一种便携式电离真空计检测装置的制作方法

本技术属于测量，具体的说，是涉及一种便携式电离真空计检测装置。

背景技术：

1、电离真空计是指通过测量气体在一定条件下电离产生的离子流来确定分子密度，进而测得压力的一种真空计，一般由规管和显示仪表两部分组成。按照电离方式不同，分为热阴极电离真空计和冷阴极电离真空计，常用的测量范围为(10-4～10-1)pa。

2、为保证电离真空计测得压力值的准确性，需按时对电离真空计进行量值溯源；电离真空计一般量值溯源方式是把显示仪表和规管同时送到实验室进行校准，但是在实际使用中，很多电离真空计的显示仪表是无法拆卸的，而实验室的校准装置又十分庞大，无法挪动，无法实现电离真空计的上门校准，因此，如何研制一套便携式电离真空计检测装置，便携且可用于电离真空计的上门校准，就成为了本领域的重要研究方向。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种便携式电离真空计检测装置，以解决现有技术所存在的实验室的校准装置十分庞大、无法挪动，不便携、无法实现电离真空计的上门校准的问题。

2、为了实现上述目的，本实用新型采取的技术方案如下：

3、一种便携式电离真空计检测装置，包括检测装置主体，所述检测装置主体包括机械泵，分别通过管路与所述机械泵连接的稳压室和分子泵，设置在所述稳压室上的第一针阀和第一电容薄膜真空计，通过管路与所述稳压室连接的校准室，分别通过管路与所述校准室连接的第二电容薄膜真空计、第三电容薄膜真空计和标准电离真空计，与所述分子泵连接的储气罐，以及通过管路与所述校准室连接并用于安装待测电离真空计的校准接口；所述校准室的外壁上设置有加热层，所述校准室还分别通过管路与所述机械泵和所述分子泵连接；还包括设置在各管路上的阀门。

4、进一步的，所述第一电容薄膜真空计为100torr电容薄膜真空计。

5、进一步的，所述第二电容薄膜真空计为1000torr电容薄膜真空计。

6、进一步的，所述第三电容薄膜真空计为1torr电容薄膜真空计。

7、进一步的，所述稳压室和校准室均采用圆柱形金属容器结构。

8、进一步的，所述校准接口包括kf16接口、kf25接口、kf40接口、cf16接口、cf25接口、cf35接口。

9、进一步的，所述阀门包括设置在机械泵和稳压室连接管路上的第一阀门，设置在机械泵和校准室连接管路上的第二阀门，设置在机械泵和分子泵连接管路上的第三阀门，设置在分子泵和校准室连接管路上的第四阀门，设置在校准室和第二电容薄膜真空计连接管路上的第五阀门，设置在校准室和第三电容薄膜真空计连接管路上的第六阀门，设置在校准室和标准电离真空计连接管路上的第七阀门，设置在校准室和kf16接口连接管路上的第八阀门，设置在校准室和kf25接口连接管路上的第九阀门，设置在校准室和kf40接口连接管路上的第十阀门、设置在校准室和cf16接口连接管路上的第十一阀门，设置在校准室和cf25接口连接管路上的第十二阀门，设置在校准室和cf35接口连接管路上的第十三阀门。

10、进一步的，在所述稳压室和校准室的连接管路上还设置有第二针阀。

11、进一步的，所有阀门均采用全金属阀门。

12、进一步的，还包括移动支架，所述检测装置主体安装在所述移动支架上。

13、与现有技术相比，本实用新型具备以下有益效果：

14、(1)本实用新型整体装置相较于实验室的校准设备而言，更紧凑、体积更小，且适用于便携，装置可完成电离真空计的校准，测量范围为(10-4～10-1)pa。

15、(2)本实用新型设计了六个不同形状和尺寸的接口，可同时完成六台不同形状和尺寸接口的真空计的校准。

16、(3)本实用新型结合移动支架可实现自由移动，进一步优化了本装置，方便上门校准。

技术特征：

1.一种便携式电离真空计检测装置，其特征在于：包括检测装置主体，所述检测装置主体包括机械泵(1)，分别通过管路与所述机械泵(1)连接的稳压室(4)和分子泵(9)，设置在所述稳压室(4)上的第一针阀(3)和第一电容薄膜真空计(5)，通过管路与所述稳压室(4)连接的校准室(11)，分别通过管路与所述校准室(11)连接的第二电容薄膜真空计(13)、第三电容薄膜真空计(14)和标准电离真空计(15)，与所述分子泵(9)连接的储气罐(8)，以及通过管路与所述校准室(11)连接并用于安装待测电离真空计的校准接口；所述校准室(11)的外壁上设置有加热层(12)，所述校准室(11)还分别通过管路与所述机械泵(1)和所述分子泵(9)连接；还包括设置在各管路上的阀门。

