装夹装置及检测设备的制作方法

本技术涉及检测，具体涉及装夹装置及检测设备。

背景技术：

1、晶圆检测设备工作过程中，需要机械臂将晶圆从放置晶圆的片盒中取出，然后放置到晶圆固定装置上，而后采用真空或静电吸附等方式使晶圆固定于晶圆固定装置的承载转盘上。

2、目前，晶圆固定在承载转盘上时，晶圆中心可能与承载转盘转动轴线存在位置偏差较大，导致检测结果受到影响较大。

技术实现思路

1、本申请提供一种装夹装置，用于解决待测物在承载转盘上时待测物中心与承载转盘转动轴线的位置偏差较大的技术问题。

2、另外，本申请的目的还在于提供一种检测设备。

3、第一方面，一种实施例中提供一种装夹装置，包括：

4、承载转盘，所述承载转盘用于带动待测物转动；

5、至少三个夹爪，所述夹爪沿垂直于所述承载转盘轴向的方向活动装配在所述承载转盘上，所述夹爪用于夹持所述待测物的边缘；

6、以及传感单元，所述传感单元设置于所述承载转盘的边缘位置，所述传感单元用于对所述待测物进行位置检测；

7、各所述夹爪均能够相对独立活动，以调节所述待测物的位置，使所述待测物的中心与所述承载转盘的转动轴线重合。

8、一种实施例中，所述装夹装置包括控制器和多个夹爪驱动机构，所述夹爪均有对应的所述夹爪驱动机构；所述控制器与所述传感单元连接，且与所述夹爪驱动机构连接。

9、一种优选的实施例中，所述夹爪驱动机构为电驱动机构，所述电驱动机构包括力矩监控模块，所述力矩监控模块用于监控所述夹爪对所述待测物的夹紧力。

10、一种优选的实施例中，所述夹爪驱动机构为电驱动机构，所述装夹装置包括转盘座，所述承载转盘转动装配在所述转盘座上，所述装夹装置包括导电滑环，所述导电滑环包括电刷和与所述电刷导电接触的导电环，所述电刷和所述导电环中的一个用于与电源导通并安装在所述转盘座上，另一个与所述夹爪驱动机构导电连接并安装在所述承载转盘上。

11、一种实施例中，所述传感单元设有至少两个，且各所述传感单元在所述承载转盘的周向上间隔布置。

12、一种实施例中，所述装夹装置还包括临时支撑件，所述临时支撑件用于在所述夹爪夹持所述待测物之前临时支撑所述待测物底面边缘的可接触区域，所述夹爪包括承托部分和夹持部分；

13、所述承载转盘可相对于所述临时支撑件沿垂直于所述承载转盘轴向的方向相对移动，以使所述夹爪的承托部分能够承托所述待测物底面边缘的可接触区域；

14、所述承载转盘还可相对于所述临时支撑件沿所述承载转盘轴向相对移动，以使所述待测物进入所述夹持部分的夹持范围。

15、第二方面，提供一种检测设备，包括装夹装置和检测装置，所述装夹装置包括：

16、承载转盘，所述承载转盘用于带动待测物转动；

17、至少三个夹爪，所述夹爪沿垂直于所述承载转盘轴向的方向活动装配在所述承载转盘上，所述夹爪用于夹持所述待测物的边缘；

18、各所述夹爪均能够相对独立活动，以调节所述待测物的位置，使所述待测物的中心与所述承载转盘的转动轴线重合；

19、所述检测装置用于对所述待测物的待检测部位进行检测。

20、一种实施例中，所述装夹装置包括传感单元，所述传感单元用于对所述待测物进行位置检测，所述传感单元设有至少两个，相邻两个所述传感单元在所述承载转盘的周向上间隔90度布置。

21、一种实施例中，所述检测装置处于所述承载转盘的径向一侧，并且朝向所述待测物的外周，以对所述待测物的边缘进行检测。

22、一种实施例中，所述装夹装置还包括临时支撑件，所述临时支撑件用于在所述夹爪夹持所述待测物之前临时支撑所述待测物底面边缘的可接触区域，所述夹爪包括承托部分和夹持部分；

