薄膜式气动传感器、气流处理装置的制作方法

本技术涉及电路领域，具体为一种薄膜式气动传感器、气流处理装置。

背景技术：

1、现有技术中的薄膜式气动传感器主要是通过薄膜与电极芯体之间的静电摩擦产生电荷然后通过检测电荷产生电信号传输给电路模块，比如专利文献cn106136321b公开了一种薄膜式气动传感器，该技术中包括：电极芯体、薄膜及屏蔽层；电极芯体内部具有第一空腔，电极芯体上开设有与第一空腔连通的吸气孔和进气孔；电极芯体的外壁上设置有至少一个凹槽；薄膜覆盖在至少一个凹槽上，薄膜与电极芯体之间形成与凹槽位置对应的至少一个第二空腔；屏蔽层设置在薄膜和电极芯体的外部，屏蔽层不与薄膜和电极芯体接触；其中，第一空腔通过设置在电极芯体内的至少一个通气孔与第二空腔连通；进气孔的孔径小于吸气孔的孔径；电极芯体为薄膜式气动传感器的信号输出端，薄膜能够发生形变并与凹槽的底面接触形成摩擦界面，电极芯体的材料与薄膜的材料的静电序列排序不同。类似的现有技术中存在一定的缺陷，即该技术具有一定使用条件限制，比如，当空气湿度大的时候或受其他因素的干扰，电荷产生可能会不稳定，因为干燥的时候他就容易电荷，比如冬天越干燥越容易产生静电，如果空气湿度大的话不容易产生摩擦的电荷，所以当空气湿度大或者是其他变化环境中这个类似的现有技术产生的电荷不稳定，导致信号传输不稳定，影响使用效果。

技术实现思路

1、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

2、薄膜式气动传感器，包括外壳，所述外壳内固设有吸气管，所述吸气管的一端固设有进气管，所述进气管的管径小于吸气管的管径，所述吸气管的外壁轴向固设有若干条导体，每个导体上均设有一个电阻测试连接点，每两个相邻的导体之间通过第一金属薄膜连接并密封形成一个负压腔，通过第一金属薄膜导通相邻的两个导体，所述吸气管对应每个负压腔设有与吸气管连通的负压管，电阻测试连接点为薄膜式气动传感器的信号输出端。

3、进一步，所述第一金属薄膜的两端分别对应粘附在导体远离负压腔的一端。

4、两个相邻的导体通过第一金属薄膜导通，在没有气流通过时，两个相邻的导体之间的电阻值恒定，当有气流通过时，气流从进气管进入，吸气管对应烟嘴一端吸出气流，负压管与负压腔连通，第一金属薄膜与导体的接触的紧密程度发生变化，两个导体之间的电阻值也会发生对应的变化，通过电连接对应的两个电阻测试连接点获得对应的阻值变化，产生对应的电信号，进一步传输给雾化器。

5、进一步，所述第一金属薄膜下层还设有第二金属薄膜，第二金属薄膜的两端分别对应粘附在导体远离负压腔的一端。

6、两个相邻的导体通过第一金属薄膜和第二金属薄膜导通，在没有气流通过时，两个相邻的导体之间的电阻值恒定，当有气流通过时，气流从进气管进入，吸气管对应烟嘴一端吸出气流，负压管与负压腔连通，第一金属薄膜与导体的接触的紧密程度发生变化，同时，第一金属薄膜和第二金属薄膜接触的紧密程度发生变化，两个导体之间的电阻值也会对应的进一步发生更明显变化，通过电连接对应的两个电阻测试连接点获得对应的阻值变化，产生对应的电信号，进一步传输给雾化器。

7、进一步，所述吸气管对应第二金属薄膜设置有弹簧，所述弹簧与第二金属薄膜抵靠连接。

8、通过弹簧给第二金属薄膜提供支撑，电阻值的变化程度与两层薄膜之间接触的紧密程度相关性更大，提高气流感应的灵敏度。

9、进一步，所述弹簧与第二金属薄膜接触的位置设有绝缘的胶垫，以防止对金属薄膜造成破坏。

10、气流处理装置，包括上述的薄膜式气动传感器。

11、与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

12、本实用新型提供的薄膜式气动传感器通过气流变化引起导体电阻值的变化，从而实现电信号的变化来感测气流，本实用新型提供的薄膜式气动传感器抗干扰能力强，不受环境限制，信号传输稳定，适应性更强。

技术特征：

1.薄膜式气动传感器，其特征在于，包括外壳(100)，所述外壳(100)内固设有吸气管(500)，所述吸气管(500)的一端固设有进气管(400)，所述进气管(400)的管径小于吸气管(500)的管径，所述吸气管(500)的外壁轴向固设有若干条导体(200)，每个导体(200)上均设有一个电阻测试连接点，每两个相邻的导体(200)之间通过第一金属薄膜(300)连接并密封形成一个负压腔，通过第一金属薄膜(300)导通相邻的两个导体(200)，所述吸气管(500)对应每个负压腔设有与吸气管(500)连通的负压管(501)，电阻测试连接点为薄膜式气动传感器的信号输出端。

2.根据权利要求1所述的薄膜式气动传感器，其特征在于，所述第一金属薄膜(300)的两端分别对应粘附在导体(200)远离负压腔的一端。

3.根据权利要求1所述的薄膜式气动传感器，其特征在于，所述第一金属薄膜(300)下层还设有第二金属薄膜(301)，第二金属薄膜(301)的两端分别对应粘附在导体(200)远离负压腔的一端。

4.根据权利要求3所述的薄膜式气动传感器，其特征在于，所述吸气管(500)对应第二金属薄膜(301)设置有弹簧(600)，所述弹簧(600)与第二金属薄膜(301)抵靠连接。

5.根据权利要求4所述的薄膜式气动传感器，其特征在于，所述弹簧(600)与第二金属薄膜(301)接触的位置设有绝缘的胶垫。

6.气流处理装置，其特征在于，包括权利要求1-5任一权利要求所述的薄膜式气动传感器。

技术总结
本技术公开了一种薄膜式气动传感器、气流处理装置，其中，薄膜式气动传感器，包括外壳，所述外壳内固设有吸气管，所述吸气管的一端固设有进气管，所述进气管的管径小于吸气管的管径，所述吸气管的外壁轴向固设有若干条导体，每个导体上均设有一个电阻测试连接点，每两个相邻的导体之间通过第一金属薄膜连接并密封形成一个负压腔，通过第一金属薄膜导通相邻的两个导体，所述吸气管对应每个负压腔设有与吸气管连通的负压管，电阻测试连接点为薄膜式气动传感器的信号输出端。本技术通过气流变化引起导体电阻值的变化，从而实现电信号的变化来感测气流，本技术抗干扰能力强，不受环境限制，信号传输稳定，适应性更强。

技术研发人员：马胜祥,田宇旺,邹一中
受保护的技术使用者：深圳市同跃电子有限公司
技术研发日：20230605
技术公布日：2024/1/15