生长系统的制作方法

本申请涉及材料生长，尤其是涉及一种生长系统。

背景技术：

1、为生长制备高性能材料，采用真空样品室是目前广泛采用的方式，将样品材料的生长平台放入样品室，使用样品平台的生长工位放置材料，该方法既可高温真空固相生长材料，又可利用化学可逆反应在不同温度下反应朝不同方向进行而生长材料，具有设备简单、成本低、效率高、生长温度低和材料质量高的突出特点。

2、为了追求材料的纯净，避免产生交叉污染，目前常见的生长平台只有一个生长工位用于生长一个材料，然而，从真空的样品室中取出生长的材料工序繁琐复杂，需要耗费大量时间，一个生长工位用于生长一个材料，生长材料的生产效率低。或者，为了提高生产效率，在一个生长工位上固定多个材料，然而，为了放置多个材料，将一个生产工位切割为多个基底，一个基底对应放置一个材料，每个用于放置材料的基底的尺寸需要切割得非常小，基底需要紧密排列，不方便固定生长材料。

技术实现思路

1、本申请旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本申请提出一种生长系统，能够提升生产效率，便于固定待生长的材料。

2、根据本申请实施例的生长系统，用于材料的生长，所述生长系统包括样品室、生长平台和束流源。所述生长平台容纳于所述样品室，所述生长平台设有多个生长工位，所述生长工位用于固定所述材料；所述束流源容纳于所述样品室，且所述束流源的出口朝向所述生长工位，所述束流源用于所述材料的生长。

3、根据本申请实施例的生长系统，至少具有如下有益效果：生长平台设置在样品室中，生长平台设有多个生长工位，每个工位对应固定一个材料，束流源的出口朝向生长工位设置，用于生长材料，通过多个生长工位生长多个材料，然后一次取出多个生长工位，将多个生长的材料一次取出，节约了时间，提高了生产效率，且一个工位对应固定一个材料，放置材料的空间充足，对材料尺寸的限制较小，且便于固定待生长的材料，提高了操作的便利性。

4、在一些实施例中，所述生长系统还包括挡板，所述挡板设置于所述生长平台和所述束流源之间，所述挡板用于遮挡所述生长工位，所述挡板能够相对于所述生长平台移动，以使不同的所述生长工位与所述束流源连通。

5、在一些实施例中，所述挡板设有通孔，所述通孔贯穿所述挡板，所述挡板与所述生长平台相对移动到设定位置时，所述通孔连通所述束流源和所述生长工位。

6、在一些实施例中，所述通孔的数量为多个，所述挡板与所述生长平台相对移动到设定位置时，一个所述通孔与一个所述生长工位对应，以使所述束流源和部分所述生长工位连通。

7、在一些实施例中，所述生长系统还包括动力件，所述动力件设置于所述样品室，所述挡板与所述样品室固定连接，所述生长平台的一端与所述动力件连接，所述动力件能够带动所述生长平台相对于所述挡板移动，使挡板能够遮挡不同的所述生长工位。

8、在一些实施例中，所述生长系统还包括动力件，所述动力件设置于所述样品室，所述生长平台与所述样品室固定连接，所述挡板的一端与所述动力件连接，所述动力件能够带动所述挡板相对于所述生长平台移动，使挡板能够遮挡不同的所述生长工位。

9、在一些实施例中，所述生长系统还包括多个挡片和多个转轴，各所述转轴与各所述挡片一一对应连接，所述转轴设置于所述生长平台，所述挡片设置于所述生长平台和所述束流源之间，各所述挡片与各所述生长工位对应，所述挡片能够绕所述转轴转动以遮挡对应的所述生长工位。

10、在一些实施例中，所述生长系统还包括多个控温装置，各所述控温装置与各所述生长工位一一对应连接；或者，所述生长系统还包括一个控温装置，所述控温装置连接各所述生长工位。

11、在一些实施例中，所述生长平台还包括定位装置，所述定位装置容纳于所述样品室，所述定位装置能够定位所述挡板与所述生长平台的位置。

12、在一些实施例中，所述生长系统还包括真空泵，所述真空泵与所述样品室连通。

13、本申请的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本申请的实践了解到。

技术特征：

1.生长系统，用于材料的生长，其特征在于，所述生长系统包括：

2.根据权利要求1所述的生长系统，其特征在于，所述生长系统还包括挡板，所述挡板设置于所述生长平台和所述束流源之间，所述挡板用于遮挡所述生长工位，所述挡板能够相对于所述生长平台移动，以使不同的所述生长工位与所述束流源连通。

3.根据权利要求2所述的生长系统，其特征在于，所述挡板设有通孔，所述通孔贯穿所述挡板，所述挡板与所述生长平台相对移动到设定位置时，所述通孔连通所述束流源和所述生长工位。

4.根据权利要求3所述的生长系统，其特征在于，所述通孔的数量为多个，所述挡板与所述生长平台相对移动到设定位置时，一个所述通孔与一个所述生长工位对应，以使所述束流源和部分所述生长工位连通。

5.根据权利要求2所述的生长系统，其特征在于，所述生长系统还包括动力件，所述动力件设置于所述样品室，所述挡板与所述样品室固定连接，所述生长平台的一端与所述动力件连接，所述动力件能够带动所述生长平台相对于所述挡板移动，使挡板能够遮挡不同的所述生长工位。

6.根据权利要求2所述的生长系统，其特征在于，所述生长系统还包括动力件，所述动力件设置于所述样品室，所述生长平台与所述样品室固定连接，所述挡板的一端与所述动力件连接，所述动力件能够带动所述挡板相对于所述生长平台移动，使挡板能够遮挡不同的所述生长工位。

7.根据权利要求1所述的生长系统，其特征在于，所述生长系统还包括多个挡片和多个转轴，各所述转轴与各所述挡片一一对应连接，所述转轴设置于所述生长平台，所述挡片设置于所述生长平台和所述束流源之间，各所述挡片与各所述生长工位一一对应，所述挡片能够绕所述转轴转动以遮挡对应的所述生长工位。

8.根据权利要求1所述的生长系统，其特征在于，所述生长系统还包括多个控温装置，各所述控温装置与各所述生长工位一一对应连接；或者，所述生长系统还包括一个控温装置，所述控温装置连接各所述生长工位。

9.根据权利要求2所述的生长系统，其特征在于，所述生长平台还包括定位装置，所述定位装置容纳于所述样品室，所述定位装置能够定位所述挡板与所述生长平台的位置。

10.根据权利要求1所述的生长系统，其特征在于，所述生长系统还包括真空泵，所述真空泵与所述样品室连通。

技术总结
本申请公开了一种生长系统，用于材料的生长，生长系统包括样品室、生长平台和束流源。生长平台容纳于样品室，生长平台设有多个生长工位，生长工位用于固定材料；束流源容纳于样品室，且束流源的出口朝向生长工位，束流源用于材料的生长。生长平台设置在样品室中，生长平台设有多个生长工位，每个工位对应固定一个材料，束流源的出口朝向生长工位设置，用于生长材料，通过多个生长工位生长多个材料，然后一次取出多个生长工位，将多个生长的材料一次取出，节约了时间，提高了生产效率，且一个工位对应固定一个材料，放置材料的空间充足，对材料尺寸的限制较小，且便于固定待生长的材料，提高了操作的便利性。

技术研发人员：李彬,吕洪申,杜强强,徐高翔
受保护的技术使用者：深圳国际量子研究院
技术研发日：20230309
技术公布日：2024/1/15