23、所述承载转盘可相对于所述临时支撑件沿垂直于所述承载转盘轴向的方向相对移动，以使所述夹爪的承托部分能够承托所述待测物底面边缘的可接触区域；

24、所述承载转盘还可相对于所述临时支撑件沿所述承载转盘轴向相对移动，以使所述待测物进入所述夹持部分的夹持范围。

25、根据上述实施例的装夹装置，装夹装置的承载转盘用于带动待测物转动，在被测物安装在承载转盘上时，通过装夹装置的多个夹爪能够使待测物相对承载转盘运动，对被测物的位置进行调节，直到待测物的中心与承载转盘的转动轴线重合。由于多个夹爪能够相对独立活动，能够精准调节待测物在承载转盘上的位置，减小待测物中心与承载转盘转动轴线的位置偏差，解决目前待测物中心与承载转盘转动轴线位置偏差较大的技术问题。

26、进一步的，装夹装置的传感单元用于对待测物进行位置检测，能够获取用于计算待测物中心位置的相关数据，根据计算出的待测物的实际中心位置，各夹爪调节待测物的位置，使待测物的中心与承载转盘的转动轴线重合，减小了因待测物加工误差对待测物中心位置的影响，能够进一步减小待测物在承载转盘上的安装位置偏差。

技术特征：

1.一种装夹装置，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的装夹装置，其特征在于，所述装夹装置包括控制器和多个夹爪驱动机构(5)，所述夹爪(3)均有对应的所述夹爪驱动机构(5)；所述控制器与所述传感单元连接，且与所述夹爪驱动机构(5)连接。

3.如权利要求2所述的装夹装置，其特征在于，所述夹爪驱动机构(5)为电驱动机构，所述电驱动机构包括力矩监控模块，所述力矩监控模块用于监控所述夹爪(3)对所述待测物(2)的夹紧力。

4.如权利要求2所述的装夹装置，其特征在于，所述夹爪驱动机构(5)为电驱动机构，所述装夹装置包括转盘座(11)，所述承载转盘(1)转动装配在所述转盘座(11)上，所述装夹装置包括导电滑环(6)，所述导电滑环(6)包括电刷和与所述电刷导电接触的导电环，所述电刷和所述导电环中的一个用于与电源导通并安装在所述转盘座(11)上，另一个与所述夹爪驱动机构(5)导电连接并安装在所述承载转盘(1)上。

5.如权利要求1-4任意一项所述的装夹装置，其特征在于，所述传感单元(4)设有至少两个，且各所述传感单元(4)在所述承载转盘(1)的周向上间隔布置。

6.如权利要求1-4任意一项所述的装夹装置，其特征在于，所述装夹装置还包括临时支撑件(7)，所述临时支撑件(7)用于在所述夹爪(3)夹持所述待测物(2)之前临时支撑所述待测物(2)底面边缘的可接触区域，所述夹爪(3)包括承托部分(31)和夹持部分(32)；

7.一种检测设备，其特征在于，包括装夹装置和检测装置(9)，所述装夹装置包括：

8.如权利要求7所述的检测设备，其特征在于，所述装夹装置包括传感单元(4)，所述传感单元(4)用于对所述待测物(2)进行位置检测，所述传感单元(4)设有至少两个，相邻两个所述传感单元(4)在所述承载转盘(1)的周向上间隔90度布置。

9.如权利要求7所述的检测设备，其特征在于，所述检测装置(9)处于所述承载转盘(1)的径向一侧，并且朝向所述待测物(2)的外周，以对所述待测物(2)的边缘进行检测。

10.如权利要求7所述的检测设备，其特征在于，所述装夹装置还包括临时支撑件(7)，所述临时支撑件(7)用于在所述夹爪(3)夹持所述待测物(2)之前临时支撑所述待测物(2)底面边缘的可接触区域，所述夹爪(3)包括承托部分(31)和夹持部分(32)；

技术总结
本技术涉及检测技术领域，具体涉及装夹装置及检测设备。装夹装置的承载转盘用于带动待测物转动，在被测物安装在承载转盘上时，通过装夹装置的多个夹爪能够使待测物相对承载转盘运动，对被测物的位置进行调节，直到待测物的中心与承载转盘的转动轴线重合。由于多个夹爪能够相对独立活动，因此能够精准调节待测物在承载转盘上的位置，减小待测物中心与承载转盘转动轴线的位置偏差，解决目前待测物中心与承载转盘转动轴线位置偏差较大的技术问题。

技术研发人员：范铎,张鹏斌,陈鲁,张嵩
受保护的技术使用者：深圳中科飞测科技股份有限公司
技术研发日：20230414
技术公布日：2024/1/15