一种复杂结构轮廓度及垂直度扫描检测的装置的制作方法

本技术涉及半导体生产设备，具体为一种复杂结构轮廓度及垂直度扫描检测的装置。

背景技术：

1、半导体是指一种导电性可受控制，范围可从绝缘体至导体之间的材料。在科技和经济发展中有着重要的作用，对于半导体的检测是其生产环节的重要组成部分，中国专利公开一种绿色陶瓷生产用质量检测装置（专利号：202120417974.5），包括底座，所述底座的底部固定连接有支腿，所述底座的顶部固定连接有检测箱，所述检测箱的顶部固定连接有水箱，所述水箱的一侧固定连接有入水管，所述水箱的顶部固定连接有水泵，所述水泵的进水口固定连接有进水管。但是其检测维度有限，不能复杂结构轮廓度及垂直度扫描检测。

技术实现思路

1、本实用新型所解决的技术问题在于提供一种复杂结构轮廓度及垂直度扫描检测的装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

2、本实用新型所解决的技术问题采用以下技术方案来实现：一种复杂结构轮廓度及垂直度扫描检测的装置，包括：检测设备支撑框架，所述检测设备支撑框架中部设有检测支撑平台，所述检测设备支撑框架下端设有若干移动支撑垫脚，所述检测支撑平台上设有半导体检测支撑平台，所述半导体检测支撑平台下侧的检测支撑平台上设有半导体轮廓扫描检测设备，所述半导体轮廓扫描检测设备一侧的检测支撑平台上设有垂直度扫描检测设备，所述半导体检测支撑平台包括产品固定夹具，所述产品固定夹具上端安装在旋转驱动电机的输出端上，所述旋转驱动电机的壳体通过电机固定板安装在高度调整支架上，所述高度调整支架通过固定螺栓安装在支撑立柱的上端，所述支撑立柱的下端固定安装在检测支撑平台上。

3、进一步地，所述垂直度扫描检测设备包括扫描支撑底座，所述扫描支撑底座上侧设有设备安装支架，所述设备安装支架一侧设有垂直度检测端头安装座，所述垂直度检测端头安装座安装在移动调节板上，所述移动调节板下端安装在调节驱动板上，所述调节驱动板安装在调节驱动气缸的输出端上，所述调节驱动气缸的缸体安装在设备安装支架上。

4、进一步地，所述移动调节板上设有调节导向孔，所述调节导向孔内设有调节导向杆，所述调节导向杆两端通过导向杆固定板安装在设备安装支架上。

5、进一步地，所述半导体轮廓扫描检测设备包括轮廓扫描端头安装座，所述轮廓扫描端头安装座安装在升降调节气缸ii的输出端上，所述升降调节气缸ii的缸体通过气缸固定座ii安装在设备安装立板ii上，所述设备安装立板ii下端通过调节支撑底座安装在检测支撑平台上。

6、进一步地，所述调节支撑底座包括上支撑板、下支撑板，所述上支撑板一端安装在调节驱动板ii上，所述调节驱动板ii安装在调节驱动气缸ii的输出端上，所述调节驱动气缸ii的缸体通过气缸固定板ii安装在下支撑板上。

7、进一步地，所述上支撑板、下支撑板之间设有调节导向装置，所述调节导向装置包括调节导向滑轨，所述调节导向滑轨上设有若干调节导向滑块，所述调节导向滑轨固定安装在下支撑板上，所述调节导向滑块固定安装在上支撑板上。

8、进一步地，所述移动支撑垫脚包括移动支撑轮，所述移动支撑轮安装在支撑轮安装座上，所述支撑轮安装座上端通过旋转支撑座安装在支撑固定板上，所述支撑固定板安装在检测设备支撑框架上。

9、进一步地，所述移动支撑轮一侧设有支撑垫板，所述支撑垫板上端通过双头调节螺栓安装在垫板固定板上，所述垫板固定板安装在支撑轮安装座上。

10、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型不仅可以实现复杂结构半导体的轮廓度及垂直度扫描检测，而且，可以根据不同的需求调整扫描位置，以适应不同型号的产品，提高设备适用范围，降低生产成本。