2.根据权利要求1所述的便携式电离真空计检测装置，其特征在于：所述第一电容薄膜真空计(5)为100torr电容薄膜真空计。

3.根据权利要求2所述的便携式电离真空计检测装置，其特征在于：所述第二电容薄膜真空计(13)为1000torr电容薄膜真空计。

4.根据权利要求3所述的便携式电离真空计检测装置，其特征在于：所述第三电容薄膜真空计(14)为1torr电容薄膜真空计。

5.根据权利要求4所述的便携式电离真空计检测装置，其特征在于：所述稳压室(4)和校准室(11)均采用圆柱形金属容器结构。

6.根据权利要求5所述的便携式电离真空计检测装置，其特征在于：所述校准接口包括kf16接口(22)、kf25接口(23)、kf40接口(24)、cf16接口(25)、cf25接口(26)、cf35接口(27)。

7.根据权利要求6所述的便携式电离真空计检测装置，其特征在于：所述阀门包括设置在机械泵(1)和稳压室(4)连接管路上的第一阀门(2)，设置在机械泵(1)和校准室(11)连接管路上的第二阀门(6)，设置在机械泵(1)和分子泵(9)连接管路上的第三阀门(7)，设置在分子泵(9)和校准室(11)连接管路上的第四阀门(10)，设置在校准室(11)和第二电容薄膜真空计(13)连接管路上的第五阀门(28)，设置在校准室(11)和第三电容薄膜真空计(14)连接管路上的第六阀门(29)，设置在校准室(11)和标准电离真空计(15)连接管路上的第七阀门(30)，设置在校准室(11)和kf16接口(22)连接管路上的第八阀门(31)，设置在校准室(11)和kf25接口(23)连接管路上的第九阀门(32)，设置在校准室(11)和kf40接口(24)连接管路上的第十阀门(33)、设置在校准室(11)和cf16接口(25)连接管路上的第十一阀门(34)，设置在校准室(11)和cf25接口(26)连接管路上的第十二阀门(35)，设置在校准室(11)和cf35接口(27)连接管路上的第十三阀门(36)。

8.根据权利要求7所述的便携式电离真空计检测装置，其特征在于：在所述稳压室(4)和校准室(11)的连接管路上还设置有第二针阀(37)。

9.根据权利要求8所述的便携式电离真空计检测装置，其特征在于：所有阀门均采用全金属阀门。

10.根据权利要求1～9任一项所述的便携式电离真空计检测装置，其特征在于：还包括移动支架，所述检测装置主体安装在所述移动支架上。

技术总结
本技术属于测量技术领域，提供了一种便携式电离真空计检测装置，包括检测装置主体，检测装置主体包括机械泵，分别通过管路与机械泵连接的稳压室和分子泵，设置在稳压室上的第一针阀和第一电容薄膜真空计，通过管路与稳压室连接的校准室，分别通过管路与校准室连接的第二电容薄膜真空计、第三电容薄膜真空计和标准电离真空计，与分子泵连接的储气罐，以及通过管路与校准室连接并用于安装待测电离真空计的校准接口；校准室的外壁上设置有加热层，校准室还分别通过管路与机械泵和分子泵连接；还包括设置在各管路上的阀门。本技术更紧凑、体积更小，且适用于便携，装置可完成电离真空计的校准，测量范围为(10<supgt;‑4</supgt;～10<supgt;‑1</supgt;)Pa。

技术研发人员：刘贝贝,王灿,张忠立,刘燚,蒋厚庸,周宇仁
受保护的技术使用者：上海市计量测试技术研究院（中国上海测试中心、华东国家计量测试中心、上海市计量器具强制检定中心）
技术研发日：20230421
技术公布日：2024/1/15