一种共面波导传输线的异常测试装置的制作方法

本申请属于超导电路领域，尤其是超导电路测试，特别地，本申请涉及一种共面波导传输线的异常测试装置。

背景技术：

1、位于量子芯片上的量子比特是执行量子计算的基本单元。在超导量子计算体系中，在量子比特周围存在多种不同功能的超导电路，例如基于共面波导传输线构建的驱动控制信号线、读取信号线等。根据目前的制备工艺所制备的量子芯片常常出现共面波导传输线异常的情况，如短路或断路，这些异常导致该超导电路整体无法达到设计目标。为此，经常需要对共面波导传输线进行测试，筛选出异常的传输线以便针对性的实施修复工艺。而目前的相关技术中缺乏进行这种测试的装置。

技术实现思路

1、本申请的目的是提供一种共面波导传输线的异常测试装置，基于该异常测试装置可以实现对共面波导传输线的测试和异常筛选。

2、本申请的一个实施例提供了一种共面波导传输线的异常测试装置，所述共面波导传输线包括中心传输导体和位于所述中心传输导体两侧的地，所述中心传输导体和所述地之间的间隙为对地间隙，所述异常测试装置包括：

3、第一探针，所述第一探针用于与所述中心传输导体的第一端电接触；

4、第二探针，所述第二探针具有可相互切换的两种电接触模式，所述两种电接触模式包括：与所述中心传输导体的第二端电接触的断路测试模式，及与所述地电接触的短路测试模式；以及，

5、与所述第一探针和所述第二探针均电连接的测试仪表，所述测试仪表施加电信号并基于所述电信号获取所述第一探针和所述第二探针之间的电阻值。

6、如上所述的异常测试装置，在一些实施方式中，所述中心传输导体具有以下特点：所述第一端形成有第一电元件，且所述第一探针与所述第一电元件电接触。

7、如上所述的异常测试装置，在一些实施方式中，所述中心传输导体还具有以下特点：所述第二端形成有第二电元件，且在断路测试模式时，所述第二探针与所述第二电元件电接触。

8、如上所述的异常测试装置，在一些实施方式中，所述第一电元件、所述第二电元件均包括电容极板、导电焊盘至少之一。

9、如上所述的异常测试装置，在一些实施方式中，还包括xyz三轴位移机构，所述第一探针和所述第二探针分别设置在相互独立的xyz三轴位移机构上。

10、如上所述的异常测试装置，在一些实施方式中，所述xyz三轴位移机构固定有用于检测下针力度的力传感器，且所述第一探针和所述第二探针分别与相互独立的力传感器连接。

11、如上所述的异常测试装置，在一些实施方式中，所述第一探针和所述第一端电接触的状态时，及所述第二探针与所述中心传输导体的第二端或所述地电接触的状态时，所述力传感器测得的压力值均在0.1μn～0.5μn之间。

12、如上所述的异常测试装置，在一些实施方式中，所述第一探针和所述第二探针均包括夹持部和针头，所述针头插接至所述夹持部中，且一端贯穿所述夹持部，所述力传感器与所述夹持部相连接。

13、如上所述的异常测试装置，在一些实施方式中，所述针头的端部直径介于5μm～10μm。

14、如上所述的异常测试装置，在一些实施方式中，所述夹持部的表面形成有保护层。

15、与现有技术相比，本申请提供了一种共面波导传输线的异常测试装置，它包括用于与中心传输导体的第一端电接触的第一探针，具有可相互切换的两种电接触模式的第二探针，以及与第一探针和第二探针均电连接的测试仪表，且两种电接触模式包括与中心传输导体的第二端电接触的断路测试模式及与地电接触的短路测试模式，测试仪表在任一电接触模式下均施加电信号并基于该电信号获取第一探针和第二探针之间的电阻值，因此，可根据断路测试模式和短路测试模式对应的电阻值判断共面波导传输线是否有异常，从而完成共面波导传输线的异常测试筛选。

技术特征：

1.一种共面波导传输线的异常测试装置，其特征在于，所述共面波导传输线包括中心传输导体和位于所述中心传输导体两侧的地，所述中心传输导体和所述地之间的间隙为对地间隙，所述异常测试装置包括：

2.根据权利要求1所述的异常测试装置，其特征在于，所述中心传输导体具有以下特点：所述第一端形成有第一电元件，且所述第一探针与所述第一电元件电接触。

3.根据权利要求2所述的异常测试装置，其特征在于，所述中心传输导体还具有以下特点：所述第二端形成有第二电元件，且在断路测试模式时，所述第二探针与所述第二电元件电接触。

4.根据权利要求3所述的异常测试装置，其特征在于，所述第一电元件、所述第二电元件均包括电容极板、导电焊盘至少之一。

5.根据权利要求1所述的异常测试装置，其特征在于，还包括xyz三轴位移机构，所述第一探针和所述第二探针分别设置在相互独立的xyz三轴位移机构上。

6.根据权利要求5所述的异常测试装置，其特征在于，所述xyz三轴位移机构固定有用于检测下针力度的力传感器，且所述第一探针和所述第二探针分别与相互独立的力传感器连接。

7.根据权利要求6所述的异常测试装置，其特征在于，所述第一探针和所述第一端电接触的状态时，及所述第二探针与所述中心传输导体的第二端或所述地电接触的状态时，所述力传感器测得的压力值均在0.1μn～0.5μn之间。

8.根据权利要求6所述的异常测试装置，其特征在于，所述第一探针和所述第二探针均包括夹持部和针头，所述针头插接至所述夹持部中，且一端贯穿所述夹持部，所述力传感器与所述夹持部相连接。

9.根据权利要求8所述的异常测试装置，其特征在于，所述针头的端部直径介于5μm～10μm。

10.根据权利要求8所述的异常测试装置，其特征在于，所述夹持部的表面形成有保护层。

技术总结
本申请公开了一种共面波导传输线的异常测试装置，属于超导电路测试技术领域。所述异常测试装置包括：第一探针，所述第一探针用于与所述中心传输导体的第一端电接触；第二探针，所述第二探针具有可相互切换的两种电接触模式，所述两种电接触模式包括：与所述中心传输导体的第二端电接触的断路测试模式，及与所述地电接触的短路测试模式；以及，与所述第一探针和所述第二探针均电连接的测试仪表，所述测试仪表施加电信号并基于所述电信号获取所述第一探针和所述第二探针之间的电阻值。测试仪表在短路测试模式、断路测试模式下均获取探针之间的电阻值，因此，可根据对应的电阻值判断是否有异常，从而完成共面波导传输线的异常测试筛选。

技术研发人员：请求不公布姓名,请求不公布姓名,赵勇杰
受保护的技术使用者：本源量子计算科技（合肥）股份有限公司
技术研发日：20230328
技术公布日：2024/1/13