技术特征：

1.一种复杂结构轮廓度及垂直度扫描检测的装置，包括：检测设备支撑框架(1)，所述检测设备支撑框架(1)中部设有检测支撑平台(2)，所述检测设备支撑框架(1)下端设有若干移动支撑垫脚(3)，其特征在于：所述检测支撑平台(2)上设有半导体检测支撑平台(6)，所述半导体检测支撑平台(6)下侧的检测支撑平台(2)上设有半导体轮廓扫描检测设备(5)，所述半导体轮廓扫描检测设备(5)一侧的检测支撑平台(2)上设有垂直度扫描检测设备(4)，所述半导体检测支撑平台(6)包括产品固定夹具(61)，所述产品固定夹具(61)上端安装在旋转驱动电机(62)的输出端上，所述旋转驱动电机(62)的壳体通过电机固定板(63)安装在高度调整支架(64)上，所述高度调整支架(64)通过固定螺栓安装在支撑立柱(65)的上端，所述支撑立柱(65)的下端固定安装在检测支撑平台(2)上。

2.根据权利要求1所述的一种复杂结构轮廓度及垂直度扫描检测的装置，其特征在于：所述垂直度扫描检测设备(4)包括扫描支撑底座(41)，所述扫描支撑底座(41)上侧设有设备安装支架(42)，所述设备安装支架(42)一侧设有垂直度检测端头安装座(48)，所述垂直度检测端头安装座(48)安装在移动调节板(45)上，所述移动调节板(45)下端安装在调节驱动板(44)上，所述调节驱动板(44)安装在调节驱动气缸(43)的输出端上，所述调节驱动气缸(43)的缸体安装在设备安装支架(42)上。

3.根据权利要求2所述的一种复杂结构轮廓度及垂直度扫描检测的装置，其特征在于：所述移动调节板(45)上设有调节导向孔，所述调节导向孔内设有调节导向杆(46)，所述调节导向杆(46)两端通过导向杆固定板(47)安装在设备安装支架(42)上。

4.根据权利要求1所述的一种复杂结构轮廓度及垂直度扫描检测的装置，其特征在于：所述半导体轮廓扫描检测设备(5)包括轮廓扫描端头安装座(57)，所述轮廓扫描端头安装座(57)安装在升降调节气缸ii(58)的输出端上，所述升降调节气缸ii(58)的缸体通过气缸固定座ii(59)安装在设备安装立板ii(56)上，所述设备安装立板ii(56)下端通过调节支撑底座安装在检测支撑平台(2)上。

5.根据权利要求4所述的一种复杂结构轮廓度及垂直度扫描检测的装置，其特征在于：所述调节支撑底座包括上支撑板(52)、下支撑板(51)，所述上支撑板(52)一端安装在调节驱动板ii(53)上，所述调节驱动板ii(53)安装在调节驱动气缸ii(54)的输出端上，所述调节驱动气缸ii(54)的缸体通过气缸固定板ii(55)安装在下支撑板(51)上。

6.根据权利要求5所述的一种复杂结构轮廓度及垂直度扫描检测的装置，其特征在于：所述上支撑板(52)、下支撑板(51)之间设有调节导向装置，所述调节导向装置包括调节导向滑轨(511)，所述调节导向滑轨(511)上设有若干调节导向滑块(510)，所述调节导向滑轨(511)固定安装在下支撑板(51)上，所述调节导向滑块(510)固定安装在上支撑板(52)上。

7.根据权利要求1所述的一种复杂结构轮廓度及垂直度扫描检测的装置，其特征在于：所述移动支撑垫脚(3)包括移动支撑轮(31)，所述移动支撑轮(31)安装在支撑轮安装座(32)上，所述支撑轮安装座(32)上端通过旋转支撑座安装在支撑固定板(33)上，所述支撑固定板(33)安装在检测设备支撑框架(1)上。

8.根据权利要求7所述的一种复杂结构轮廓度及垂直度扫描检测的装置，其特征在于：所述移动支撑轮(31)一侧设有支撑垫板(34)，所述支撑垫板(34)上端通过双头调节螺栓(35)安装在垫板固定板(36)上，所述垫板固定板(36)安装在支撑轮安装座(32)上。

技术总结
本技术提供一种复杂结构轮廓度及垂直度扫描检测的装置，包括：检测设备支撑框架，所述检测设备支撑框架中部设有检测支撑平台，所述检测设备支撑框架下端设有若干移动支撑垫脚，所述检测支撑平台上设有半导体检测支撑平台，所述半导体检测支撑平台下侧的检测支撑平台上设有半导体轮廓扫描检测设备，所述半导体轮廓扫描检测设备一侧的检测支撑平台上设有垂直度扫描检测设备，本技术不仅可以实现复杂结构半导体的轮廓度及垂直度扫描检测，而且，可以根据不同的需求调整扫描位置，以适应不同型号的产品，提高设备适用范围，降低生产成本。

技术研发人员：董睿荣,戴震安,刘盛骏,任武坤
受保护的技术使用者：苏州威孚材料有限公司
技术研发日：20230709
技术公布日：2024/1/25