激光干涉仪测量系统的制作方法

本技术涉及激光测量，具体而言，涉及一种激光干涉仪测量系统。

背景技术：

1、随着信息科学半导体技术的发展和需求，对半导体设备的要求越来越高，尤其是真空和精度要求。半导体产业离不开真空技术，因在高真空环境下,洁净度高、水蒸气很少，对零部件的污染较小。另一方面为了制造和检查精细图案，必须将晶片精确地移动到所需位置。通常采用激光长度测量装置作为确认晶片是否已经移动到期望位置的装置。

2、为避免激光脱气及其热量、磁性对真空室内器件的影响，真空激光干涉仪系统往往部分设置在真空室内，部分设置在真空室外。当前为保证较稳定的光路，往往会把部分器件设置在真空室内，真空激光干涉仪系统各部件处于真空室内和真空室外两个环境，两个环境均存在振动影响，需要进行不同的处理。即使在相同环境，由于各器件固定方式的不同，振动还是会对各部件产生不同的影响，需要进行不同的处理，故系统设置起来相当繁琐。

技术实现思路

1、本实用新型的主要目的在于提供一种激光干涉仪测量系统，能够使得真空室外部的部件和真空室内部的部件均处于相同的振动环境中，避免了不同固定方式受振动产生不同的影响，降低了调试难度和后期数据处理的难度。

2、为了实现上述目的，根据本实用新型的一方面，提供了一种激光干涉仪测量系统，包括：

3、激光器模块，激光器模块包括激光头和激光发射部；

4、干涉仪模块，干涉仪模块包括干涉仪、视窗法兰、转接板和激光接收部；

5、反射镜模块；

6、真空室，反射镜模块设置于真空室内且至少部分设置在位移台上，视窗法兰安装在真空室的侧壁上，转接板位于真空室外，转接板安装在视窗法兰上，激光发射部和激光接收部均安装于转接板上，干涉仪设置于视窗法兰和反射镜模块之间。

7、进一步地，转接板包括柔性部，转接板通过柔性部连接在视窗法兰上。

8、进一步地，真空室安装视窗法兰的侧壁上设置有隔振装置，隔振装置位于视窗法兰与真空室的底部之间。

9、进一步地，真空室与地面之间设置有减振装置；和/或，位移台与真空室的底部之间设置有减振装置。

10、进一步地，干涉仪吊装于真空室的顶部。

11、进一步地，真空室的顶部设置有支撑支架和吊顶平台，吊顶平台通过支撑支架吊装在真空室的顶部，干涉仪吊装在吊顶平台的底部。

12、进一步地，支撑支架包括减振部和/或调节装置，调节装置被构造为调整吊顶平台的初始姿态。

13、进一步地，激光器模块还包括光纤连接部，光纤连接部位于激光头和激光发射部之间，并通过光纤与激光发射部连接，以将激光头发射的激光束传输至激光发射部。

14、进一步地，光纤连接部、激光发射部、干涉仪模块和反射镜模块为多套且一一对应设置，激光器模块还包括导光件，激光头发射的激光束经导光件改变光路传输方向后分别传输给各光纤连接部。

15、进一步地，激光发射部、干涉仪模块和反射镜模块为多套且一一对应设置，激光器模块还包括分光镜，分光镜设置在激光头与激光发射部之间，激光头发射的激光束经分光镜改变光路传播方向并分别传输至各激光发射部，激光头和分光镜的底部均设置有减振部件。

16、进一步地，激光器模块还包括底板，激光头安装在底板上。

17、应用本实用新型的技术方案，在视窗法兰的外部增设转接板，使得激光发射部和激光接收部均能够安装在转接板上，从而将激光发射部和激光接收部这些主要部件全部固定在一个转接板上，进而通过转接板固定在位于真空室侧壁的视窗法兰上，使得原本固定在地面上的部件也固定在了真空室的侧壁上，减少了地面对各部件的影响，使真空室外部的部件与真空室内部的部件均与真空室相对固定，处于相同的振动环境中，避免了不同固定方式受振动产生不同的影响，降低了调试难度和后期数据处理的难度。

