一种阻值测量结构的制作方法

本技术涉及阻值检测，特别涉及一种阻值测量结构。

背景技术：

1、为确保集成电路的性能，需要对集成电路中的各项器件的参数进行测试。对于电阻元件或者分流器等具有电阻特性的电路元件，需要对其阻值进行精准测量。一般的具有电阻特性的电路元件如附图1所示（左图为包含两个电极连接部，右图为包含四个电极连接部），包括电极连接部1以及阻值部2，其中电极连接部1设有偶数个并与阻值部2相连接，常见为两个或者四个电极连接部1。阻值部2作为导电结构层，电路元件的具体阻值与阻值部2的尺寸以及组成材料直接相关，由于阻值部2的组成材料具有一定的电阻率，从而使电路元件呈现电阻性。电极连接部1主要作为电路元件与集成电路之间的连接媒介。

2、在相关技术中，阻值测量方式是先将测量设备的两个测量探针分别接触其中两个电极连接部，并施加一个电压或者电流，再通过测量设备测量出相对应的电流或者电压，然后利用欧姆定律计算出阻值。然而实验发现，同一颗具有电阻特性的电路元件经过多次测量所得到的测量结果之间往往存在微小偏差，导致无法准确确定其阻值。为了进一步确保集成电路的性能，保证阻值测量的准确率显得格外重要。

技术实现思路

1、本实用新型的主要目的是提出一种阻值测量结构，旨在实现保证阻值测量的准确率，从而确保集成电路的性能。

2、为实现上述目的，本实用新型提出一种阻值测量结构，应用于具有电阻特性的电路元件，其中所述电路元件包括阻值部以及电极连接部，且所述电极连接部设有偶数个并与所述阻值部相连接；至少两个所述电极连接部用于连接测量设备的测量探针的一侧均设有探针对位层，所述探针对位层包括探针有效区以及探针无效区；其中所述探针有效区用于使所述测量探针与所述电极连接部相接触；所述探针无效区用于隔绝所述测量探针与所述电极连接部之间的接触。

3、可选地，所述探针有效区的面积为所述测量探针的端部面积的1~1.2倍。

4、可选地，所述探针有效区的轮廓形状与所述测量探针的端部形状相一致。

5、可选地，所述探针有效区由多个所述探针无效区围绕所组成。

6、可选地，所述探针无效区采用绝缘材料所形成。

7、可选地，所述探针有效区位于所述电极连接部的中心区域，且每个所述电极连接部上的所述探针有效区关于所述电阻的中部对称设置。

8、可选地，所述探针无效区的厚度为0.1um~100um。

9、与现有技术相比，本实用新型的有益效果：

10、针对相关技术中同一颗具有电阻特性的电路元件经过多次测量所得到的测量结果之间往往存在微小偏差的原因，本申请人在长期试验研究中发现，主要由于每次测量过程中测量探针与电极连接部上的接触点位置存在偏差所造成的。为了便于理解，以附图2进行说明，当电极连接部足够大而测量探针的端部足够小的情况下，参考附图2中a、b两种情况，其中a、b图中的黑点代表电极连接部与测量探针的接触点，当a图中两电极连接部上测量探针的接触点距离较近时，电流在阻值部上的传输路径x相应也会较短；而当b图中两电极连接部上测量探针的接触点距离较远时，电流在阻值部上的传输路径y相应也会较长；由于阻值与阻值部的尺寸长度相关，从而导致a、b两图中的阻值测量结果存在微小偏差。

11、基于上述研究发现，本实用新型公开了一种阻值测量方法，具体的，先在至少两个电极连接部上通过各种加工工艺加工形成探针对位层，其中探针对位层包括探针有效区以及探针无效区；再利用测量探针通过探针有效区接触电极连接部，并通过测量设备测量电路元件的阻值。由于探针无效区隔绝了测量探针与电极连接部之间的接触，使得测量探针在进行阻值测量时其接触点必须位于探针有效区中，若是测量探針有所偏移，则无法得到阻值结果。从而确保无论进行多次阻值测量其测量结果都能保持一致，最大范围地缩小了阻值测量时的误差，实现保证阻值测量的准确率，从而确保集成电路的性能。

技术特征：

1.一种阻值测量结构，应用于具有电阻特性的电路元件，其中所述电路元件包括阻值部以及电极连接部，且所述电极连接部设有偶数个并与所述阻值部相连接；

2.根据权利要求1所述的阻值测量结构，其特征在于：所述探针有效区的面积为所述测量探针的端部面积的1~1.2倍。

3.根据权利要求1所述的阻值测量结构，其特征在于：所述探针有效区的轮廓形状与所述测量探针的端部形状相一致。

4.根据权利要求1所述的阻值测量结构，其特征在于：所述探针有效区由多个所述探针无效区围绕所组成。

5.根据权利要求1所述的阻值测量结构，其特征在于：所述探针无效区采用绝缘材料所形成。

6.根据权利要求1所述的阻值测量结构，其特征在于：所述探针有效区位于所述电极连接部的中心区域，且每个所述电极连接部上的所述探针有效区关于所述电阻的中部对称设置。

7.根据权利要求1所述的阻值测量结构，其特征在于：所述探针无效区的厚度为0.1um~100um。

技术总结
本技术公开了一种阻值测量结构，应用于具有电阻特性的电路元件，其中所述电路元件包括阻值部以及电极连接部，且所述电极连接部设有偶数个并与所述阻值部相连接；所述电极连接部用于连接测量设备的测量探针的一侧均设有探针对位层，所述探针对位层包括探针有效区以及探针无效区；其中所述探针有效区用于使所述测量探针与所述电极连接部相接触；所述探针无效区用于隔绝所述测量探针与所述电极连接部之间的接触。通过本技术实现保证阻值测量的准确率，从而确保集成电路的性能。

技术研发人员：江显伟
受保护的技术使用者：钧崴电子科技股份有限公司
技术研发日：20230505
技术公布日：2024/1/15