一种全自动尺寸检测设备的制作方法

本技术涉及产品尺寸检测领域，更具体的，涉及一种全自动尺寸检测设备。

背景技术：

1、目前，尺寸检测已成为3c、新能源、半导体等领域不可缺少的品质管控手段和制程能力检验方式，在新技术层出不穷的当下，ccd视觉检测技术已日益成熟并被普遍应用，在3c领域，多数ccd视觉检测设备为了满足多尺寸高精度的检测要求时，会尽量减少产品的移动和轴系的数量及简化轴系和量测单元的机构等，现有的检测设备无法通过顶部导向组件与底部导向组件分别对顶部检测相机与底部检测相机进行移动，难以同步对治具平台上的晶圆进行顶面与底面进行尺寸检测，检测自动化程度较低，此外，现有的检测设备无法交替对两个治具平台上的晶圆进行检测，检测设备的检测速度较差，检测设备空机运行时间长。

技术实现思路

1、为了解决上述至少一个技术问题，本实用新型提出了一种全自动尺寸检测设备。

2、本实用新型第一方面提供了一种全自动尺寸检测设备，包括：平台以及设置在平台上的顶部导向组件与底部导向组件；

3、所述顶部导向组件上配合连接有顶部检测组件，所述顶部检测组件能够沿顶部导向组件水平滑动；

4、所述平台顶部位于所述顶部导向组件的一侧设置有支撑框架，所述支撑框架顶部设置有产品治具组件，所述支撑框架顶部设置有治具滑轨，所述产品治具组件能够沿所述治具滑轨滑动，所述产品治具组件上设置有晶圆；

5、所述顶部检测组件对晶圆的顶部进行拍照检测；

6、所述底部导向组件设置在所述顶部导向组件的下方，所述底部导向组件上设置有底部检测组件，所述底部检测组件用于对晶圆的底部进行拍照检测。

7、本实用新型一个较佳实施例中，所述顶部导向组件包括固定安装在平台上的两个导向支座，所述导向支座顶部设置有横梁，两个所述导向支座分别固定安装在所述横梁的底部两端，所述横梁顶部设置有顶部导向横轨，所述顶部横向导轨上配合连接有顶部导向滑台，所述顶部导向滑台能够沿顶部导向横轨移动。

8、本实用新型一个较佳实施例中，所述横梁靠近所述支撑框架的一侧设置有顶部导向侧轨，所述顶部导向滑台底部一端连接有顶部导向侧板，所述顶部导向侧板与所述顶部导向滑台垂直设置，所述顶部导向侧板一侧设置有顶部导向安装架，所述顶部检测组件固定安装在顶部导向滑台与顶部导向安装架上。

9、本实用新型一个较佳实施例中，所述横梁顶部位于所述顶部导向横轨的两端均设置有第一减震机构，所述横梁一侧位于所述顶部导向侧轨的两端均设置有第二减震机构，所述顶部导向滑台两侧对称设置有顶部导向限位块。

10、本实用新型一个较佳实施例中，所述顶部检测组件包括两个顶部检测底板，两个所述顶部检测底板并列设置在所述顶部导向滑台与顶部导向安装架上，两个所述顶部检测底板之间设置有间隙，所述顶部检测底板上设置有顶部检测导轨，所述顶部检测导轨上配合连接有顶部检测滑座，所述顶部检测滑座上并列设置有顶部检测立板与顶部检测线排，所述顶部检测立板一侧设置有顶部检测相机。

11、本实用新型一个较佳实施例中，所述顶部检测滑座能够沿所述顶部检测导轨滑动，所述顶部检测滑座滑动过程中带动所述顶部检测相机在两个顶部检测底板之间的间隙内移动，所述顶部检测相机上方设置有顶部检测电机，所述顶部检测电机用于控制所述顶部检测相机沿竖直方向滑动。

12、本实用新型一个较佳实施例中，所述底部导向组件包括并列设置的两个第一底部导向滑轨，所述第一底部导向滑轨固定安装在平台顶部，所述第一底部导向滑轨上配合连接有底部导向铰接座，所述底部导向铰接座能够沿第一底部导向滑轨滑动。

13、本实用新型一个较佳实施例中，所述底部导向铰接座顶部设置有底部导向滑块，所述底部导向滑块为两个，两个所述底部导向滑块分别通过底部导向铰接座配合连接在第一底部导向滑轨上，两个所述底部导向滑块内侧连接有第二底部导向滑轨，所述第二底部导向滑轨上配合连接有底部检测组件。

14、本实用新型一个较佳实施例中，所述底部检测组件包括配合连接在第二底部导向滑轨上的第一底部检测座，所述第一底部检测座一侧设置有第二底部检测座，所述第二底部检测座一侧设置有底部检测相机，所述底部检测相机的顶部设置有底部检测光源。

15、本实用新型一个较佳实施例中，所述支撑框架顶部且位于所述产品治具组件的两侧对称设置有多个治具限位器，所述治具组件包括两个并列设置有治具平台，所述治具平台一端设置有治具滑块，所述治具滑块内侧贯穿设置有治具导向柱，所述治具滑块配合连接在所述治具滑轨上。

