一种重复定位精度检测工装的制作方法

本申请涉及检测工装，具体涉及一种可适应传感器多方位移动的工装。

背景技术：

1、芯片(集成电路)制造就是在硅片上雕刻复杂电路和电子元器件(利用薄膜沉积、光刻、刻蚀等工艺)，同时把需要的部分改造成有源器件(利用离子注入等)。芯片的制造过程可以分为前道工艺和后道工艺。前道是指晶圆制造厂的加工过程，在空白的硅片完成电路的加工，出厂产品依然是完整的圆形硅片。后道是指封装和测试的过程，在封测厂中将圆形的硅片切割成单独的芯片颗粒，完成外壳的封装，最后完成终端测试，出厂为芯片成品。

2、半导体芯片制造流程复杂，生产工序达上千道，制作过程技术要求较高。随着技术的发展，市场对半导体芯片生产技术要求进一步提高，不同生产工序之间的搬运需求衍生出了半导体搬运设备行业的生存空间。

3、半导体晶圆搬运设备是指通过机器自动搬运，将晶圆从工序a的晶圆盒子或容器中移动道工序b的晶圆盒子或容器中。在这个过程中，晶圆储片盒或容器中的晶圆被高速地、清洁地搬运和处理；其中，机械手上设置有检测块作为机械手的定位标识，通过安装在各个工位的重复定位精度检测工具(前端主要是激光传感器)来检测机械手的操作是否精准。

4、目前，重复定位精度检测工具的工作区域有限，无法实现多个方位的移动，无法适配不同尺寸及工况的晶圆搬运设备。

技术实现思路

1、为此，本申请提供一种重复定位精度检测工装，以解决现有技术工作区域有限、无法实现多个方位的移动的问题。

2、为了实现上述目的，本申请提供如下技术方案：

3、一种重复定位精度检测工装，包括：

4、激光传感器，用于实现目标测量；

5、底座；

6、竖直设置的支杆，其下端与所述底座固定连接；

7、连接板，其与所述支杆滑动连接，能够基于支杆沿竖直方向移动并锁定；

8、水平设置的延长板，其与所述连接板固定连接；记竖直方向为z方向、连接板长度方向为x方向，则所述延长板还设置有沿y方向上位置可调的安装部；

9、以及万向支架组件，其上端作为固定端于所述位置可调的安装部与延长板可拆卸固定连接，其下端作为自由端固定安装所述激光传感器。

10、可选地，所述支杆分为第一支杆和第二支杆，第一支杆与第二支杆相互平行；所述连接板的两个端部在同一水平面分别与第一支杆与第二支杆滑动连接；所述延长板连接于连接板的中部。

11、可选地，所述支杆具有半封闭的滑槽结构，半封闭开口朝向y方向；所述半封闭的滑槽结构内适配安装有滑动件，所述连接板覆盖于支杆的滑动件处，并通过螺钉穿过连接板与滑动件螺纹连接顶紧支杆起到锁定作用。

12、可选地，所述滑动件为船型螺母，所述支杆为与所述船型螺母形状尺寸适配的标准铝型材。

13、可选地，所述支杆在y方向上的两个端面对称开设有所述半封闭的滑槽结构。

14、可选地，所述延长板在y方向上的一端与所述连接板的中部顶端固定连接，另一端悬空；所述沿y方向上位置可调的安装部为延长板沿y方向上依次开设的多个安装接口。

15、可选地，所述底座集成有电控箱，所述电控箱内设置有plc和移动电源。

16、可选地，所述底座的底面设置有地脚，底座的侧面设置有把手。

17、相比现有技术，本申请至少具有以下有益效果：

18、1、本申请采用连接板与竖直设置的支杆滑动连接，能够基于支杆沿竖直方向(z方向)移动并锁定；水平(xy平面)设置的延长板与连接板固定连接，延长板设置有沿y方向上位置可调的安装部；万向支架组件的上端作为固定端与延长板可拆卸固定连接，可实现y方向的调节，万向支架组件的下端作为自由端固定安装激光传感器，从而激光传感器既可沿z方向大幅移动，也可沿y方向大幅移动。

19、2、本申请采用船型螺母和适配的标准铝型材以及螺钉(顶丝)实现滑动调节，稳定可靠、操作简便、实现成本较低。

20、3、万向支架组件依托大范围调节平台(连接板基于支杆可竖直滑动、万向支架组件在延长板上安装位置可调)，更有利于实现晶圆搬运设备不同工况的测量。

技术特征：

1.一种重复定位精度检测工装，包括激光传感器(1)，用于实现目标测量；其特征在于，所述重复定位精度检测工装还包括：

2.根据权利要求1所述的重复定位精度检测工装，其特征在于，所述支杆(2)分为第一支杆和第二支杆，第一支杆与第二支杆相互平行；所述连接板(3)的两个端部在同一水平面分别与第一支杆、第二支杆滑动连接；所述延长板(4)连接于连接板(3)的中部。

3.根据权利要求1或2所述的重复定位精度检测工装，其特征在于，所述支杆(2)具有半封闭的滑槽结构(201)，半封闭开口朝向y方向；所述半封闭的滑槽结构(201)内适配安装有滑动件(202)，所述连接板(3)覆盖于支杆(2)的滑动件(202)处，并通过螺钉(203)穿过连接板(3)与滑动件(202)螺纹连接顶紧支杆(2)起到锁定作用。

4.根据权利要求3所述的重复定位精度检测工装，其特征在于，所述滑动件(202)为船型螺母，所述支杆(2)为与所述船型螺母形状尺寸适配的标准铝型材。

5.根据权利要求4所述的重复定位精度检测工装，其特征在于，所述支杆(2)在y方向上的两个端面对称开设有所述半封闭的滑槽结构(201)。

6.根据权利要求1所述的重复定位精度检测工装，其特征在于，所述延长板(4)在y方向上的一端与所述连接板(3)的中部顶端固定连接，另一端悬空；所述沿y方向上位置可调的安装部为延长板(4)沿y方向上依次开设的多个安装接口(401)。

7.根据权利要求1所述的重复定位精度检测工装，其特征在于，所述底座集成有电控箱(6)，所述电控箱(6)内设置有plc(601)和移动电源(602)。

8.根据权利要求7所述的重复定位精度检测工装，其特征在于，所述底座的底面设置有地脚(603)，底座的侧面设置有把手(604)。

技术总结
本申请公开了一种重复定位精度检测工装，以解决现有技术工作区域有限、无法实现多个方位的移动的问题。本申请采用连接板与竖直设置的支杆滑动连接，能够基于支杆沿竖直方向(Z方向)移动并锁定；水平(XY平面)设置的延长板与连接板固定连接，延长板设置有沿Y方向上位置可调的安装部；万向支架组件的上端作为固定端与延长板可拆卸固定连接，可实现Y方向的调节，万向支架组件的下端作为自由端固定安装激光传感器，从而激光传感器既可沿Z方向大幅移动，也可沿Y方向大幅移动。

技术研发人员：刘广齐,刘冬梅,王强,王鑫,杨朋伟
受保护的技术使用者：北京锐洁机器人科技有限公司
技术研发日：20230525
技术公布日：2024/1/15