所述的一种真空镀膜设备部件检漏治具，其特征在于：所述顶部盖板可与检漏零部件直接连接或通过过渡板进行连接。

4.根据权利要求1所述的一种真空镀膜设备部件检漏治具，其特征在于：所述主腔体设置有用于分别连接真空泵以及大功率真空泵的两个接口。

5.根据权利要求4所述的一种真空镀膜设备部件检漏治具，其特征在于：所述接口与所述真空泵或所述大功率真空泵之间均连接有真空泵控制阀门。

技术总结
本技术涉及真空镀膜技术领域，尤其是一种真空镀膜设备部件检漏治具，包括一主腔体，所述主腔体上设置有若干接口，若干所述接口包括用于连接真空计的接口、用于连接检漏仪的接口、用于连接真空泵的接口、用于连接检漏零部件的接口以及用于连接放气阀门的接口，各接口均与所述主腔体的内部连通。本技术的优点是：配置简单，安装方便，可有效地减少因未能早期检测到的漏点所导致的安装返工，最大程度地节省不必要的人力浪费以及减小安全隐患和物料损坏；结构简单合理，实现安全生产，提高作业效率，节约时间及成本。

技术研发人员：闫争明,李胜涛
受保护的技术使用者：光驰半导体技术（上海）有限公司
技术研发日：20230207
技术公布日：2024/1/15