16、本实用新型的上述技术方案相比现有技术具有以下优点：

17、本发明通过顶部导向组件与底部导向组件分别对顶部检测相机与底部检测相机进行移动，同步对治具平台上的晶圆进行顶面与底面进行尺寸检测，检测自动化程度较高，且可以交替对两个治具平台上的晶圆进行检测，提高检测设备的检测速度，防止检测设备空机运行，产品量测的速度较快、运动控制难度低，减少设备一次投入成本，自由度高，切换快捷。

技术特征：

1.一种全自动尺寸检测设备，包括：平台以及设置在平台上的顶部导向组件与底部导向组件；其特征在于，

2.根据权利要求1所述的一种全自动尺寸检测设备，其特征在于，所述顶部导向组件包括固定安装在平台上的两个导向支座，所述导向支座顶部设置有横梁，两个所述导向支座分别固定安装在所述横梁的底部两端，所述横梁顶部设置有顶部导向横轨，所述顶部横向导轨上配合连接有顶部导向滑台，所述顶部导向滑台能够沿顶部导向横轨移动。

3.根据权利要求2所述的一种全自动尺寸检测设备，其特征在于，所述横梁靠近所述支撑框架的一侧设置有顶部导向侧轨，所述顶部导向滑台底部一端连接有顶部导向侧板，所述顶部导向侧板与所述顶部导向滑台垂直设置，所述顶部导向侧板一侧设置有顶部导向安装架，所述顶部检测组件固定安装在顶部导向滑台与顶部导向安装架上。

4.根据权利要求3所述的一种全自动尺寸检测设备，其特征在于，所述横梁顶部位于所述顶部导向横轨的两端均设置有第一减震机构，所述横梁一侧位于所述顶部导向侧轨的两端均设置有第二减震机构，所述顶部导向滑台两侧对称设置有顶部导向限位块。

5.根据权利要求4所述的一种全自动尺寸检测设备，其特征在于，所述顶部检测组件包括两个顶部检测底板，两个所述顶部检测底板并列设置在所述顶部导向滑台与顶部导向安装架上，两个所述顶部检测底板之间设置有间隙，所述顶部检测底板上设置有顶部检测导轨，所述顶部检测导轨上配合连接有顶部检测滑座，所述顶部检测滑座上并列设置有顶部检测立板与顶部检测线排，所述顶部检测立板一侧设置有顶部检测相机。

6.根据权利要求5所述的一种全自动尺寸检测设备，其特征在于，所述顶部检测滑座能够沿所述顶部检测导轨滑动，所述顶部检测滑座滑动过程中带动所述顶部检测相机在两个顶部检测底板之间的间隙内移动，所述顶部检测相机上方设置有顶部检测电机，所述顶部检测电机用于控制所述顶部检测相机沿竖直方向滑动。

7.根据权利要求6所述的一种全自动尺寸检测设备，其特征在于，所述底部导向组件包括并列设置的两个第一底部导向滑轨，所述第一底部导向滑轨固定安装在平台顶部，所述第一底部导向滑轨上配合连接有底部导向铰接座，所述底部导向铰接座能够沿第一底部导向滑轨滑动。

8.根据权利要求7所述的一种全自动尺寸检测设备，其特征在于，所述底部导向铰接座顶部设置有底部导向滑块，所述底部导向滑块为两个，两个所述底部导向滑块分别通过底部导向铰接座配合连接在第一底部导向滑轨上，两个所述底部导向滑块内侧连接有第二底部导向滑轨，所述第二底部导向滑轨上配合连接有底部检测组件。

9.根据权利要求8所述的一种全自动尺寸检测设备，其特征在于，所述底部检测组件包括配合连接在第二底部导向滑轨上的第一底部检测座，所述第一底部检测座一侧设置有第二底部检测座，所述第二底部检测座一侧设置有底部检测相机，所述底部检测相机的顶部设置有底部检测光源。

10.根据权利要求9所述的一种全自动尺寸检测设备，其特征在于，所述支撑框架顶部且位于所述产品治具组件的两侧对称设置有多个治具限位器，所述治具组件包括两个并列设置有治具平台，所述治具平台一端设置有治具滑块，所述治具滑块内侧贯穿设置有治具导向柱，所述治具滑块配合连接在所述治具滑轨上。

技术总结
本技术公开的一种全自动尺寸检测设备，包括平台以及设置在平台上的顶部导向组件与底部导向组件；顶部导向组件上配合连接有顶部检测组件，顶部检测组件能够沿顶部导向组件水平滑动；平台顶部位于顶部导向组件的一侧设置有支撑框架，支撑框架顶部设置有产品治具组件，支撑框架顶部设置有治具滑轨，产品治具组件能够沿治具滑轨滑动，产品治具组件上设置有晶圆；顶部检测组件对晶圆的顶部进行拍照检测；底部导向组件设置在顶部导向组件的下方，底部导向组件上设置有底部检测组件，底部检测组件用于对晶圆的底部进行拍照检测。

技术研发人员：刘曜轩,马纪飞,赵洪,巩宏昌
受保护的技术使用者：苏州威达智科技股份有限公司
技术研发日：20230710
技术公布日：2024/2/19