一种整盘基片表面疵病检测工装的制作方法

本技术属于抛光零件表面疵病的检测，涉及一种整盘基片表面疵病检测工装。

背景技术：

1、激光陀螺仪主要是基于sagnac效应测量转动角度的精密光学仪器，其核心是一种由多个高反射膜片、玻璃腔体和阴阳极等构成的密封环形谐振腔。谐振腔内充有一定比例的高纯度氦氖气体，通过阴极和阳极间高压放电，击穿气体形成激光。

2、反射膜片(以下统称“基片”)根据使用区域分为光胶区和膜区。光胶区即通过分子间作用力将膜片与谐振腔贴合光胶的区域，其抛光质量的好坏直接影响谐振腔的密封可靠性。膜区即镀膜区域，用于改变激光光路方向，其抛光质量的好坏直接影响镀膜质量以及谐振腔的非均匀损耗，从而影响激光陀螺的闭锁效应。因此不论是光胶区还是膜区均需要有较高的抛光质量。疵病是基片抛光质量好坏的衡量指标之一，通常包含划道、麻点、刷印、坑点等。

3、目前刷印用散射显微镜检验，检验准确率较高，而划道、坑点等用体式显微镜检验，在浅划道、极小坑点方面按现有检验方法很难看出，只有在后期将基片光胶至陀螺后，甚至到陀螺老化后才能检出浅细划道，故存在基片检验准确率低的问题，从而导致陀螺返修率偏高，不仅降低了生产效率，还造成一次性零件的浪费，如电极、弹簧架等。因此提高基片检验准确率很有必要。

4、现有的基片疵病通常采用单片基片检测工装，工装平放于显微镜平台上，通过侧光与垂直光进行检测。经过该方法检验合格的基片在光胶至陀螺上后或陀螺老化后多次发现光胶区有细划道，经确认该划道位于基片上。故该检验方法存在浅细划道难以检出的问题。其次，检测时需要对基片进行角度调节，单片基片检测若直接采用原有工装，需手工扶持调节角度，不仅角度不能固定，而且每片均需要调节，检测效率低。而整盘基片目前并未发现存在检测工装。

技术实现思路

1、本实用新型解决的技术问题是：克服现有技术的不足，提出一种整盘基片表面疵病检测工装，解决现有基片浅细划道难以检出的问题，以及单片基片检测效率低的问题，提高基片疵病检测准确率和效率。

2、本实用新型解决技术的方案是：一种整盘基片表面疵病检测工装，包括蜗轮、蜗杆、连接轴、一对转动支撑杆、托盘、托盘连接杆、滑动杆、底座，整盘基片放置在托盘上；

3、蜗杆的两端穿过底座并安装在底座的下端；

4、蜗轮与蜗杆啮合，且与连接轴同轴连接；

5、连接轴的两端穿过底座并固定在底座的中间，连接轴的轴线与蜗杆的轴线垂直；

6、一对转动支撑杆的下端分别固连在连接轴的两端，一对转动支撑杆的上端支撑托盘的下端面，且与托盘成预设夹角；

7、滑动杆穿过托盘下端面设置的安装块与一对转动支撑杆之间滑动连接，保证托盘跟随转动支撑杆同步转动；

8、托盘连接杆的两端设置在底座的上端，与托盘下端面中心通过键槽连接，提供托盘翻转的支撑点；

9、蜗杆转动时带动蜗轮转动，蜗轮带动连接轴转动，进而带动一对转动支撑杆转动、滑动杆滑动，同时带动托盘连接杆转动，使托盘翻转。

10、进一步的，滑动杆穿过托盘下端面设置的安装块与一对转动支撑杆之间滑动连接，具体为：托盘的下端面在转动支撑杆对应位置处设有两个安装块，每个安装块设有第一开槽，第一开槽沿安装块横向开设；每个转动支撑杆的上端设有第二开槽，第二开槽沿转动支撑杆上端向下端延伸；当托盘处于水平状态时，滑动杆穿过每个安装块第一开槽的第一端和每个转动支撑杆第二开槽的上端；当转动支撑杆随连接轴转动时，滑动杆沿第二开槽向第二开槽的下端滑动，同时沿第一开槽向第一开槽的第二端滑动，使转动支撑杆与托盘之间的夹角发生变化，使托盘连接杆转动，托盘连接杆与托盘键槽连接，带动托盘翻转。

11、进一步的，还包括摇杆，摇杆与蜗杆的第一端同轴连接，摇动摇杆带动蜗杆转动。

12、进一步的，底座的底部为固定端，固定端截面尺寸大于底座主体截面尺寸。

13、进一步的，还包括限位螺母，限位螺母设置在蜗杆的第二端，与蜗杆螺纹连接，且与底座的固定端在竖直方向贴合，用于限制蜗杆的回转，阻止托盘在待测基片的重力作用下回归水平位置。

