生长平台及生长系统的制作方法

本申请涉及材料生长，尤其是涉及一种生长平台及生长系统。

背景技术：

1、为生长制备高性能材料，采用真空样品室是目前广泛采用的方式，将样品材料的生长平台放入样品室，使用生长平台的生长工位放置材料，该方法既可高温真空固相生长材料，又可利用化学可逆反应在不同温度下反应朝不同方向进行而生长材料，具有设备简单、成本低、效率高、生长温度低和材料质量高的突出特点。

2、然而，在生长平台用于材料生长的过程中，生长的材料的品质好坏，以及生长材料过程中材料的生长阶段不易于判断，将样品托上的材料取下之后，再对材料进行评估浪费时间，降低了生长材料的效率，且提高了人力物力的耗费。

技术实现思路

1、本申请旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本申请提出一种生长平台，保障生长材料的质量的同时，能够节约时间，提高生长材料的效率。

2、根据本申请第一方面实施例的生长平台，用于材料的生长，所述生长平台包括主体、生长工位和测试组件，所述生长工位设置于所述主体，所述生长工位包括样品托，所述样品托用于承载所述材料；所述测试组件设置于所述生长工位，所述测试组件包括测试件，所述测试件与所述样品托能够相对活动，所述测试件能够与所述材料接触以测试所述材料。

3、根据本申请第一方面实施例的生长平台，至少具有如下有益效果：生长平台设有生长工位，通过生长工位的样品托用于材料的生长，通过测试件对样品托上的材料进行原位测试电学性能，以此判断材料生长的过程中，生长的材料的品质好坏以及材料的生长阶段，不需要再将材料从样品托上取下，保障生长材料的质量的同时，能够节约时间，提高生长材料的效率，且避免了生长的材料从真空中取出造成污染，保障了材料的质量，同时测试件与样品托能够相对活动，当需要测试材料时，测试件与样品托连接，当不需要测试材料时，测试件与样品托分离，避免了影响材料的生长，保证了材料的生长质量。

4、在一些实施例中，所述测试组件还包括紧固件，所述紧固件穿设于所述测试件，所述紧固件能够将所述测试件固定于与所述材料接触的位置。

5、在一些实施例中，所述测试组件还包括紧固件和弹性件，所述紧固件穿设于所述测试件，所述弹性件绕设于所述紧固件，所述弹性件被抵持于所述测试件与所述生长工位之间，所述测试件能够绕所述紧固件转动，以与所述材料接触或脱离。

6、在一些实施例中，所述测试组件还包括绝缘件，所述绝缘件设置于所述生长工位，所述紧固件穿设于所述绝缘件，所述绝缘件能够与所述测试件靠近所述主体的表面抵持。

7、在一些实施例中，所述生长平台还包括掩盖板，在第一方向上，所述掩盖板与所述样品托间隔设置，所述掩盖板设有通孔，所述通孔用于供所述材料生长伸出，其中所述第一方向为所述材料的生长方向。

8、在一些实施例中，所述生长工位还包括沿所述第一方向依次连接的第一安装台、第一盖板、第二安装台和第二盖板，所述第一安装台与所述主体连接，所述第一安装台和所述第一盖板限定出第一容纳腔，所述样品托设置于所述第一容纳腔，所述第二安装台和所述第二盖板限定出与所述第一容纳腔连通的第二容纳腔，所述掩盖板设置于所述第二容纳腔。

9、在一些实施例中，所述第一安装台、所述第一盖板、所述第二安装台和所述第二盖板依次可拆卸连接，所述第一安装台与所述主体可拆卸连接。

10、在一些实施例中，所述生长工位还包括锁紧件，所述锁紧件沿所述第一方向依次穿设于所述第二盖板、所述第二安装台、所述第一盖板和所述第一安装台，所述锁紧件与所述主体可拆卸连接。

