一种掩膜板异物检测装置的制作方法

本技术涉及掩膜板检测，具体为一种掩膜板异物检测装置。

背景技术：

1、掩膜板在制造过程中会在表面上形成瑕疵或者残留异物，使蒸镀的时候会形成彩斑异常，严重影响掩膜板的质量。现有技术中一般采用悬空测试对掩膜板表面瑕疵和异物进行检测，将掩膜板置于检测头的下端，并悬浮于半空，利用光源照射掩膜板，用于观察掩膜板表面情况。悬空测试时，掩膜板离光源和背景板有一定尺寸限制，且需要不停转动掩膜板的角度和调节位置，现在一般为手持掩膜板进行检测，长时间的手持容易造成人员疲劳，且人员手动调节不灵敏，影响观察效果。

技术实现思路

1、本实用新型所解决的技术问题在于提供一种可以夹持住掩膜板进行活动调节的检测装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

2、本实用新型所解决的技术问题采用以下技术方案来实现：一种掩膜板异物检测装置，包括底板及安装在底板上的光源组件和夹持组件，所述光源组件包括底座及安装在底座上的调节杆件、夹持安装在调节杆件上端的检测灯，所述夹持组件包括背景板及安装在背景板上端的第一夹座和第二夹座，第一夹座上转动安装有第一夹板，第二夹座上弹性滑动安装有第二夹板，以通过第一夹板和第二夹板相互夹持固定住掩膜板，所述背景板的下端设有位移组件，以调节掩膜板的位置，便于对掩膜板进行观察检测。

3、作为本实用新型进一步方案：所述第一夹板的一侧通过第一转轴转动安装在第一夹座上端，第一转轴位于第一夹座内安装有定位齿轮，所述第一夹座内对应定位齿轮设有定位卡件，以防止第一转轴在无人员驱动下转动，第一转轴的外端固定安装有杆柄，以便于人员驱动转轴旋转。

4、作为本实用新型进一步方案：所述定位卡件包括与定位齿轮卡接的卡齿及用于带动卡齿移动的导杆，所述导杆滑动安装在定位板对应的导套上，导杆的外端套设有第一弹簧，第一弹簧的一端抵住卡齿，另一端抵住导套，从而弹性驱动卡齿向下移动，所述卡齿的下端两侧为倾斜的坡面，以便于人员驱动第一转轴旋转，利用定位齿轮推动卡齿向上移动，使无外界人员驱动的情况下，第一转轴通过定位卡件进行定位，保持掩膜板放置的稳定性。

5、作为本实用新型进一步方案：所述第二夹板通过第二转轴滑动安装在第二夹座的转筒内，所述转筒转动安装在第二夹座上，第二转轴外端套设有第二弹簧，第二弹簧的一侧抵住第二夹板，另一侧抵住转筒，使第二夹板向外伸出，以配合第一夹板夹持固定住掩膜板，第二转轴远离第二夹板的一侧设有拉柄，便于人员拉动第二转轴，从而取下掩膜板。

6、作为本实用新型进一步方案：所述背景板的一侧固定设有推柄，以便于人员控制背景板在位移组件上横向和竖向调节移动。

7、作为本实用新型进一步方案：所述位移组件包括位移板及固定安装在位移板上端两侧的第一导轨，所述背景板的下端设有滑动安装在第一导轨上的第一滑块，以驱动背景板前后移动，所述底板的上端并列设有第二导轨，所述位移板的下端设有滑动安装在第二导轨上的第二滑块，以驱动背景板左右移动。

8、作为本实用新型进一步方案：所述调节杆件包括转动安装在底座上的升降杆，所述升降杆上端转动安装有夹框，夹框用于夹持固定住检测灯。

9、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：人员拉动拉柄，将第二夹板向外拉动，利用第一夹板和第二夹板夹持固定住掩膜板，第一夹板和第二夹板可以为圆形结构，从而不用调节第二夹板旋转的角度，方便快速对掩膜板进行夹持。检测时，人员可以通过杆柄调节掩膜板转动的角度，通过拉柄调节掩膜板的位置，从而便于对掩膜板进行全方位的观察检测，提高检测效果，也减轻人员检测的工作强度。定位卡件通过弹性设置的卡齿卡接固定住定位齿轮，使转轴在无外界人员驱动的情况下，保持掩膜板放置的稳定性，在有外力驱动下，定位齿轮通过卡齿的坡面推动卡齿向上移动，并脱离定位齿轮的齿槽，使定位齿轮可以转动调节。