14、进一步的，还包括压板，压板设置在底座的底部，用于底座在检测设备上的固定。

15、进一步的，连接轴与蜗轮的同轴度≤0.01mm。

16、进一步的，托盘采用铝材质。

17、进一步的，蜗轮和蜗杆的安装孔位置公差在-0.01～0.01mm内。

18、本实用新型与现有技术相比的有益效果是：

19、本实用新型通过设计整盘与单片基片疵病检测工装，实现了整盘及单片基片可快速调节至某一角度并维持在该角度的目的，从而清晰准确地检出基片的划道。相比之前人手工托举并维持在某一角度的方法，本实用新型提出的疵病检测工装大大降低了劳动力，方便易操作，基片疵病漏检率大大降低。

技术特征：

1.一种整盘基片表面疵病检测工装，其特征在于，包括蜗轮(1)、蜗杆(2)、连接轴(3)、一对转动支撑杆(4)、托盘(5)、托盘连接杆(6)、滑动杆(7)、底座(8)，整盘基片放置在托盘(5)上；

2.根据权利要求1所述的一种整盘基片表面疵病检测工装，其特征在于，滑动杆(7)穿过托盘(5)下端面设置的安装块与一对转动支撑杆(4)之间滑动连接，具体为：托盘(5)的下端面在转动支撑杆(4)对应位置处设有两个安装块，每个安装块设有第一开槽，第一开槽沿安装块横向开设；每个转动支撑杆(4)的上端设有第二开槽，第二开槽沿转动支撑杆(4)上端向下端延伸；当托盘(5)处于水平状态时，滑动杆(7)穿过每个安装块第一开槽的第一端和每个转动支撑杆(4)第二开槽的上端；当转动支撑杆(4)随连接轴(3)转动时，滑动杆(7)沿第二开槽向第二开槽的下端滑动，同时沿第一开槽向第一开槽的第二端滑动，使转动支撑杆(4)与托盘(5)之间的夹角发生变化，使托盘连接杆(6)转动，托盘连接杆(6)与托盘(5)键槽连接，带动托盘(5)翻转。

3.根据权利要求1所述的一种整盘基片表面疵病检测工装，其特征在于，还包括摇杆(9)，摇杆(9)与蜗杆(2)的第一端同轴连接，摇动摇杆(9)带动蜗杆(2)转动。

4.根据权利要求1所述的一种整盘基片表面疵病检测工装，其特征在于，底座(8)的底部为固定端，固定端截面尺寸大于底座(8)主体截面尺寸。

5.根据权利要求4所述的一种整盘基片表面疵病检测工装，其特征在于，还包括限位螺母(11)，限位螺母(11)设置在蜗杆(2)的第二端，与蜗杆(2)螺纹连接，且与底座(8)的固定端在竖直方向贴合，用于限制蜗杆(2)的回转，阻止托盘(5)在待测基片的重力作用下回归水平位置。

6.根据权利要求1所述的一种整盘基片表面疵病检测工装，其特征在于，还包括压板(10)，压板(10)设置在底座(8)的底部，用于底座(8)在检测设备上的固定。

7.根据权利要求1所述的一种整盘基片表面疵病检测工装，其特征在于，连接轴(3)与蜗轮(1)的同轴度≤0.01mm。

8.根据权利要求1所述的一种整盘基片表面疵病检测工装，其特征在于，托盘(5)采用铝材质。

9.根据权利要求1所述的一种整盘基片表面疵病检测工装，其特征在于，蜗轮(1)和蜗杆(2)的安装孔位置公差在-0.01～0.01mm内。

技术总结
本技术涉及一种整盘基片表面疵病检测工装，包括蜗轮、蜗杆、连接轴、一对转动支撑杆、托盘、托盘连接杆、滑动杆、底座、摇杆，通过旋转与蜗杆同轴连接的摇杆，带动蜗轮转动，蜗轮又带动与之同轴的连接轴转动，进而带动一对转动支撑杆转动、滑动杆滑动，同时带动托盘连接杆转动，托盘连接杆与托盘通过键槽连接，从而带动托盘转动；调节基片与显微镜侧光呈一定角度时，清晰检测基片上的疵病情况。本技术解决了现有基片浅细划道难以检出的问题，同时提高了基片疵病检测准确率和效率。

技术研发人员：冯保华,王金洞,杨媛
受保护的技术使用者：北京航天时代激光导航技术有限责任公司
技术研发日：20230720
技术公布日：2024/2/19