一种手动对焦的反射膜厚测试仪器的制作方法

文档序号:36924095发布日期:2024-02-02 21:50阅读:19来源:国知局
一种手动对焦的反射膜厚测试仪器的制作方法

本技术涉及膜厚测试仪器,具体为一种手动对焦的反射膜厚测试仪器。


背景技术:

1、反射膜厚测试仪,它利用光学的特点,能够直接检测出物体透明或者半透明涂层的厚度。光学膜厚测量仪所利用的工作原理,便是光的折射与反射。测量时,摆放在被测件的上方,从仪器的测头部分发射出垂直向下的可视光线。其中一部分光会在膜的表面形成反射,另一部分则会透过被测试的薄膜,在薄膜与衬底之间的界面形成反射,薄膜表面以及薄膜的底部同时反射的光会造成干涉的现象。仪器便是利用了这一现象,从而测量出薄膜的厚度。

2、现有的反射膜厚测试仪一般采用自动对焦方式,但是自动对焦需要复杂的调节结构和电路设计结构,导致仪器体积大,成本高,复杂的结构设计也影响人员操作的便捷性,从而影响工作效率。


技术实现思路

1、本实用新型所解决的技术问题在于提供一种手动对焦的反射膜厚测试仪器,提高手动操作的便捷性,以解决上述背景技术中提出的问题。

2、本实用新型所解决的技术问题采用以下技术方案来实现:一种手动对焦的反射膜厚测试仪器,包括台板及安装在台板两侧的支架、可调节安装在支架上的膜厚仪,所述台板的中部且位于膜厚仪的下端设有测试台面,以用于放置测试片,所述支架上安装有调节膜厚仪高度的调节件,调节件固定安装在支架上端外侧的墙板上,膜厚仪安装在罩台上,并通过罩台安装在调节件上,所述调节件的上端设有锁定膜厚仪高度的定位组件,防止人员误动移位。

3、作为本实用新型进一步方案:所述调节件包括固定安装在墙板上的底板及滑动安装在底板上的滑块,底板两侧分别安装有支块,底板和支块构成u型结构,两侧支块之间并列安装有两组滑杆,滑杆上滑动设有滑块,所述膜厚仪通过罩台固定安装在滑块一侧。

4、作为本实用新型进一步方案:所述两组滑杆之间设有丝杆,丝杆两端转动安装在支块上,滑块的中部对应丝杆设有螺孔,滑块通过螺孔与丝杆螺纹连接,所述丝杆的顶部固定安装有调节旋钮,以通过调节旋钮控制膜厚仪升降调节。

5、作为本实用新型进一步方案:所述定位组件安装在支块的上端,丝杆贯穿定位组件并与调节旋钮连接,所述丝杆位于定位组件内固定设有定位齿轮,定位组件位于定位齿轮的一侧设有定位座,所述定位座上滑动安装有卡块及对卡块进行固定的锁紧件,所述卡块滑动安装在定位座对应的滑槽内,卡块的一侧抵设在定位齿轮上,另一侧通过弹簧抵设在定位座内腔壁上。

6、作为本实用新型进一步方案:所述锁紧件包括滑动安装在定位座内腔中的锁紧块、驱动锁紧块升降移动的锁杆,所述定位座内腔和锁紧块为配合设置的方形结构,以对锁紧块进行限位,防止锁紧块转动,所述锁紧块通过螺孔套设在锁杆上,并与锁杆螺纹连接,所述锁杆的上端连接有锁紧旋钮,锁杆的下端设有对锁紧块进行限位的挡块,以控制锁紧块下降并抵设在卡块的一侧,限制卡块向后移动,从而使卡块前端卡设在齿槽内,限制定位齿轮转动,通过固定丝杆,以固定膜厚仪的高度。

7、作为本实用新型进一步方案:所述锁紧块与卡块对应的一侧分别为弧形面,以便于推动卡块向外移动。

8、作为本实用新型进一步方案:所述罩台包括l型结构的安装板,安装板的底部对应膜厚仪开设有相应的开孔,膜厚仪固定安装在安装板上,并通过安装板固定在滑块上,安装板的外端套设有罩板,安装板的上端设有盖住膜厚仪的盖板,以封盖住膜厚仪。

