一种水路背板的测漏装置的制作方法

文档序号:37096478发布日期:2024-02-22 20:52阅读:16来源:国知局
一种水路背板的测漏装置的制作方法

本技术是一种水路背板的测漏装置,属于测漏设备。


背景技术:

1、为了避免靶材过热而造成脱靶现象,靶材整体温度必须保持在一定范围内,一些靶材厂家陆续开发出带水路背板。靶材溅射过程中是高度真空状态下,不允许有任何影响真空度因素存在,所以检查背板是否会漏至关重要。

2、中国专利号:cn206905980u,提及了一种磁控溅射靶材用水路背板的测漏装置,该装置连接操作简便,工作不用受环境约束,可以随意移动,通过带有颜色的渗透液可精确定位漏点,工作效率高,相比氦气质谱检测仪不用将工件先抽真空,模具形状可随水路背板接口形状而调节,实用性强,但该装置采用螺丝贯穿上模、水路背板和下模进行测漏作业,一旦水路背板被贯穿后,其就不具备防漏功能,进而需将测试的水路背板重新加工,由此可见该装置实用性有待提高,现在急需一种水路背板的测漏装置来解决上述出现的问题。


技术实现思路

1、针对现有技术存在的不足,本实用新型目的是提供一种水路背板的测漏装置,以解决上述背景技术中提出的问题,本实用新型结构合理,实用性好,便于将不同尺寸的水路背板放置在储水盒内进行测漏作业,且不会对水路背板造成任何损坏现象,利于推广使用。

2、为了实现上述目的,本实用新型是通过如下的技术方案来实现:一种水路背板的测漏装置,包括水路背板、储水盒、固定式空心板、气泵连接管以及推拉滑板,所述储水盒内设有测漏水,所述固定式空心板设置有两个,两个所述固定式空心板对称固定在储水盒内部左右端,所述推拉滑板设置有两个,两个所述推拉滑板分别贯穿设置在两个固定式空心板内,且两个推拉滑板相对内侧均固定有支撑条板,两个所述推拉滑板上下端相对内侧均固定有限位块,两个上侧所述限位块上端均固定有限位条板,两个所述固定式空心板相对内侧边缘均密封设置有波纹伸缩套筒,所述水路背板搭放在两个支撑条板上端,且其左右端分别与两个限位条板相抵,所述气泵连接管内部下端安装有密封橡胶圈。

3、进一步地,所述储水盒前端下侧贯穿设置有排水管,且排水管环形侧面设置有阀门,所述储水盒下端四周均安装有万向轮。

4、进一步地,两个所述推拉滑板上端面相对外侧均贯穿开设有推拉槽,两个所述推拉滑板相对内侧分别位于两个波纹伸缩套筒内,且两个波纹伸缩套筒另一端分别与多个限位块密封连接。

5、进一步地,所述水路背板上端中间设置有进水端口,所述气泵连接管下端与密封橡胶圈均套在进水端口外侧,所述气泵连接管外侧下端分别套有第一弹力环与第二弹力环,所述气泵连接管另一端与外界气泵相连接。

6、本实用新型的有益效果:本实用新型的一种水路背板的测漏装置,因本实用新型添加了储水盒、固定式空心板、波纹伸缩套筒、限位块、支撑条板、限位条板、推拉滑板、气泵连接管、第一弹力环、第二弹力环以及密封橡胶圈,经过我们的设计改进及实际使用表明,本装置实用性好,便于将不同尺寸的水路背板放置在储水盒内进行测漏作业,且不会对水路背板造成任何损坏现象,利于推广使用,且结构合理。



技术特征:

1.一种水路背板的测漏装置,包括水路背板(10)、储水盒(1)、固定式空心板(3)、气泵连接管(12)以及推拉滑板(8),其特征在于:所述储水盒(1)内设有测漏水(2),所述固定式空心板(3)设置有两个,两个所述固定式空心板(3)对称固定在储水盒(1)内部左右端;

2.根据权利要求1所述的一种水路背板的测漏装置,其特征在于:所述储水盒(1)前端下侧贯穿设置有排水管(15),且排水管(15)环形侧面设置有阀门,所述储水盒(1)下端四周均安装有万向轮(16)。

3.根据权利要求1所述的一种水路背板的测漏装置,其特征在于:两个所述推拉滑板(8)上端面相对外侧均贯穿开设有推拉槽(9),两个所述推拉滑板(8)相对内侧分别位于两个波纹伸缩套筒(4)内,且两个波纹伸缩套筒(4)另一端分别与多个限位块(5)密封连接。

4.根据权利要求1所述的一种水路背板的测漏装置,其特征在于:所述水路背板(10)上端中间设置有进水端口(11),所述气泵连接管(12)下端与密封橡胶圈(17)均套在进水端口(11)外侧。

5.根据权利要求4所述的一种水路背板的测漏装置,其特征在于:所述气泵连接管(12)外侧下端分别套有第一弹力环(13)与第二弹力环(14),所述气泵连接管(12)另一端与外界气泵相连接。


技术总结
本技术提供一种水路背板的测漏装置,包括水路背板、储水盒、固定式空心板、气泵连接管以及推拉滑板,储水盒内设有测漏水,固定式空心板设置有两个,两个固定式空心板对称固定在储水盒内部左右端,推拉滑板设置有两个,两个推拉滑板分别贯穿设置在两个固定式空心板内,且两个推拉滑板相对内侧均固定有支撑条板,两个推拉滑板上下端相对内侧均固定有限位块,两个上侧限位块上端均固定有限位条板,两个固定式空心板相对内侧边缘均密封设置有波纹伸缩套筒,该设计解决了原有装置实用性有待提高的问题,本技术结构合理,实用性好,便于将不同尺寸的水路背板放置在储水盒内进行测漏作业,且不会对水路背板造成任何损坏现象,利于推广使用。

技术研发人员:高庆
受保护的技术使用者:塔格特电子材料(上海)有限公司
技术研发日:20230817
技术公布日:2024/2/21
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