一种承载装置和检测设备的制作方法

本技术涉及工装夹具，具体涉及一种承载装置和检测设备。

背景技术：

1、在基板二维图形缺陷检测中，需要通过承载装置进行支撑固定，承载装置中的承载盘作为关键部件对待检基板起到支撑固定的作用。目前的承载装置仅适合中小基板的支撑固定，对于尺寸较大的基板，由于大尺寸基板自身的翘曲等因素导致目前的基本承载机构无法实现对基板良好固定，影响基板的缺陷检测。

技术实现思路

1、本实用新型提供的承载装置和检测设备，用于解决大尺寸基板无法被良好固定的问题。

2、一种实施例中，提供一种承载装置，包括：

3、基座，所述基座用于设置在检测平台上；

4、承载盘，所述承载盘设置在所述基座上，所述承载盘具有背向所述基座的承载面，所述承载面设有第一安装孔和第二安装孔；

5、升降吸附机构，所述升降吸附机构包括升降吸附组件和升降驱动组件，所述升降吸附组件包括吸盘和顶杆，所述吸盘可活动地设置于所述第一安装孔内，所述吸盘用于吸附待测件，所述顶杆可活动地设置于所述第二安装孔内，所述顶杆用于支撑待测件；所述升降驱动组件连接于所述检测平台或所述承载盘，所述升降驱动组件与所述升降吸附组件连接，所述升降驱动组件用于驱动所述吸盘和所述顶杆同时升降活动，以将待测件从所述承载面的上方转移至所述承载面上；以及

6、夹持机构，所述夹持机构连接于检测平台或所述承载盘，所述夹持机构用于夹持位于所述承载面上的待测件的边缘位置。

7、一种实施例中，所述升降吸附组件还包括安装架，所述安装架位于所述承载盘背向所述承载面的一侧，所述吸盘和所述顶杆设置于所述安装架上。

8、一种实施例中，所述升降吸附组件还包括弹性件，所述弹性件环绕于所述顶杆的周侧，所述弹性件的一端与所述安装架连接，所述弹性件的另一端与所述承载盘弹性抵接，所述弹性件用于驱动所述升降吸附机构下移，所述升降驱动组件用于驱动所述升降吸附机构上升。

9、一种实施例中，所述吸盘设置于所述安装架的中部位置，一个所述顶杆对应设置有一个所述弹性件，所述吸盘的两侧分别设置有一个所述顶杆和一个所述弹性件；所述第一安装孔的两侧分别设有一个所述第二安装孔。

10、一种实施例中，所述升降驱动组件包括升降驱动件和顶板，所述升降驱动件用于设置于检测平台，所述升降驱动件与所述顶板连接，所述升降驱动件用于通过所述顶板驱动所述升降吸附组件的上升。

11、一种实施例中，所述升降吸附机构包括多个所述升降吸附组件和一个所述升降驱动组件，所述顶板与所有所述升降吸附组件连接，一个所述升降驱动组件用于同时驱动多个所述升降吸附组件的上升。

12、一种实施例中，所述夹持机构包括夹持升降驱动件和夹持件，所述夹持升降驱动件与所述承载盘连接，所述夹持件与所述夹持升降驱动件连接，所述夹持件具有夹持面，所述夹持面与所述承载面的边缘位置在升降方向上的投影重合，所述夹持升降驱动件用于驱动所述夹持件的升降。

13、一种实施例中，所述承载面包括若干个子承载面，所述若干个子承载面相互间隔设置，所述子承载面之间具有避让机械手装夹待测件的避让空间。

14、一种实施例中，每个所述子承载面上设有所述第一安装孔和所述第二安装孔；和/或每个所述子承载面对应设置有所述夹持机构。

15、一种实施例中，所述承载面为方形，所述承载面的至少两个相对的侧边上设有所述夹持机构。

16、一种实施例中，提供一种检测设备，包括检测平台、探测器和上述的承载装置，所述承载装置安装于所述检测平台，所述探测器位于所述承载装置的上方，所述探测器用于对所述承载装置上的待测件进行检测。

