本技术涉及机台温度监控领域,特别涉及一种盘体红外温度控制系统。
背景技术:
1、axcelis公司的离子注入设备在进行新产品导入的过程中,产品植入时对温度较为敏感,植入时,若发生冷却异常,axcelis机台无报警机制,波束植入时,晶圆异常升温,会导致晶圆可接受度测试参数变换的问题的出现。
2、因此如何实时监控植入全过程晶圆的温度,必要时系统联动报警,停止植入从而避免损失扩大就成为了急需解决的问题。
技术实现思路
1、为了对机台植入时,晶圆的温度无法进行实时检测的现象进行改善,本实用新型提出了一种盘体红外温度控制系统及其控制方法,本申请在机台上加装红外测温系统并设定报警值,实时温度达到报警值时蜂鸣报警并停止植入,从而实现在温度发生异常时,立刻停机,以免扩大损失,同时也对温度进行了精确量化,实时掌控晶圆温度。
2、根据本实用新型的一个方面,提供一种盘体红外温度控制系统,其包括:
3、红外检测单元,所述红外检测单元用于检测晶圆温度并形成输入信号,设置于处理腔背部盲板的孔位上;
4、控制单元,所述控制单元与所述红外检测单元通信连接,设置为接收输入信号并根据输入信号生成控制指令;
5、输出单元,所述输出单元与所述控制单元通信连接,设置为显示所述红外检测单元检测到的晶圆温度;以及
6、报警单元,所述报警单元与所述控制单元通信连接,设置为基于所述控制指令发出警报信号。
7、根据本实用新型的一个实施例,所述红外检测单元包括红外温度传感器,所述红外温度传感器检测实时温度后将实时温度转换为输入信号。
8、根据本实用新型的一个实施例,所述孔位为背部盲板的下侧孔位。
9、根据本实用新型的一个实施例,所述红外检测单元位于处理腔背部盲板的左上侧。
10、根据本实用新型的一个实施例,所述控制单元内预设温度范围,配置用于判断输入信号是否满足温度范围,若不满足,则控制机台报警并停机。
11、根据本实用新型的一个实施例,所述温度范围为小于等于45℃。
12、根据本实用新型的一个实施例,所述报警单元是灯光报警器、声音报警器、仪表台显示报警器中的至少一种。
13、根据本实用新型的一个实施例,所述控制系统还包括记录仪,所述记录仪用于记录实时温度值和报警情况。
14、由于采用以上技术方案,本实用新型与现有技术相比具有如下优点:本申请在机台上加装红外测温系统并设定报警值,实时温度达到报警值时蜂鸣报警并停止植入,收值并实现spc管控,从而实现了实时检测晶圆温度,更好的掌控植入进度,进而使产品质量得到提升,温度高于报警值时停止植入,避免扩大损失。本申请的结构简单易实现,不会增加过多的成本,经济效益高。
1.一种盘体红外温度控制系统,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的盘体红外温度控制系统,其特征在于,所述红外检测单元包括红外温度传感器,所述红外温度传感器检测实时温度后将实时温度转换为输入信号。
3.根据权利要求1所述的盘体红外温度控制系统,其特征在于,红外检测单元位于处理腔背部盲板的左上侧。
4.根据权利要求1所述的盘体红外温度控制系统,其特征在于,所述控制单元内预设温度范围,配置用于判断输入信号是否满足温度范围,若不满足,则控制机台报警并停机。
5.根据权利要求1所述的盘体红外温度控制系统,其特征在于,所述温度范围为小于等于45℃。
6.根据权利要求1所述的盘体红外温度控制系统,其特征在于,所述报警单元是灯光报警器、声音报警器、仪表台显示报警器中的至少一种。
7.根据权利要求1所述的盘体红外温度控制系统,其特征在于,所述控制系统还包括记录仪,所述记录仪用于记录实时温度值和报警情况。