11、在一些实施例中，所述生长平台还包括控温装置，所述控温装置与所述生长工位连接，所述控温装置用于控制所述样品托的温度。

12、根据本申请第二方面实施例的生长系统，包括上述任一实施例所述的生长平台，生长系统包括：

13、样品室；

14、真空泵，所述真空泵与所述样品室连接并与所述样品室的内部连通；

15、生长平台，所述生长平台容置于所述样品室的内部。

16、根据本申请第二方面实施例的生长系统，至少具有如下有益效果：生长平台设有生长工位，通过生长工位的样品托用于材料的生长，通过测试件对样品托上的材料进行原位测试电学性能，以此判断材料生长的过程中，生长的材料的品质好坏以及材料的生长阶段，不需要再将材料从样品托上取下，保障生长材料的质量的同时，能够节约时间，提高生长材料的效率，且避免了生长的材料从真空中取出造成污染，保证了材料的质量，同时测试件与样品托能够相对活动，当需要测试材料时，测试件与样品托连接，当不需要测试材料时，测试件与样品托分离，避免了影响材料的生长，保证了材料的生长质量，此外，通过样品室容纳生长平台，真空泵与样品室连接，保证了材料的生长处于真空环境，满足了材料的生长环境需求，进一步保证了材料的生长质量。

17、本申请的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本申请的实践了解到。

技术特征：

1.生长平台，用于材料的生长，其特征在于，所述生长平台包括：

2.根据权利要求1所述的生长平台，其特征在于，所述测试组件还包括紧固件，所述紧固件穿设于所述测试件，所述紧固件能够将所述测试件固定于与所述材料接触的位置。

3.根据权利要求1所述的生长平台，其特征在于，所述测试组件还包括紧固件和弹性件，所述紧固件穿设于所述测试件，所述弹性件绕设于所述紧固件，所述弹性件被抵持于所述测试件与所述生长工位之间，所述测试件能够绕所述紧固件转动，以与所述材料接触或脱离。

4.根据权利要求2所述的生长平台，其特征在于，所述测试组件还包括绝缘件，所述绝缘件设置于所述生长工位，所述紧固件穿设于所述绝缘件，所述绝缘件能够与所述测试件靠近所述主体的表面抵持。

5.根据权利要求1所述的生长平台，其特征在于，所述生长平台还包括掩盖板，在第一方向上，所述掩盖板与所述样品托间隔设置，所述掩盖板设有通孔，所述通孔用于供所述材料生长伸出，其中所述第一方向为所述材料的生长方向。

6.根据权利要求5所述的生长平台，其特征在于，所述生长工位还包括沿所述第一方向依次连接的第一安装台、第一盖板、第二安装台和第二盖板，所述第一安装台与所述主体连接，所述第一安装台和所述第一盖板限定出第一容纳腔，所述样品托设置于所述第一容纳腔，所述第二安装台和所述第二盖板限定出与所述第一容纳腔连通的第二容纳腔，所述掩盖板设置于所述第二容纳腔。

7.根据权利要求6所述的生长平台，其特征在于，所述第一安装台、所述第一盖板、所述第二安装台和所述第二盖板依次可拆卸连接，所述第一安装台与所述主体可拆卸连接。

8.根据权利要求7所述的生长平台，其特征在于，所述生长工位还包括锁紧件，所述锁紧件沿所述第一方向依次穿设于所述第二盖板、所述第二安装台、所述第一盖板和所述第一安装台，所述锁紧件与所述主体可拆卸连接。

9.根据权利要求1所述的生长平台，其特征在于，所述生长平台还包括控温装置，所述控温装置与所述生长工位连接，所述控温装置用于控制所述样品托的温度。

10.生长系统，包括权利要求1至9中任一项所述的生长平台，其特征在于，生长系统包括：

技术总结
本申请公开了一种生长平台及生长系统，生长平台包括主体、生长工位和测试组件，生长工位设置于主体，生长工位包括样品托；测试组件包括测试件，测试件与样品托能够相对活动，测试件能够与材料接触以测试材料。通过生长平台的生长工位的样品托用于材料的生长，通过测试件对样品托上的材料进行原位测试电学性能，以此判断材料生长的过程中，生长的材料的品质好坏以及材料的生长阶段，不需要再将材料从样品托上取下，保障生长材料的质量的同时，能够节约时间，提高生长材料的效率，同时测试件与样品托活动连接，当需要测试材料时，测试件与样品托连接，当不需要测试材料时，测试件与样品托分离，避免了影响材料的生长，保证了材料的生长质量。

技术研发人员：李彬,吕洪申,杜强强,徐高翔
受保护的技术使用者：深圳国际量子研究院
技术研发日：20230309
技术公布日：2024/1/15