一种探针台多探针快速定位结构及探针射频测试装置的制作方法

本技术涉及电极测试领域，特别涉及一种探针台多探针快速定位结构及探针射频测试装置。

背景技术：

1、随着半导体产业的飞速发展，芯片集中度越来越高，芯片检测时的测试电极也越来越多，工厂对芯片测试效率也在不断提出更高的要求。探针台作为芯片性能检测的重要工具，在芯片电性能测试时起到了至关重要的作用。探针台上重复单元的探针测试时，需要更多的探针针尖与与更多的芯片电极接触，从而一次性施加更多的电信号到芯片从而测试更多器件。

2、目前市面上的探针台可以同时摆放多个探针座，探针座的前端固定一个或者多个与芯片电极接触的针尖，当在显微镜下调整探针时，经常会遇到：

3、1)芯片电极小为微米级别，需要将显微镜的倍率调节到与之匹配的大倍率下观察和操作，手动操作探针座将其前端微米级别的针尖移动到视野中观察到，需要不断手动调节探针座的位置还要调节显微镜的聚焦旋钮，难度很大，耗时很长；2)显微镜视野很小，手动移动针座微米级移动时，即使操作非常熟练的员工也经常会出现与其他探针相撞，损坏探针的情况；3)由于探针台面有限，摆放8个针座后可供探针座移动的空间很小，会出现探针座对应的针尖都在显微镜视野中，而一个探针座的位移台xy移动时，它的探针臂会与其他探针座的探针臂相撞干涉，探针无法扎针到指定的芯片电极，需要重新摆放探针座情况的情况；4)随着测试的进行，探针磨损并更换探针后重新摆放探针座时需要花很长的时间调整位置到与之前的探针位置匹配。

4、为此，市面上缺少一种用于快速调整探针座的结构，方便对探针进行初步定位。

技术实现思路

1、本实用新型提供了一种探针台多探针快速定位结构及探针射频测试装置，其目的是为了解决在电极测试的过程中，因频繁调整探针的位置造成的调节时间过长的问题。

2、为了达到上述目的，本实用新型的实施例提供了一种探针台多探针快速定位结构，包括：

3、探针台，在所述探针台上设置有通孔；

4、探针座，用于安装探针，可拆卸的设置在所述探针台上；

5、限位器，设置在所述探针台上限制所述探针座的位置；

6、所述探针台的上表面设置有标示线，所述限位器沿所述标示线设置；

7、所述探针座沿所述限位器贴合设置并且探针座上的探针指向通孔。

8、优选地，所述标示线为线条、组合线条和图形。

9、优选地，所述探针台在所述标示线的附近还设置有螺纹孔，所述限位器通过所述螺纹孔在探针台上与标示线定位安装。

10、优选地，所述限位器包括一个矩形状的本体，所述本体沿所述标示线固定在所述探针台上，所述探针座贴合在所述本体的侧面以定位探针座的位置。

11、优选地，所述限位器包括两个矩形状的本体，两个本体构成t型，所述标示线为t型，所述探针座贴合两个本体侧面设置。

12、优选地，所述限位器包括两个矩形状的本体，两个本体首尾连接形成钝角，所述探针座贴合任一本体的侧面设置。

13、优选地，所述限位器包括至少三个矩形状的本体，多个本体首尾相连构成正多边形结构，所述正多边形结构的内切圆圆心位于所述通孔的圆心处。

14、本申请还提供了一种探针射频测试装置，采用前述的探针台多探针快速定位结构，还包括固定架和设置在固定架上的显微镜，显微镜位于通孔的正上方以观测探针和电极的接触情况。

15、本实用新型的上述方案有如下的有益效果：

16、在本申请中，通过标示线定位和安装限位器，探针座贴合限位器设置，限位器限制了探针座在平面上的一个方向，在后续测试中，探针座沿限位器进行移动，降低了探针移动的误差，减少了撞针几率。

17、本实用新型的其它特征和优点将在随后的具体实施方式部分予以详细说明。

技术特征：

1.一种探针台多探针快速定位结构，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的探针台多探针快速定位结构，其特征在于：所述标示线(4)为线条、组合线条和图形。

3.根据权利要求1所述的探针台多探针快速定位结构，其特征在于：所述探针台(1)在所述标示线(4)的附近还设置有螺纹孔，所述限位器(3)通过所述螺纹孔在探针台(1)上与标示线(4)定位安装。

4.根据权利要求2所述的探针台多探针快速定位结构，其特征在于：所述限位器(3)包括一个矩形状的本体，所述本体沿所述标示线(4)固定在所述探针台(1)上，所述探针座(2)贴合在所述本体的侧面以定位探针座(2)的位置。

5.根据权利要求2所述的探针台多探针快速定位结构，其特征在于：所述限位器(3)包括两个矩形状的本体，两个本体构成t型，所述标示线(4)为t型，所述探针座(2)贴合两个本体侧面设置。

6.根据权利要求2所述的探针台多探针快速定位结构，其特征在于：所述限位器(3)包括两个矩形状的本体，两个本体首尾连接形成钝角，所述探针座(2)贴合任一本体的侧面设置。

7.根据权利要求2所述的探针台多探针快速定位结构，其特征在于：所述限位器(3)包括至少三个矩形状的本体，多个本体首尾相连构成正多边形结构，所述正多边形结构的内切圆圆心位于所述通孔(11)的圆心处。

8.一种探针射频测试装置，其特征在于，采用权利要求4-7任一向所述的探针台多探针快速定位结构：

技术总结
本技术提供了一种探针台多探针快速定位结构及探针射频测试装置，涉及电极测试领域，包括：探针台，在所述探针台上设置有通孔；探针座，用于安装探针，可拆卸的设置在所述探针台上；限位器，设置在所述探针台上限制所述探针座的位置；所述探针台的上表面设置有标示线，所述限位器沿所述标示线设置；所述探针座沿所述限位器贴合设置并且探针座上的探针指向通孔，在本申请中，通过标示线定位和安装限位器，探针座贴合限位器设置，限位器限制了探针座在平面上的一个方向，在后续测试中，探针座沿限位器进行移动，降低了探针移动的误差，减少了撞针几率。

技术研发人员：肖宇,彭森,杨及,肖文峰,肖霞
受保护的技术使用者：长沙翼望半导体有限公司
技术研发日：20230310
技术公布日：2024/1/13