一种硅料韧性检测装置的制作方法

本技术涉及韧性检测，尤其涉及一种硅料韧性检测装置。

背景技术：

1、硅材料是重要的半导体材料，电子工业上使用的硅应具有高纯度和优良的电学和机械等性能。硅是产量最大、应用最广的半导体材料，它的产量和用量标志着一个国家的电子工业水平。半导体硅的制备工艺涉及原子层沉积、化学气相沉积、物理气相沉积、电镀、侵蚀、离子注入、快速热处理、化学机械抛光、硅片检测等多个工艺环节。其中，硅片检测环节需要通过韧性检测装置对硅料进行检测处理。

2、目前，市场上的韧性检测装置在对硅料进行韧性检测时，一般是对片状硅料的某一个位置进行检测，导致检测的精度较低，并且在检测缺乏对片状硅料的固定，导致在检测时片状硅料会出现晃动的情况，影响检测的精度。

技术实现思路

1、本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种硅料韧性检测装置。

2、为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：一种硅料韧性检测装置，包括放置体，所述放置体用于容纳硅料，所述放置体外壁固定连接有齿环，所述齿环外径啮合连接有齿轮，所述放置体外壁上下两侧均滑动连接有连接板，上侧所述连接板底端转动连接有驱动轴，所述驱动轴外壁固定连接在齿轮内壁，上侧所述连接板顶端固定连接有l形固定柱，所述l形固定柱右端固定连接有显示屏，所述l形固定柱底端左侧固定连接有电动推杆，所述电动推杆驱动端固定连接有压力传感器。当所述压力传感器与硅料上表面接触时，所述压力传感器用于检测垂直于硅片表面的扭力值或者压力值，所述显示屏用于显示所述扭力值或者压力值。

3、作为上述技术方案的进一步描述：

4、下侧所述连接板底端固定连接有电机，所述电机驱动端固定连接在驱动轴底端。

5、作为上述技术方案的进一步描述：

6、所述放置体前后两端均固定连接有固定块，所述固定块顶端均设置有伸缩槽，所述伸缩槽内壁均设置有伸缩柱，所述伸缩柱相对一端均固定连接有连接杆，所述连接杆底端相对一侧均固定连接有卡柱。

7、作为上述技术方案的进一步描述：

8、所述伸缩槽底端均固定连接有拉簧，所述拉簧顶端均固定连接在伸缩柱底端。

9、作为上述技术方案的进一步描述：

10、所述放置体顶端设置有放置槽，所述放置槽左右两端均设置有定位槽。

11、作为上述技术方案的进一步描述：

12、所述放置槽内壁设置有限位环，所述限位环左右两端均固定连接有定位柱，所述定位柱和定位槽形状相契合。

13、作为上述技术方案的进一步描述：

14、所述限位环顶端前后两侧均设置有卡槽，所述卡槽和卡柱形状相契合。

15、作为上述技术方案的进一步描述：

16、所述放置槽内壁设置有片状硅料。

17、作为上述技术方案的进一步描述：

18、所述放置体的下端面设置多个支撑柱，且多个支撑柱沿着所述放置体的周向设置。

19、本实用新型具有如下有益效果：

20、1、本实用新型中，首先当片状硅料放置在放置槽内时，使定位柱对准定位槽把限位环安装在放置槽内壁，之后向上提起连接杆对拉簧进行拉伸，使卡柱对准卡槽并松开连接杆使卡柱卡在卡槽内，对限位环进行固定，从而把片状硅料进行固定，防止在检测时片状硅料晃动，从而避免影响检测的精度，通过安装拆卸结构方便对片状硅料的安装和拆卸，方便对片状硅料进行更换，节省更换时间，提高更换效率。

21、2、本实用新型中，通过启动电机带着驱动轴转动，驱动轴带着齿轮转动，由于齿环是固定的，因此齿轮沿着齿环的外壁旋转并且齿轮自传，带着连接板转动，连接板带着l形固定柱转动，l形固定柱带着电动推杆转动，电动推杆带着压力传感器转动，因此可以改变压力传感器的检测位置，之后通过电动推杆带着压力传感器向下移动，通过对多个位置的检测，而检测的压力值通过显示屏显示出来并进行记录，对多组数据进行分析，从而可以提高对片状硅料韧性检测的精度。