技术特征：

1.一种掩膜板异物检测装置，包括底板及安装在底板上的光源组件和夹持组件，其特征在于：所述光源组件包括底座及安装在底座上的调节杆件、夹持安装在调节杆件上端的检测灯，所述夹持组件包括背景板及安装在背景板上端的第一夹座和第二夹座，第一夹座上转动安装有第一夹板，第二夹座上弹性滑动安装有第二夹板，以通过第一夹板和第二夹板相互夹持固定住掩膜板，所述背景板的下端设有位移组件，以调节掩膜板的位置。

2.根据权利要求1所述的一种掩膜板异物检测装置，其特征在于：所述第一夹板的一侧通过第一转轴转动安装在第一夹座上端，第一转轴位于第一夹座内安装有定位齿轮，所述第一夹座内对应定位齿轮设有定位卡件，以防止第一转轴在无人员驱动下转动，第一转轴的外端固定安装有杆柄。

3.根据权利要求2所述的一种掩膜板异物检测装置，其特征在于：所述定位卡件包括与定位齿轮卡接的卡齿及用于带动卡齿移动的导杆，所述导杆滑动安装在定位板对应的导套上，导杆的外端套设有第一弹簧，第一弹簧的一端抵住卡齿，另一端抵住导套，从而弹性驱动卡齿向下移动，所述卡齿的下端两侧为倾斜的坡面。

4.根据权利要求3所述的一种掩膜板异物检测装置，其特征在于：所述第二夹板通过第二转轴滑动安装在第二夹座的转筒内，所述转筒转动安装在第二夹座上，第二转轴外端套设有第二弹簧，第二弹簧的一侧抵住第二夹板，另一侧抵住转筒，使第二夹板向外伸出，以配合第一夹板夹持固定住掩膜板，第二转轴远离第二夹板的一侧设有拉柄。

5.根据权利要求1所述的一种掩膜板异物检测装置，其特征在于：所述背景板的一侧固定设有推柄，以便于人员控制背景板在位移组件上横向和竖向调节移动。

6.根据权利要求5所述的一种掩膜板异物检测装置，其特征在于：所述位移组件包括位移板及固定安装在位移板上端两侧的第一导轨，所述背景板的下端设有滑动安装在第一导轨上的第一滑块，以驱动背景板前后移动，所述底板的上端并列设有第二导轨，所述位移板的下端设有滑动安装在第二导轨上的第二滑块，以驱动背景板左右移动。

7.根据权利要求1所述的一种掩膜板异物检测装置，其特征在于：所述调节杆件包括转动安装在底座上的升降杆，所述升降杆上端转动安装有夹框，夹框用于夹持固定住检测灯。

技术总结
本技术提供一种掩膜板异物检测装置，包括底板及安装在底板上的光源组件和夹持组件，所述光源组件包括底座及安装在底座上的调节杆件、夹持安装在调节杆件上端的检测灯，所述夹持组件包括背景板及安装在背景板上端的第一夹座和第二夹座，第一夹座上转动安装有第一夹板，第二夹座上弹性滑动安装有第二夹板。人员拉动拉柄，将第二夹板向外拉动，利用第一夹板和第二夹板夹持固定住掩膜板，第一夹板和第二夹板可以为圆形结构，从而不用调节第二夹板旋转的角度，方便快速对掩膜板进行夹持。检测时，人员可以通过杆柄调节掩膜板转动的角度，通过拉柄调节掩膜板的位置，从而便于对掩膜板进行全方位的观察检测，提高检测效果。

技术研发人员：唐军
受保护的技术使用者：安徽浚颍光电有限公司
技术研发日：20230626
技术公布日：2024/1/15