一种晶圆预定位机构及晶圆测试设备的制作方法

本申请涉及晶圆检测的，尤其是涉及一种晶圆预定位机构及晶圆测试设备。

背景技术：

1、目前，在对晶圆进行检测前，需要对晶圆的姿态进行调整，而调整晶圆的姿态前，需要检测晶圆上预设的编号或缺口，并与预存标准位置进行对比，才能准确调整晶圆的姿态。

2、针对上述中的相关技术：在不同规格或设计的晶圆上，编号可能预设 在晶圆的正面，也可能预设在晶圆的反面，从而不便于对晶圆上的编号进 行检测，进而不便于对晶圆位置进行校准。

技术实现思路

1、为了便于对晶圆的位置进行校准，本申请提供一种晶圆预定位机构及晶圆测试设备。

2、第一方面，本申请提供的一种晶圆预定位机构，采用如下的技术方案：

3、一种晶圆预定位机构，包括：

4、基板，所述基板上贯穿开设有检测口；

5、驱动组件，设置在所述基板上；

6、定位件，与所述驱动组件连接，所述定位件用于固定晶圆，所述驱动组件用于驱动所述定位件进行转动及升降；

7、相机，至少设置有一个，所述相机设置在所述基板背离所述驱动组件的一侧和/或设置在所述基板靠近所述驱动组件的一侧，所述相机靠近所述检测口设置，所述相机用于对晶圆进行检测。

8、通过采用上述技术方案，当晶圆被放置并固定在定位件上时，驱动组件能够驱动定位件带动晶圆进行升降，以便于相机聚焦，且驱动件能够驱动定位件带动晶圆转动，从而便于利用相机找出晶圆的圆心及晶圆上的缺口，且相机的数量及位置能够根据实际需求设置在晶圆的正面或背面，进而有利于相机对晶圆正面或背面的编号进行识别，以便于对晶圆的位置进行校准。

9、可选的，所述基板上还开设有通孔，所述定位件包括吸盘，所述吸盘的一端与所述驱动组件连接，所述吸盘的另一端穿过所述通孔，所述吸盘用于吸附晶圆。

10、通过采用上述技术方案，吸盘能够对晶圆进行吸附固定，从而便于快速对晶圆进行固定。

11、可选的，所述驱动组件包括升降驱动件、连接件及旋转驱动件，所述升降驱动件设置在所述基板上，所述旋转驱动件通过所述连接件与所述升降驱动件连接，所述定位件与所述旋转驱动件的输出端连接，所述升降驱动件用于驱动所述旋转驱动件进行升降，所述旋转驱动件用于驱动所述定位件进行旋转。

12、通过采用上述技术方案，升降驱动件能够带动连接件、旋转驱动件及吸盘沿垂直于基板的方向进行升降，使得吸盘上晶圆与相机之间的间距能够调整，便于相机聚焦，同时旋转驱动件能够通过吸盘带动晶圆进行旋转，从而便于利用相机找出晶圆的圆心及晶圆上的缺口，进而便于相机精确识别晶圆上的编号，以便于对晶圆进行预定位。

13、可选的，所述基板靠近所述升降驱动件的一侧垂直设置有安装板，所述安装板上沿垂直于所述基板的方向开设有滑槽，所述连接件的一端与所述升降驱动件连接，所述连接件的另一端穿过所述滑槽并与所述旋转驱动件连接，所述安装板上沿所述滑槽的开设方向设置有第一导轨，所述连接件与所述第一导轨滑动连接。

14、通过采用上述技术方案，第一导轨能够对连接件起到导向作用，从而便于连接件带动旋转驱动件在安装板上稳定进行升降。

15、可选的，还包括相机驱动件，所述相机驱动件分别与所述基板和所述相机连接，所述相机驱动件用于驱动所述相机沿平行于所述基板的方向移动。

16、通过采用上述技术方案，使得相机的识别范围能够调整，从而使得相机能够对不同尺寸的晶圆进行识别，进而有利于提高预定位机构的使用范围。

17、可选的，所述基板上设置有相机底板，所述相机底板上沿平行于所述基板的方向设置有第二导轨，所述相机滑移设置在所述第二导轨上，所述相机驱动件设置在所述相机底板上。

