阻滞势分析仪的制作方法

本技术是关于航空航天，特别是关于一种阻滞势分析仪。

背景技术：

1、阻滞势分析仪(rpa)应用于等离子体中离子能量分布诊断。电推进器羽流中存在大量的高能离子，这些高能离子会溅射腐蚀电推进器，从而导致羽流区内会存在大量金属离子。而阻滞势分析仪长时间处于羽流区中会使得其表面以及探针腔内沉积大量的金属离子，这就会导致阻滞势分析仪内部栅极之间的绝缘系数下降，这就会导致栅极之间形成短路，从而引起探针失效。因此，解决阻滞势分析仪内部的离子沉积问题对于延长其使用寿命至关重要。

2、其次，高能离子进入探针腔内之后在收集极表面而被收集极板吸收。在这过程中高能离子轰击收集极会产生二次电子发射，使得收集极末端所测量的电流产生误差，从而会对探针诊断造成极大误差。因此，降低收集极的二次电子发射会极大的提高探针诊断的准确性。

3、公开于该背景技术部分的信息仅仅旨在增加对本实用新型的总体背景的理解，而不应当被视为承认或以任何形式暗示该信息构成已为本领域一般技术人员所公知的现有技术。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种阻滞势分析仪，其能够有效降低金属离子的沉积，提高阻滞势分析仪的诊断准确性。

2、为实现上述目的，本实用新型提供了一种阻滞势分析仪，包括外壳；电极组件，设置于外壳内，所述电极组件包括收集极、多个引出极和多个沿所述外壳的轴向间隔排布的栅极，所述收集极与所述栅极电隔离，所述引出极与所述栅极电连接，多个所述栅极共同界定用于供电子通过的通道，所述收集极对应于所述通道设置；绝缘组件，设置于相邻的两个栅极之间用于电隔离所述相邻的两个栅极，所述绝缘组件朝向所述通道的一侧设置有凹槽。

3、在一个或多个实施方式中，所述绝缘组件包括相互贴合的第一绝缘板和第二绝缘板，所述第一绝缘板包括基部和延伸部，所述延伸部自所述基部靠近所述通道一侧先沿轴向延伸再沿径向向内延伸形成，所述延伸部与所述第二绝缘共同形成所述凹槽。

4、在一个或多个实施方式中，所述电极组件还包括固定于相邻的两个所述绝缘组件之间的栅极托，所述栅极固定设置于所述栅极托上。

5、在一个或多个实施方式中，所述栅极托包括托板以及固定于托板外周的支撑板，所述支撑板抵接于所述第一绝缘板的基部。

6、在一个或多个实施方式中，所述栅极托侧面径向设置有连接部，所述引出极固定于所述连接部的一端。

7、在一个或多个实施方式中，所述第一绝缘板以及所述第二绝缘板的周向均设置有多个通槽，多个通槽轴向形成有多个安装槽，所述引出极位于安装槽内。

8、在一个或多个实施方式中，所述电极组件包括用于屏蔽其余栅极电位的第一引出极、用于施加负偏置电压的第二引出极和用于施加扫描电压的第三引出极以及沿所述外壳的轴向依次间隔排布的第一栅极、第二栅极、第三栅极和第四栅极，所述第一引出极与第一栅极电连接，所述第二引出极与第二栅极和第四栅极电连接，所述第三引出极与第三栅极电连接。

9、在一个或多个实施方式中，所述收集极包括收集部以及圆柱导体部，所述收集部设置有多个周向分布的通孔，所述圆柱导体部一端固定于所述收集部。

10、在一个或多个实施方式中，所述收集极为石墨材质。

11、在一个或多个实施方式中，所述外壳内壁设置有陶瓷衬板。

12、与现有技术相比，根据本实用新型的通过在绝缘组件中设置朝向通道的凹槽，有效降低金属离子在绝缘板表面的沉积，维持栅极之间的绝缘系数，保证仪器测量诊断的准确性；并且采用石墨材质作为收集极制作材料，有效降低离子与收集极碰撞产生的二次发射电子，提高测量的准确性。

技术特征：

1.一种阻滞势分析仪，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的阻滞势分析仪，其特征在于，所述绝缘组件包括相互贴合的第一绝缘板和第二绝缘板，所述第一绝缘板包括基部和延伸部，所述延伸部自所述基部靠近所述通道一侧先沿轴向延伸再沿径向向内延伸形成，所述延伸部与所述第二绝缘共同形成所述凹槽。

3.如权利要求2所述的阻滞势分析仪，其特征在于，所述电极组件还包括固定于相邻的两个所述绝缘组件之间的栅极托，所述栅极固定设置于所述栅极托上。

4.如权利要求3所述的阻滞势分析仪，其特征在于，所述栅极托包括托板以及固定于托板外周的支撑板，所述支撑板抵接于所述第一绝缘板的基部。

5.如权利要求3所述的阻滞势分析仪，其特征在于，所述栅极托侧面径向设置有连接部，所述引出极固定于所述连接部的一端。

6.如权利要求5所述的阻滞势分析仪，其特征在于，所述第一绝缘板以及所述第二绝缘板的周向均设置有多个通槽，多个通槽轴向形成有多个安装槽，所述引出极位于安装槽内。

7.如权利要求3所述的阻滞势分析仪，其特征在于，所述电极组件包括用于屏蔽其余栅极电位的第一引出极、用于施加负偏置电压的第二引出极和用于施加扫描电压的第三引出极以及沿所述外壳的轴向依次间隔排布的第一栅极、第二栅极、第三栅极和第四栅极，所述第一引出极与第一栅极电连接，所述第二引出极与第二栅极和第四栅极电连接，所述第三引出极与第三栅极电连接。

8.如权利要求1所述的阻滞势分析仪，其特征在于，所述收集极包括收集部以及圆柱导体部，所述收集部设置有多个周向分布的通孔，所述圆柱导体部一端固定于所述收集部，所述通道的投影落于所述收集部上。

9.如权利要求1所述的阻滞势分析仪，其特征在于，所述收集极为石墨材质。

10.如权利要求1所述的阻滞势分析仪，其特征在于，所述外壳内壁设置有陶瓷衬板。

技术总结
本技术公开了一种阻滞势分析仪，包括外壳；电极组件，设置于外壳内，所述电极组件包括收集极、多个引出极和多个沿所述外壳的轴向间隔排布的栅极，所述收集极与所述栅极电隔离，所述引出极与所述栅极电连接，多个所述栅极共同界定用于供电子通过的通道，所述收集极对应于所述通道设置；绝缘组件，设置于相邻的两个栅极之间用于电隔离所述相邻的两个栅极，所述绝缘组件朝向所述通道的一侧设置有凹槽；通过在绝缘组件中设置朝向通道的凹槽，有效降低金属离子在绝缘板表面的沉积，维持栅极之间的绝缘系数，保证仪器测量诊断的准确性。

技术研发人员：李永杰,张亮,杨晨
受保护的技术使用者：上海易推动力科技有限公司
技术研发日：20230905
技术公布日：2024/5/8