一种盘体红外温度控制系统的制作方法

文档序号:37168467发布日期:2024-03-01 12:12阅读:17来源:国知局
一种盘体红外温度控制系统的制作方法

本技术涉及机台温度监控领域,特别涉及一种盘体红外温度控制系统。


背景技术:

1、axcelis公司的离子注入设备在进行新产品导入的过程中,产品植入时对温度较为敏感,植入时,若发生冷却异常,axcelis机台无报警机制,波束植入时,晶圆异常升温,会导致晶圆可接受度测试参数变换的问题的出现。

2、因此如何实时监控植入全过程晶圆的温度,必要时系统联动报警,停止植入从而避免损失扩大就成为了急需解决的问题。


技术实现思路

1、为了对机台植入时,晶圆的温度无法进行实时检测的现象进行改善,本实用新型提出了一种盘体红外温度控制系统及其控制方法,本申请在机台上加装红外测温系统并设定报警值,实时温度达到报警值时蜂鸣报警并停止植入,从而实现在温度发生异常时,立刻停机,以免扩大损失,同时也对温度进行了精确量化,实时掌控晶圆温度。

2、根据本实用新型的一个方面,提供一种盘体红外温度控制系统,其包括:

3、红外检测单元,所述红外检测单元用于检测晶圆温度并形成输入信号,设置于处理腔背部盲板的孔位上;

4、控制单元,所述控制单元与所述红外检测单元通信连接,设置为接收输入信号并根据输入信号生成控制指令;

5、输出单元,所述输出单元与所述控制单元通信连接,设置为显示所述红外检测单元检测到的晶圆温度;以及

6、报警单元,所述报警单元与所述控制单元通信连接,设置为基于所述控制指令发出警报信号。

7、根据本实用新型的一个实施例,所述红外检测单元包括红外温度传感器,所述红外温度传感器检测实时温度后将实时温度转换为输入信号。

8、根据本实用新型的一个实施例,所述孔位为背部盲板的下侧孔位。

9、根据本实用新型的一个实施例,所述红外检测单元位于处理腔背部盲板的左上侧。

10、根据本实用新型的一个实施例,所述控制单元内预设温度范围,配置用于判断输入信号是否满足温度范围,若不满足,则控制机台报警并停机。

11、根据本实用新型的一个实施例,所述温度范围为小于等于45℃。

12、根据本实用新型的一个实施例,所述报警单元是灯光报警器、声音报警器、仪表台显示报警器中的至少一种。

13、根据本实用新型的一个实施例,所述控制系统还包括记录仪,所述记录仪用于记录实时温度值和报警情况。

14、由于采用以上技术方案,本实用新型与现有技术相比具有如下优点:本申请在机台上加装红外测温系统并设定报警值,实时温度达到报警值时蜂鸣报警并停止植入,收值并实现spc管控,从而实现了实时检测晶圆温度,更好的掌控植入进度,进而使产品质量得到提升,温度高于报警值时停止植入,避免扩大损失。本申请的结构简单易实现,不会增加过多的成本,经济效益高。



技术特征:

1.一种盘体红外温度控制系统,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的盘体红外温度控制系统,其特征在于,所述红外检测单元包括红外温度传感器,所述红外温度传感器检测实时温度后将实时温度转换为输入信号。

3.根据权利要求1所述的盘体红外温度控制系统,其特征在于,红外检测单元位于处理腔背部盲板的左上侧。

4.根据权利要求1所述的盘体红外温度控制系统,其特征在于,所述控制单元内预设温度范围,配置用于判断输入信号是否满足温度范围,若不满足,则控制机台报警并停机。

5.根据权利要求1所述的盘体红外温度控制系统,其特征在于,所述温度范围为小于等于45℃。

6.根据权利要求1所述的盘体红外温度控制系统,其特征在于,所述报警单元是灯光报警器、声音报警器、仪表台显示报警器中的至少一种。

7.根据权利要求1所述的盘体红外温度控制系统,其特征在于,所述控制系统还包括记录仪,所述记录仪用于记录实时温度值和报警情况。


技术总结
本技术公开了一种盘体红外温度控制系统,其包括:红外检测单元,所述红外检测单元用于检测晶圆温度并形成输入信号,设置于处理腔盲板孔位上;控制单元,所述控制单元与所述红外检测单元通信连接,设置为接收输入信号并生成控制指令;输出单元,所述输出单元与所述控制单元通信连接,设置为显示所述红外检测单元检测到的晶圆温度;以及报警单元,所述报警单元与所述控制单元通信连接,设置为基于所述控制指令发出警报信号。本技术新增了红外测温系统,该系统能够实时监控植入过程晶圆的温度,必要时系统联动报警并停止植入,对温度进行量化,相比于温度试纸的结果更为精确;控制温度以提前发现机台盘体故障,避免了整批产品报废,提高了经济效益。

技术研发人员:张建圣,张磊,吴建璋,何伟
受保护的技术使用者:和舰芯片制造(苏州)股份有限公司
技术研发日:20230619
技术公布日:2024/2/29
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