一种检测装置的制作方法

本技术涉及检测设备，具体而言，涉及一种检测装置。

背景技术：

1、集成电路已成为各行各业实现信息化、智能化的基础，是支撑经济发展的先导性产业。经发明人研究发现，随着半导体技术的发展，载板的特征尺寸不断缩小、集成度不断提高，如何保证材料的质量成为关键一环。

2、经发明人研究发现，现有的一些对于物料检测主要以人工检测为主的检测方式，效率较低。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种检测装置，其能够提高对物料缺陷的效率。

2、本实用新型的实施例是这样实现的：

3、第一方面，本实用新型提供一种检测装置，包括：

4、沿第一方向延伸的第一运输轨道及设置于第一运输轨道上的第一承载平台，第一承载平台能相对第一运输轨道沿第一方向运动，第一承载平台具有沿第二方向间隔排布的多个第一放置工位；

5、沿第一方向延伸的第二运输轨道及设置于第二运输轨道上的第二承载平台，第二承载平台能相对第二运输轨道沿第一方向运动，第一运输轨道与第二运输轨道沿第二方向间隔排布；

6、沿第二方向延伸的检测轨道及设置于检测轨道上的检测件，第一运输轨道与第二运输轨道均经过检测轨道，检测件能相对检测轨道沿第二方向运动且用于检测第一承载平台及第二承载平台上的待检测物料，第一方向与第二方向呈夹角。

7、在可选的实施方式中，还包括第一转运轨道、第一取料件、第一料仓及第二料仓，第一转运轨道与检测轨道沿第一方向间隔排布且靠近第一料仓及第二料仓，第一取料件能在第一转运轨道上移动，第一取料件能将第一料仓或第二料仓中的待测物料转运至第一放置工位。

8、在可选的实施方式中，第一料仓与第二料仓沿第二方向间隔排布且位于第一运输轨道两侧。

9、在可选的实施方式中，还包括第二转运轨道，第二转运轨道沿第三方向延伸，第一转运轨道沿第二方向延伸且能相对第二转运轨道沿第三方向运动，第一取料件设置于第一转运轨道，第一方向、第二方向及第三方向两两相互垂直。

10、在可选的实施方式中，检测装置还包括中转机构，中转机构用于将经过检测件检测后且位于第一承载平台上的物料翻转并放置于第二承载平台。

11、在可选的实施方式中，第二承载平台具有多个沿第二方向间隔排布的第二放置工位，检测件的数量为两个，两个检测件分别检测第一放置工位及第二放置工位上的物料。

12、在可选的实施方式中，检测装置还包括第二取料件、第三料仓及第四料仓，第二取料件设置于第一转运轨道且能在第一转运轨道上沿第二方向移动，第二取料件能将第三料仓或第四料仓中的物料转运至第二承载平台。

13、在可选的实施方式中，第三料仓与第四料仓沿第二方向间隔排布且位于第二运输轨道两侧。

14、在可选的实施方式中，中转机构包括中转手臂、中转轨道及翻转模组，中转手臂设置在中转轨道上并可在中转轨道上移动，中转手臂用于将经过检测件检测后的物料转运至翻转模组中，翻转模组靠近第一运输轨道远离第一转运轨道的一端，翻转模组用于翻转物料并将物料转运至第二承载平台中。

15、在可选的实施方式中，检测装置还包括第一除尘单元及第二除尘单元，第一除尘单元位于检测轨道靠近第一转运轨道的一侧，第二除尘单元位于检测轨道靠近中转轨道的一侧，第一除尘单元用于对位于第一承载平台上物料进行除尘，第二除尘单元用于对位于第二承载平台上物料进行除尘。

16、本实用新型实施例的有益效果是：本实用新型实施例提供的一种检测装置包括沿第一方向延伸的第一运输轨道及设置于第一运输轨道上的第一承载平台，第一承载平台能相对第一运输轨道沿第一方向运动，第一承载平台具有沿第二方向间隔排布的多个第一放置工位。还包括沿第一方向延伸的第二运输轨道及设置于第二运输轨道上的第二承载平台，第二承载平台能相对第二运输轨道沿第一方向移动，第一运输轨道与第二运输轨道沿第二方向间隔排布，还包括沿第二方向延伸的检测轨道及设置于检测轨道上的检测件，第一运输轨道与第二运输轨道均经过检测轨道，检测件能在检测轨道上沿第二方向运动且用于检测第一承载平台及第二承载平台上的待检测物料。检测装置在检测过程中，第一承载平台承载待检测物料在第一运输轨道上沿第一方向运动，直至运输到合适位置时，检测件能够对第一承载平台上的物料进行表面检测，由于检测件能够在检测轨道上沿第二方向移动，可以使得检测件能够依次检测承载在第一承载平台上沿第二方向间隔排布的多个物料，从而提高了物料检测的效率。

技术特征：

1.一种检测装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于：

3.根据权利要求2所述的检测装置，其特征在于：

4.根据权利要求2所述的检测装置，其特征在于：

5.根据权利要求2项所述的检测装置，其特征在于：

6.根据权利要求5所述的检测装置，其特征在于：

7.根据权利要求5所述的检测装置，其特征在于：

8.根据权利要求7所述的检测装置，其特征在于：

9.根据权利要求5所述的检测装置，其特征在于：

10.根据权利要求9所述的检测装置，其特征在于：

技术总结
本技术实施例提供的一种检测装置，涉及检测设备技术领域。检测装置包括检测件、检测轨道及沿第一方向延伸的第一运输轨道及设置于第一运输轨道上的第一承载平台，第一承载平台能相对第一运输轨道沿第一方向运动，第一承载平台具有沿第二方向间隔排布的多个第一放置工位。检测过程中，检测件能够对第一承载平台上的物料进行表面检测，由于检测件能够在检测轨道上沿第二方向移动，可以使得检测件能够依次检测承载在第一承载平台上沿第二方向间隔排布的多个物料，从而提高了物料检测的效率。

技术研发人员：韩建勋,郑军
受保护的技术使用者：聚时科技（上海）有限公司
技术研发日：20230810
技术公布日：2024/1/25