技术特征：

1.一种硅料韧性检测装置，包括放置体(11)，所述放置体(11)用于容纳硅料，其特征在于：所述放置体(11)外壁固定连接有齿环(10)，所述齿环(10)外径啮合连接有齿轮(5)，所述放置体(11)外壁上下两侧均滑动连接有连接板(3)，上侧所述连接板(3)底端转动连接有驱动轴(4)，所述驱动轴(4)外壁固定连接在齿轮(5)内壁，上侧所述连接板(3)顶端固定连接有l形固定柱(2)，所述l形固定柱(2)右端固定连接有显示屏(1)，所述l形固定柱(2)底端左侧固定连接有电动推杆(16)，所述电动推杆(16)驱动端固定连接有压力传感器(15)，当所述压力传感器(15)与硅料上表面接触时，所述压力传感器(15)用于检测垂直于硅片表面的扭力值或者压力值，所述显示屏(1)用于显示所述扭力值或者压力值。

2.根据权利要求1所述的一种硅料韧性检测装置，其特征在于：下侧所述连接板(3)底端固定连接有电机(6)，所述电机(6)驱动端固定连接在驱动轴(4)底端。

3.根据权利要求1所述的一种硅料韧性检测装置，其特征在于：所述放置体(11)前后两端均固定连接有固定块(9)，所述固定块(9)顶端均设置有伸缩槽(20)，所述伸缩槽(20)内壁均设置有伸缩柱(8)，所述伸缩柱(8)相对一端均固定连接有连接杆(7)，所述连接杆(7)底端相对一侧均固定连接有卡柱(17)。

4.根据权利要求3所述的一种硅料韧性检测装置，其特征在于：所述伸缩槽(20)底端均固定连接有拉簧(21)，所述拉簧(21)顶端均固定连接在伸缩柱(8)底端。

5.根据权利要求3所述的一种硅料韧性检测装置，其特征在于：所述放置体(11)顶端设置有放置槽(22)，所述放置槽(22)左右两端均设置有定位槽(18)。

6.根据权利要求5所述的一种硅料韧性检测装置，其特征在于：所述放置槽(22)内壁设置有限位环(12)，所述限位环(12)左右两端均固定连接有定位柱(13)，所述定位柱(13)和定位槽(18)形状相契合。

7.根据权利要求6所述的一种硅料韧性检测装置，其特征在于：所述限位环(12)顶端前后两侧均设置有卡槽(19)，所述卡槽(19)和卡柱(17)形状相契合。

8.根据权利要求5所述的一种硅料韧性检测装置，其特征在于：所述放置槽(22)内壁设置有片状硅料(14)。

9.根据权利要求1所述的一种硅料韧性检测装置，其特征在于：所述放置体(11)的下端面设置多个支撑柱，且多个支撑柱沿着所述放置体(11)的周向设置。

技术总结
本技术公开了一种硅料韧性检测装置，包括放置体，放置体用于容纳硅料，所述放置体外壁固定连接有齿环，所述齿环外径啮合连接有齿轮，所述放置体外壁上下两侧均滑动连接有连接板，上侧所述连接板底端转动连接有驱动轴，所述驱动轴外壁固定连接在齿轮内壁，上侧所述连接板顶端固定连接有L形固定柱，所述L形固定柱右端固定连接有显示屏。本技术中，通过限位环对片状硅料进行固定，防止在检测时片状硅料晃动，从而避免影响检测的精度，并且通过对多个位置的检测，而检测的压力值通过显示屏显示出来并进行记录，对多组数据进行分析，从而可以提高对片状硅料韧性检测的精度。

技术研发人员：侯育星
受保护的技术使用者：苏州若高智能科技有限公司
技术研发日：20230331
技术公布日：2024/1/15