一种用于晶体生长炉的气体检测设备的制作方法

文档序号:36452778发布日期:2023-12-21 15:49阅读:26来源:国知局
一种用于晶体生长炉的气体检测设备的制作方法

本技术涉及晶体生长炉,具体是一种用于晶体生长炉的气体检测设备。


背景技术:

1、晶体生长炉是一种用于电子与通信技术领域的工艺试验仪器,适合制备氧化物,光子晶体金属,合金,化合物与各种单晶样品,可调节生长过程中的气氛。

2、现有技术中,需要通过气体检测设备对晶体生长炉内部气体进行监测,但现有的用于晶体生长炉的气体检测设备需要将炉内气体抽出再通过检测仪进行检查,从而影响炉体整体的密封性,和对晶体生长炉内部持续长时间的检测效果不够理想,为此,我们提供了一种用于晶体生长炉的气体检测设备解决以上问题。

3、所以现有技术问题在于;检测时影响晶体生长炉的密封性和长时间检测效果不理想。


技术实现思路

1、解决的技术问题

2、本实用新型解决了现有的气体检测设备对晶体生长炉的气体检测设备检测时影响晶体生长炉的密封性和长时间检测效果不理想,从而达到了实时检测的基础上保证了晶体生长炉的密封性。

3、技术方案

4、为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种用于晶体生长炉的气体检测设备,包括连接管,所述连接管的顶端固定连接有接头,且接头的外壁开设有螺纹,所述连接管的内部设置有气体检测机构,所述连接管的内部设置有连接机构,且连接机构位于气体检测机构的正下方,所述气体检测机构包括气体检测器、输送管、导流罩、送风扇、警报器和防回流罩,所述导流罩位于送风扇的正上方,所述导流罩的顶端与输送管的底端固定连接,且输送管的顶端固定连接于气体检测器的外壁。

5、上述的,所述警报器固定连接于气体检测器的一侧,所述防回流罩通过导管固定连接于气体检测器的另一侧。

6、上述的,所述导流罩、送风扇和防回流罩皆位于连接管的内部,且导流罩与防回流罩进出口呈相反方向安装。

7、上述的,所述导流罩呈漏斗形,所述防回流罩呈倒圆锥形。

8、上述的,所述气体检测器和警报器皆位于连接管的外侧,且警报器与气体检测器通过导线电性连接。

9、上述的,所述连接机构包括电动伸缩杆、连接环、传动杆和挂钩,所述传动杆的设置有数个,且传动杆的顶端皆通过转轴活动连接于电动伸缩杆的顶端,所述传动杆的底端皆通过转轴活动连接于挂钩的内侧。

10、上述的,所述连接环的外侧固定连接有密封圈,所述连接环的底端开设有数个连接槽。

11、上述的,所述挂钩皆通过转轴活动连接于连接槽的内部顶端,所述电动伸缩杆的顶端固定连接于送风扇的底端。

12、有益效果:

13、与现有技术相比,该一种用于晶体生长炉的气体检测设备具备如下有益效果:

14、一、本实用新型通过设置的气体检测机构,利用送风扇将连接管内晶体生长炉内所产生气体通过导流罩送入输送管,从而使气体进入气体检测器内进行检测,警报器随着进行警示,检测过的气体通过防回流罩排除,从而解决了长时间检测效果不理想的技术问题,达到了快速对晶体生长炉产生气体进行实时检测,从而提高设备使用效率。

15、二、本实用新型通过设置的连接机构,利用连接环插入晶体炉连接口,再控制电动伸缩杆向下推动传动杆,同时传动杆的顶端向外推动挂钩的底端,从而使其钩住晶体炉连接口的内壁,有利于避免连接管两端皆通过螺纹旋转固定连接,从而不方便进行安装和拆卸。

16、本实用新型的其他优点、目标和特征在某种程度上将在随后的说明书中进行阐述,并且在某种程度上,基于对下文的考察研究对本领域技术人员而言将是显而易见的,或者可以从本实用新型的实践中得到教导。



技术特征:

1.一种用于晶体生长炉的气体检测设备,包括连接管(1),其特征在于:所述连接管(1)的顶端固定连接有接头(2),且接头(2)的外壁开设有螺纹,所述连接管(1)的内部设置有气体检测机构(3),所述连接管(1)的内部设置有连接机构(4),且连接机构(4)位于气体检测机构(3)的正下方,所述气体检测机构(3)包括气体检测器(301)、输送管(302)、导流罩(303)、送风扇(304)、警报器(305)和防回流罩(306),所述导流罩(303)位于送风扇(304)的正上方,所述导流罩(303)的顶端与输送管(302)的底端固定连接,且输送管(302)的顶端固定连接于气体检测器(301)的外壁。

2.根据权利要求1所述的一种用于晶体生长炉的气体检测设备,其特征在于:所述警报器(305)固定连接于气体检测器(301)的一侧,所述防回流罩(306)通过导管固定连接于气体检测器(301)的另一侧。

3.根据权利要求2所述的一种用于晶体生长炉的气体检测设备,其特征在于:所述导流罩(303)、送风扇(304)和防回流罩(306)皆位于连接管(1)的内部,且导流罩(303)与防回流罩(306)进出口呈相反方向安装。

4.根据权利要求3所述的一种用于晶体生长炉的气体检测设备,其特征在于:所述导流罩(303)呈漏斗形,所述防回流罩(306)呈倒圆锥形。

5.根据权利要求2所述的一种用于晶体生长炉的气体检测设备,其特征在于:所述气体检测器(301)和警报器(305)皆位于连接管(1)的外侧,且警报器(305)与气体检测器(301)通过导线电性连接。

6.根据权利要求1所述的一种用于晶体生长炉的气体检测设备,其特征在于:所述连接机构(4)包括电动伸缩杆(401)、连接环(402)、传动杆(403)和挂钩(404),所述传动杆(403)的设置有数个,且传动杆(403)的顶端皆通过转轴活动连接于电动伸缩杆(401)的顶端,所述传动杆(403)的底端皆通过转轴活动连接于挂钩(404)的内侧。

7.根据权利要求6所述的一种用于晶体生长炉的气体检测设备,其特征在于:所述连接环(402)的外侧固定连接有密封圈(5),所述连接环(402)的底端开设有数个连接槽(6)。

8.根据权利要求7所述的一种用于晶体生长炉的气体检测设备,其特征在于:所述挂钩(404)皆通过转轴活动连接于连接槽(6)的内部顶端,所述电动伸缩杆(401)的顶端固定连接于送风扇(304)的底端。


技术总结
本技术公开了一种用于晶体生长炉的气体检测设备,涉及晶体生长炉技术领域,包括连接管,所述连接管的顶端固定连接有接头,且接头的外壁开设有螺纹,所述连接管的内部设置有气体检测机构,所述连接管的内部设置有连接机构,且连接机构位于气体检测机构的正下方。本技术通过设置的气体检测机构,利用送风扇将连接管内晶体生长炉内所产生气体通过导流罩送入输送管,从而使气体进入气体检测器内进行检测,警报器随着进行警示,检测过的气体通过防回流罩排除,从而解决了长时间检测效果不理想的技术问题,达到了快速对晶体生长炉产生气体进行实时检测,从而提高设备使用效率。

技术研发人员:曹国峰,李勇,任涛
受保护的技术使用者:宁夏晶创智能装备有限公司
技术研发日:20230210
技术公布日:2024/1/15
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