9、与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:该装置通过旋转调节旋钮,以通过丝杆驱动滑块移动,完成对膜厚仪的高度调节,实现手动对焦功能,结构简单,便于操作,避免自动对焦功能所需的复杂结构及电路设计。手动对焦后,可以通过锁紧件锁定膜厚仪的高度,以便于对同类型的测试片进行测量,不需要频繁调整设备高度,简单易用,测试一致性高。



技术特征:

1.一种手动对焦的反射膜厚测试仪器,包括台板及安装在台板两侧的支架、可调节安装在支架上的膜厚仪,其特征在于:所述台板的中部且位于膜厚仪的下端设有测试台面,以用于放置测试片,所述支架上安装有调节膜厚仪高度的调节件,调节件固定安装在支架上端外侧的墙板上,膜厚仪安装在罩台上,并通过罩台安装在调节件上,所述调节件的上端设有锁定膜厚仪高度的定位组件。

2.根据权利要求1所述的一种手动对焦的反射膜厚测试仪器,其特征在于:所述调节件包括固定安装在墙板上的底板及滑动安装在底板上的滑块,底板两侧分别安装有支块,底板和支块构成u型结构,两侧支块之间并列安装有两组滑杆,滑杆上滑动设有滑块,所述膜厚仪通过罩台固定安装在滑块一侧。

3.根据权利要求2所述的一种手动对焦的反射膜厚测试仪器,其特征在于:所述两组滑杆之间设有丝杆,丝杆两端转动安装在支块上,滑块的中部对应丝杆设有螺孔,滑块通过螺孔与丝杆螺纹连接,所述丝杆的顶部固定安装有调节旋钮,以通过调节旋钮控制膜厚仪升降调节。

4.根据权利要求3所述的一种手动对焦的反射膜厚测试仪器,其特征在于:所述定位组件安装在支块的上端,丝杆贯穿定位组件并与调节旋钮连接,所述丝杆位于定位组件内固定设有定位齿轮,定位组件位于定位齿轮的一侧设有定位座,所述定位座上滑动安装有卡块及对卡块进行固定的锁紧件,所述卡块滑动安装在定位座对应的滑槽内,卡块的一侧抵设在定位齿轮上,另一侧通过弹簧抵设在定位座内腔壁上。

5.根据权利要求4所述的一种手动对焦的反射膜厚测试仪器,其特征在于:所述锁紧件包括滑动安装在定位座内腔中的锁紧块、驱动锁紧块升降移动的锁杆,所述定位座内腔和锁紧块为配合设置的方形结构,以对锁紧块进行限位,防止锁紧块转动,所述锁紧块通过螺孔套设在锁杆上,并与锁杆螺纹连接,所述锁杆的上端连接有锁紧旋钮,锁杆的下端设有对锁紧块进行限位的挡块,以控制锁紧块下降并抵设在卡块的一侧,限制卡块向后移动,从而使卡块前端卡设在齿槽内。

6.根据权利要求5所述的一种手动对焦的反射膜厚测试仪器,其特征在于:所述锁紧块与卡块对应的一侧分别为弧形面,以便于推动卡块向外移动。

7.根据权利要求1所述的一种手动对焦的反射膜厚测试仪器,其特征在于:所述罩台包括l型结构的安装板,安装板的底部对应膜厚仪开设有相应的开孔,膜厚仪固定安装在安装板上,并通过安装板固定在滑块上,安装板的外端套设有罩板,安装板的上端设有盖住膜厚仪的盖板,以封盖住膜厚仪。


技术总结
本技术提供一种手动对焦的反射膜厚测试仪器,包括台板及安装在台板两侧的支架、可调节安装在支架上的膜厚仪,所述台板的中部且位于膜厚仪的下端设有测试台面,以用于放置测试片,所述支架上安装有调节膜厚仪高度的调节件,调节件固定安装在支架上端外侧的墙板上,膜厚仪安装在罩台上,并通过罩台安装在调节件上。该装置通过旋转调节旋钮,以通过丝杆驱动滑块移动,完成对膜厚仪的高度调节,实现手动对焦功能,结构简单,便于操作,避免自动对焦功能所需的复杂结构及电路设计。手动对焦后,可以通过锁紧件锁定膜厚仪的高度,以便于对同类型的测试片进行测量,不需要频繁调整设备高度,简单易用,测试一致性高。

技术研发人员:刘蕾,田晶晶,姚凌飞,何丽,齐延招
受保护的技术使用者:系科仪器(上海)有限公司
技术研发日:20230804
技术公布日:2024/2/1
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