技术特征：

1.一种激光干涉仪测量系统，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的激光干涉仪测量系统，其特征在于，所述转接板(23)包括柔性部，所述转接板(23)通过所述柔性部连接在所述视窗法兰(22)上。

3.根据权利要求1所述的激光干涉仪测量系统，其特征在于，所述真空室(4)安装所述视窗法兰(22)的侧壁上设置有隔振装置(43)，所述隔振装置(43)位于所述视窗法兰(22)与所述真空室(4)的底部之间。

4.根据权利要求3所述的激光干涉仪测量系统，其特征在于，所述真空室(4)与地面之间设置有减振装置；和/或，所述位移台与所述真空室(4)的底部之间设置有减振装置。

5.根据权利要求1所述的激光干涉仪测量系统，其特征在于，所述干涉仪(21)吊装于所述真空室(4)的顶部。

6.根据权利要求5所述的激光干涉仪测量系统，其特征在于，所述真空室(4)的顶部设置有支撑支架(42)和吊顶平台(41)，所述吊顶平台(41)通过所述支撑支架(42)吊装在所述真空室(4)的顶部，所述干涉仪(21)吊装在所述吊顶平台(41)的底部。

7.根据权利要求6所述的激光干涉仪测量系统，其特征在于，所述支撑支架(42)包括减振部(421)和/或调节装置(422)，所述调节装置(422)被构造为调整所述吊顶平台(41)的初始姿态。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的激光干涉仪测量系统，其特征在于，所述激光器模块(1)还包括光纤连接部(12)，所述光纤连接部(12)位于所述激光头(11)和所述激光发射部(14)之间，并通过光纤(13)与所述激光发射部(14)连接，以将所述激光头(11)发射的激光束传输至所述激光发射部(14)。

9.根据权利要求8所述的激光干涉仪测量系统，其特征在于，所述光纤连接部(12)、激光发射部(14)、所述干涉仪模块(2)和所述反射镜模块(3)为多套且一一对应设置，所述激光器模块(1)还包括导光件(16)，所述激光头(11)发射的激光束经所述导光件(16)改变光路传输方向后分别传输给各所述光纤连接部(12)。

10.根据权利要求1至7中任一项所述的激光干涉仪测量系统，其特征在于，所述激光发射部(14)、所述干涉仪模块(2)和所述反射镜模块(3)为多套且一一对应设置，所述激光器模块(1)还包括分光镜(17)，所述分光镜(17)设置在所述激光头(11)与所述激光发射部(14)之间，所述激光头(11)发射的激光束经所述分光镜(17)改变光路传播方向并分别传输至各所述激光发射部(14)，所述激光头(11)和所述分光镜(17)的底部均设置有减振部(421)件。

11.根据权利要求1至7中任一项所述的激光干涉仪测量系统，其特征在于，所述激光器模块(1)还包括底板(15)，所述激光头(11)安装在所述底板(15)上。

技术总结
本技术提供了一种激光干涉仪测量系统。该激光干涉仪测量系统包括：激光器模块，激光器模块包括激光头和激光发射部；干涉仪模块，干涉仪模块包括干涉仪、视窗法兰、转接板和激光接收部；反射镜模块；真空室，反射镜模块设置于真空室内且至少部分设置在位移台上，视窗法兰安装在真空室的侧壁上，转接板位于真空室外，转接板安装在视窗法兰上，激光发射部和激光接收部均安装于转接板上，干涉仪设置于视窗法兰和反射镜模块之间。根据本技术的激光干涉仪测量系统，能够使得真空室外部的部件和真空室内部的部件均处于相同的振动环境中，避免了不同固定方式受振动产生不同的影响，降低了调试难度和后期数据处理的难度。

技术研发人员：张晨,江旭初
受保护的技术使用者：上海隐冠半导体技术有限公司
技术研发日：20230628
技术公布日：2024/1/5