18、通过采用上述技术方案，第二导轨能够对相机起到导向作用，从而便于相机驱动件稳定带动相机进行移动，进而便于稳定调整相机的识别范围。

19、可选的，还包括缓存组件，所述缓存组件包括支撑板、支柱及暂存板，所述基板上设置有支撑柱，所述支撑柱远离所述基板的一端与所述支撑板连接，所述支柱设置在所述支撑板背离所述支撑柱的一侧，所述暂存板设置在所述支柱远离所述支撑板的一侧，所述暂存板用于暂存晶圆。

20、通过采用上述技术方案，暂存板能够为晶圆提供缓存位置，从而便于将预定位完成后的晶圆存放在暂存板上。

21、可选的，所述暂存板背离所述支撑板的一侧开设有暂存槽，所述暂存槽用于暂存晶圆。

22、通过采用上述技术方案，暂存槽能够对晶圆起到限位作用，使得晶圆存放在暂存槽内后不易发生移动，从而有利于减小预定位完成后的晶圆发生偏移，导致晶圆位置出现偏差的可能性。

23、第二方面，本申请提供一种晶圆测试设备，包括上述内容中任意一种晶圆预定位机构，采用如下的技术方案：

24、一种晶圆测试设备，包括上料机及与所述上料机连接的探针台，所述上料机外设置有料仓，所述上料机内开设有上料腔，所述上料腔与所述料仓连通，所述上料腔内设置有机械手，所述基板设置在所述上料腔内，所述机械手用于将晶圆在所述料仓与所述定位件之间和所述定位件与所述探针台之间进行转运，所述探针台用于对晶圆进行检测。

25、通过采用上述技术方案，机械手能够将料仓内的晶圆转运至定位件上，从而便于对晶圆的位置进行校准，且机械手能够将预定位完成后的晶圆转运至探针台上，进而便于对晶圆进行检测。

26、可选的，所述上料机与所述探针台之间开设有送料口，所述送料口与所述上料腔连通。

27、通过采用上述技术方案，便于机械手将定位件上的晶圆转运至探针台上。

28、综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：

29、1.通过基板、驱动组件、定位件及相机的相互配合，使得驱动组件能够通过定位件带动晶圆进行升降及旋转，且相机能够根据实际需求设置在晶圆的正面或背面，从而便于相机精确识别晶圆正面或背面的编号，进而便于对晶圆的位置进行校准；

30、2.通过相机驱动件、相机底板及第二导轨的相互配合，使得相机驱动件能够驱动相机在第二导向上移动，从而便于调整相机的识别位置，使得相机能够对不同尺寸的晶圆进行识别；

31、3.通过支撑板、支柱及暂存板的相互配合，使得晶圆能够稳定存放在暂存板上的暂存槽内，且暂存槽能够对晶圆进行限位，使得晶圆存放在暂存槽内后不易方向偏移，从而有利于减小预定位完成后的晶圆的位置出现偏差的可能性，进而便于后续对晶圆进行检测。

技术特征：

1.一种晶圆预定位机构，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的晶圆预定位机构，其特征在于：所述基板（1）上还开设有通孔（12），所述定位件包括吸盘（3），所述吸盘（3）的一端与所述驱动组件（2）连接，所述吸盘（3）的另一端穿过所述通孔（12），所述吸盘（3）用于吸附晶圆。

