本公开涉及玻璃基板生产,尤其涉及一种气浮条偏移检测装置。
背景技术:
1、气浮条在工作过程中会产生气流使玻璃基板悬浮,悬浮时玻璃基板与气浮条的间距很小,为了保证玻璃基板的悬浮效果,避免部分气浮条与玻璃基板接触造成玻璃基板污染,在安装气浮条和更换部分气浮条之前,需要检测气浮条是否处以同一水平面上。
2、现有的气浮条偏移量的检测,为工作人员使用角度尺测量每个气浮条的角度误差;使用刀口尺、塞尺测量每个气浮条的平面度,当在检测过程中发现气浮条偏移超出范围时,需要另一工作人员对该气浮条进行调平。
3、但是,在发明人实现本发明创造的过程中,发现人工测量的方式效率低,且由于每个人测量手法的不同,检测出的数据误差较大,可能会导致气浮条无法处于同一平面或倾斜角度不符合要求,污染玻璃基板。
技术实现思路
1、本公开所要解决的一个技术问题是:如何提高气浮条偏移量的检测效率和检测精准度。
2、为解决上述技术问题,本公开实施例提供一种气浮条偏移检测装置,包括:
3、机架;
4、至少两个第一距离传感器,至少两个第一距离传感器沿第一方向滑动设置在机架上;至少两个第一距离传感器沿第二方向间隔排布,至少两个第一距离传感器发射的检测信号与第一方向和第二方向所在的平面垂直;
5、其中,第一方向与待检测样品的长度方向一致,第一方向和第二方向所在平面与水平面具有预设角度。
6、在一些实施例中,还包括第一支撑板;
7、至少两个第一距离传感器沿第二方向间隔设置在第一支撑板上,第一支撑板沿第一方向滑动设置在机架上,第一支撑板与水平面具有预设角度。
8、在一些实施例中,机架沿第一方向设置至少两条导轨,第一支撑板与至少两条导轨滑动连接;
9、其中,第一支撑板的两端分别与一个导轨滑动连接。
10、在一些实施例中,还包括第二距离传感器和第二支撑板;
11、第二支撑板与第一支撑板连接,第二支撑板位于第一支撑板背离导轨的一侧,第二支撑板上设置第二距离传感器,第二距离传感器发射的检测信号与竖直方向一致。
12、在一些实施例中,第二距离传感器的数量、第二支撑板的数量均与第一距离传感器数量相等;多个第二支撑板沿第二方向平行且间隔设置在第一支撑板上,第二支撑板与第一距离传感器交替排布,每个第二支撑板上分别设置一个第二距离传感器,每个第二距离传感器发射的检测信号与竖直方向一致。
13、在一些实施例中,预设角度为79°-81°。
14、在一些实施例中,还包括设置在机架上的第一线性驱动部;
15、第一线性驱动部的驱动端与第一支撑板连接,第一线性驱动部用于驱动第一支撑板沿第一方向往复运动。
16、在一些实施例中,机架还包括操作台和第一子机架,第一子机架和第一线性驱动部设置在操作台上,第一支撑板沿第一方向滑动设置在第一子机架上。
17、在一些实施例中,第一线性驱动部包括电机和丝杆;
18、电机设置在操作台上,电机的输出端与丝杆连接,丝杆长度方向与第一方向一致,丝杆上设置第一支撑板。
19、在一些实施例中,操作台的底部设置调节地脚和轮组。
20、通过上述技术方案,本公开提供的气浮条偏移检测装置,通过在机架上滑动设置至少两个第一距离传感器,并且至少两个第一距离传感器沿第二方向间隔排布,至少两个第一距离传感器在机架上沿第一方向滑动过程中能够向至少两个气浮条表面发射检测信号;第一方向和第二方向所在平面与水平面具有预设角度,该预设角度与气浮条理想所在平面与水平面的预设角度相同,由于至少两个第一距离传感器发射的检测信号与第一方向和第二方向所在的平面垂直,当至少两个第一距离传感器沿第一方向滑动过程中测量的数值始终一致时,即可证明第一方向和第二方向所在平面与气浮条理想所在平面平行,即气浮条处于同一平面且倾斜角度符合要求,反之则需要对气浮条进行调平。本申请避免了传统人工测量带来的误差,保证了数据的准确度,保证了气浮条处于同一平面及倾斜角度符合要求,避免了玻璃基板污染。同时,多个第一距离传感器的设置可对多条气浮条进行测量,检测更加省时省力,提高了检测的效率。
21、至少两个第一距离传感器在机架上沿第一方向滑动的时候向气浮条表面发射检测信号;第一方向和第二方向所在平面与水平面具有预设角度,
1.一种气浮条偏移检测装置,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的气浮条偏移检测装置,其特征在于,还包括第一支撑板(3);
3.根据权利要求2所述的气浮条偏移检测装置,其特征在于,
4.根据权利要求3所述的气浮条偏移检测装置,其特征在于,还包括第二距离传感器(5)和第二支撑板(6);
5.根据权利要求4所述的气浮条偏移检测装置,其特征在于,
6.根据权利要求1所述的气浮条偏移检测装置,其特征在于,
7.根据权利要求2-5任一项所述的气浮条偏移检测装置,其特征在于,还包括设置在所述机架(1)上的第一线性驱动部(7);
8.根据权利要求7所述的气浮条偏移检测装置,其特征在于,
9.根据权利要求8所述的气浮条偏移检测装置,其特征在于,所述第一线性驱动部(7)包括电机(701)和丝杆(702);
10.根据权利要求8或9所述的气浮条偏移检测装置,其特征在于,