17、依据上述实施例的承载装置和检测设备，由于承载盘的承载面内设有可升降的吸盘和顶杆，吸盘和顶杆能够同时将大尺寸的待测件从机械手上转移到承载面上，使得待测件能够更为平稳的放置到承载面上，能够避免待测件在放置过程中发生的变形；并且承载盘的承载面的周围设置有夹持机构，夹持机构能够用于夹持待测件的边缘位置，承载盘的吸附和夹持机构的夹持形成双重安全保障，使得大尺寸的待测件能够平整的固定在承载面上进行检测，进而能够提高待测件缺陷检测的准确度。

技术特征：

1.一种承载装置，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的承载装置，其特征在于，所述升降吸附组件还包括安装架，所述安装架位于所述承载盘背向所述承载面的一侧，所述吸盘和所述顶杆设置于所述安装架上。

3.如权利要求2所述的承载装置，其特征在于，所述升降吸附组件还包括弹性件，所述弹性件环绕于所述顶杆的周侧，所述弹性件的一端与所述安装架连接，所述弹性件的另一端与所述承载盘弹性抵接，所述弹性件用于驱动所述升降吸附机构下移，所述升降驱动组件用于驱动所述升降吸附机构上升。

4.如权利要求3所述的承载装置，其特征在于，所述吸盘设置于所述安装架的中部位置，一个所述顶杆对应设置有一个所述弹性件，所述吸盘的两侧分别设置有一个所述顶杆和一个所述弹性件；所述第一安装孔的两侧分别设有一个所述第二安装孔。

5.如权利要求1所述的承载装置，其特征在于，所述升降驱动组件包括升降驱动件和顶板，所述升降驱动件用于设置于检测平台，所述升降驱动件与所述顶板连接，所述升降驱动件用于通过所述顶板驱动所述升降吸附组件的上升。

6.如权利要求5所述的承载装置，其特征在于，所述升降吸附机构包括多个所述升降吸附组件和一个所述升降驱动组件，所述顶板与所有所述升降吸附组件连接，一个所述升降驱动组件用于同时驱动多个所述升降吸附组件的上升。

7.如权利要求1所述的承载装置，其特征在于，所述夹持机构包括夹持升降驱动件和夹持件，所述夹持升降驱动件与所述承载盘连接，所述夹持件与所述夹持升降驱动件连接，所述夹持件具有夹持面，所述夹持面与所述承载面的边缘位置在升降方向上的投影重合，所述夹持升降驱动件用于驱动所述夹持件的升降。

8.如权利要求7所述的承载装置，其特征在于，所述承载面包括若干个子承载面，所述若干个子承载面相互间隔设置，所述子承载面之间具有避让机械手装夹待测件的避让空间。

9.如权利要求8所述的承载装置，其特征在于，每个所述子承载面上设有所述第一安装孔和所述第二安装孔；和/或每个所述子承载面对应设置有所述夹持机构。

10.如权利要求7所述的承载装置，其特征在于，所述承载面为方形，所述承载面的至少两个相对的侧边上设有所述夹持机构。

11.一种检测设备，其特征在于，包括检测平台、探测器和如权利要求1-10中任意一项所述的承载装置，所述承载装置安装于所述检测平台，所述探测器位于所述承载装置的上方，所述探测器用于对所述承载装置上的待测件进行检测。

技术总结
本技术公开了一种承载装置和检测设备，包括基座、承载盘、升降吸附机构和夹持机构；升降吸附组件包括吸盘和顶杆，吸盘和所述顶杆同时升降活动将待测件从承载面的上方转移至承载面上；夹持机构用于夹持位于承载面上的待测件的边缘位置。由于吸盘和顶杆能够同时将大尺寸的待测件从机械手上转移到承载面上，使得待测件能够更为平稳的放置到承载面上，能够避免待测件在放置过程中发生的变形；并且承载盘的承载面的周围设置有夹持机构，夹持机构能够用于夹持待测件的边缘位置，承载盘的吸附和夹持机构的夹持形成双重安全保障，使得大尺寸的待测件能够平整的固定在承载面上进行检测，进而能够提高待测件缺陷检测的准确度。

技术研发人员：段晓炳,董坤玲,张鹏斌,陈鲁,张嵩
受保护的技术使用者：深圳中科飞测科技股份有限公司
技术研发日：20230210
技术公布日：2024/1/14