3.根据权利要求1所述的晶圆预定位机构，其特征在于：所述驱动组件（2）包括升降驱动件（21）、连接件（22）及旋转驱动件（23），所述升降驱动件（21）设置在所述基板（1）上，所述旋转驱动件（23）通过所述连接件（22）与所述升降驱动件（21）连接，所述定位件与所述旋转驱动件（23）的输出端连接，所述升降驱动件（21）用于驱动所述旋转驱动件（23）进行升降，所述旋转驱动件（23）用于驱动所述定位件进行旋转。

4.根据权利要求3所述的晶圆预定位机构，其特征在于：所述基板（1）靠近所述升降驱动件（21）的一侧垂直设置有安装板（11），所述安装板（11）上沿垂直于所述基板（1）的方向开设有滑槽（111），所述连接件（22）的一端与所述升降驱动件（21）连接，所述连接件（22）的另一端穿过所述滑槽（111）并与所述旋转驱动件（23）连接，所述安装板（11）上沿所述滑槽（111）的开设方向设置有第一导轨（112），所述连接件（22）与所述第一导轨（112）滑动连接。

5.根据权利要求1所述的晶圆预定位机构，其特征在于：还包括相机驱动件（6），所述相机驱动件（6）分别与所述基板（1）和所述相机（4）连接，所述相机驱动件（6）用于驱动所述相机（4）沿平行于所述基板（1）的方向移动。

6.根据权利要求5所述的晶圆预定位机构，其特征在于：所述基板（1）上设置有相机底板（14），所述相机底板（14）上沿平行于所述基板（1）的方向设置有第二导轨（141），所述相机（4）滑移设置在所述第二导轨（141）上，所述相机驱动件（6）设置在所述相机底板（14）上。

7.根据权利要求1所述的晶圆预定位机构，其特征在于：还包括缓存组件（5），所述缓存组件（5）包括支撑板（51）、支柱（52）及暂存板（53），所述基板（1）上设置有支撑柱（15），所述支撑柱（15）远离所述基板（1）的一端与所述支撑板（51）连接，所述支柱（52）设置在所述支撑板（51）背离所述支撑柱（15）的一侧，所述暂存板（53）设置在所述支柱（52）远离所述支撑板（51）的一侧，所述暂存板（53）用于暂存晶圆。

8.根据权利要求7所述的晶圆预定位机构，其特征在于：所述暂存板（53）背离所述支撑板（51）的一侧开设有暂存槽（531），所述暂存槽（531）用于暂存晶圆。

9.一种晶圆测试设备，包括权利要求1-8中任意一项所述的晶圆预定位机构，其特征在于：包括上料机（7）及与所述上料机（7）连接的探针台（8），所述上料机（7）外设置有料仓（71），所述上料机（7）内开设有上料腔（72），所述上料腔（72）与所述料仓（71）连通，所述上料腔（72）内设置有机械手（73），所述基板（1）设置在所述上料腔（72）内，所述机械手（73）用于将晶圆在所述料仓（71）与所述定位件之间和所述定位件与所述探针台（8）之间进行转运，所述探针台（8）用于对晶圆进行检测。

10.根据权利要求9所述的晶圆测试设备，其特征在于：所述上料机（7）与所述探针台（8）之间开设有送料口（74），所述送料口（74）与所述上料腔（72）连通。

技术总结
本申请涉及晶圆检测的技术领域，尤其是涉及一种晶圆预定位机构及晶圆测试设备，包括基板、驱动组件、定位件及相机。其中，基板上贯穿开设有检测口；驱动组件设置在基板上；定位件与驱动组件连接，定位件用于固定晶圆，驱动组件用于驱动定位件进行转动及升降；相机至少设置有一个，相机设置在基板背离驱动组件的一侧和/或设置在基板靠近驱动组件的一侧，相机靠近检测口设置，相机用于对晶圆进行检测。本申请具有便于对晶圆的位置进行校准的效果。

技术研发人员：刘世文,钟金成
受保护的技术使用者：深圳市森美协尔科技有限公司
技术研发日：20230522
技术公布日：2024/1/15